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光合波器的制造方法以及制造装置制造方法及图纸
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下载光合波器的制造方法以及制造装置的技术资料
文档序号:16388101
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关于光合波器的制造方法,光合波器具备具有相互平行的第一主面及第二主面的基底(31)、设置于第一主面的反射镜(33)以及设置于第二主面的光学滤光器(32),该方法包括:在基底(31)的第一主面载置反射镜(33),在使用自动准直仪61进行基底(...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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