光合波器的制造方法以及制造装置制造方法及图纸

关于光合波器的制造方法，光合波器具备具有相互平行的第一主面及第二主面的基底(31)、设置于第一主面的反射镜(33)以及设置于第二主面的光学滤光器(32)，该方法包括：在基底(31)的第一主面载置反射镜(33)，在使用自动准直仪61进行基底(31)与反射镜(33)之间的角度调整之后，将反射镜(33)固定到基底(31)的步骤(s1)；以及在基底(31)的第二主面载置光学滤光器(32)，在使用自动准直仪(61)进行基底(31)与光学滤光器(32)之间的角度调整之后，将光学滤光器(32)固定到基底(31)的步骤(s2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光合波器的制造方法以及制造装置
本专利技术涉及例如在集成型光模块等中使用的光合波器的制造方法以及制造装置。
技术介绍
近年来，光网络的通信业务量增大，要求具有高的通信容量、更小型且低功耗的光模块。为了实现小型化以及低功耗化，正在推进光模块的集成化。例如，在下述专利文献1中，公开了在一个封装内使用透镜将四个波长不同的光元件和光合波器光学地耦合的光集成模块。在该光集成模块中，需要以使各光元件之间的光损耗偏差变小的方式，将来自四个光元件的发光安装到光合波器。作为其对策，在下述专利文献2中，提出了如下方法：在透镜与光合波器之间，配置非线性光学元件等光线方向变化部，从外部发送操作用的电信号，从而使通过的信号光的光线方向针对每个波长变化，减小各光元件之间的光损耗偏差。但是，在该方法中，需要非线性光学元件，所以成本变高，并且难以实现小型化。另外，需要从外部发送电信号，从而存在作为模块的功耗也变大这样的问题。在光集成模块中，需要高精度地装配承担光合波功能的光合波器，设定为使从多个光元件发出的光聚光到一点。作为其对策，在下述专利文献3中，在透明块中植入滤光器层。但是，在设置具有不同特性的多个滤光器层的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光合波器的制造方法，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造方法包括：在基底的第一主面载置反射镜，在使用自动准直仪进行该基底与该反射镜之间的角度调整之后，将该反射镜固定到该基底的步骤；以及在基底的第二主面载置光学滤光器，在使用自动准直仪进行该基底与该光学滤光器之间的角度调整之后，将该光学滤光器固定到该基底的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.05 JP 2015-0437271.一种光合波器的制造方法，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造方法包括：在基底的第一主面载置反射镜，在使用自动准直仪进行该基底与该反射镜之间的角度调整之后，将该反射镜固定到该基底的步骤；以及在基底的第二主面载置光学滤光器，在使用自动准直仪进行该基底与该光学滤光器之间的角度调整之后，将该光学滤光器固定到该基底的步骤。2.一种光合波器的制造方法，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造方法包括：在工件设置部的基准面载置基底的步骤；向该基准面照射光束，测量在该基准面反射的光束的反射方向，测定该基准面的角度θa的步骤；在所述基底的第一主面载置反射镜的步骤；向该反射镜照射光束，测量在该反射镜反射的光束的反射方向，测定该反射镜的角度θb的步骤；在调整所述反射镜的角度以使角度θb与角度θa一致之后，将所述反射镜固定到所述基底的步骤；将所述基底在翻转的状态下载置到工件设置部的基准面的步骤；在所述基底的第二主面载置光学滤光器的步骤；向所述基底的第二主面照射光束，测量在该第二主面反射的光束的反射方向，测定该第二主面的角度θc的步骤；向所述光学滤光器照射光束，测量在所述光学滤光器反射的光束的反射方向，测定所述光学...

【专利技术属性】
技术研发人员：小寺秀和，下野真也，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP