用于处理气体的设备制造技术

已知的湿式静电除尘器大而且效率低下。本发明专利技术使得能够通过在内电极中增加中心孔来产生更小、更有效率和持久的湿式静电除尘器，通过该中心孔使第一吹扫流垂直于通过室的待处理的气体的流动方向进入和引导到除尘器室中以将微粒推入水帘。还提供了第二、较大的清洁吹扫流来干扰水帘，使得其清洁内电极的任何沉积的微粒。

Equipment for handling gas

Wet electrostatic precipitators are known to be large and inefficient. The present invention makes it possible to increase the center hole to produce a smaller, more efficient and durable wet electrostatic precipitator by inner electrode, through the center hole of the first blow flow direction perpendicular to the cross flow through the chamber to be processed into the gas and dust collector to guide chamber to the micro particle in water. It also provides second large clean purge flow to interfere with water curtain, so that the particles are deposited in any clean electrode.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于处理气体的设备本专利技术涉及用于处理气体的设备，且在包含固体微粒（例如SiO2）和酸性气体（例如HCl）的气体的处理中发现特别的用途。更具体地，本专利技术涉及改进的静电除尘器。例如，在外延堆积过程中，从气体流移除固体微粒是必需的，外延堆积过程对于高速半导体装置（对于硅和化合物半导体应用两者）越来越多地使用。外延层是精心培育的单晶硅膜。外延堆积在高温（通常约800°至1100℃）的氢气氛中且在真空条件下利用硅源气体（前体），通常为硅烷或氯硅烷化合物中的一种（例如三氯硅烷或二氯硅烷）。对于所制造的装置，外延堆积过程通常根据需要掺杂少量的硼、磷、砷、锗或碳。供应给过程室的浸蚀气体可包括卤代化合物，例如HCl、HBr、BCl3、Cl2和Br2，以及它们的组合。可使用氯化氢（HCl）或其他卤代化合物（例如SF6或NF3）以在过程运行之间清洁室。在这种过程中，供应给过程室的过程气体的仅小部分在室内消耗，因此供应给室的大部分气体与室内发生的过程的固体和气体副产物一起从室排出。在废物流排放到大气中之前，将对其处理以从其中移除选择的气体和固体微粒。通常使用填充塔洗涤器从气体流移除酸性气体（例如HF和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理气体流的湿式静电除尘器，包括：具有入口和出口的静电室，待处理的气体流通过所述入口传送到所述室中，处理过的气体流通过所述出口从所述室传送，内电极和外电极，其布置成当高电势施于所述内电极和外电极之间时在其间产生带静电场，液体入口，所述液体入口用于将液体传送到所述室中以用于在所述外电极的内表面之上提供液体帘，使得所述气体流中的微粒在通过所述场时变得带电并朝所述外电极吸引，在那里所述微粒由所述液体帘夹带并从所述气体流移除，其中所述内电极包括导管，吹扫气体可通过所述导管传送，并且所述内电极进一步包括朝所述室入口定位的至少一个开口，所述至少一个开口布置为使吹扫气体大致横向于通过所述室的所述气体...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.23 GB 1502964.81.一种用于处理气体流的湿式静电除尘器，包括：具有入口和出口的静电室，待处理的气体流通过所述入口传送到所述室中，处理过的气体流通过所述出口从所述室传送，内电极和外电极，其布置成当高电势施于所述内电极和外电极之间时在其间产生带静电场，液体入口，所述液体入口用于将液体传送到所述室中以用于在所述外电极的内表面之上提供液体帘，使得所述气体流中的微粒在通过所述场时变得带电并朝所述外电极吸引，在那里所述微粒由所述液体帘夹带并从所述气体流移除，其中所述内电极包括导管，吹扫气体可通过所述导管传送，并且所述内电极进一步包括朝所述室入口定位的至少一个开口，所述至少一个开口布置为使吹扫气体大致横向于通过所述室的所述气体流的流动从所述导管传送到所述室中。2.根据权利要求1所述的湿式静电除尘器，其特征在于，所述至少一个开口布置成用于将所述气体流朝所述外电极引导和/或干扰所述气体流。3.根据权利要求1或权利要求2所述的湿式静电除尘器，其特征在于，所述内电极包括至少两个开口以用于将吹扫气体以大致相对的横向方向传送到所述室中。4.根据前述权利要求中任一项所述的湿式静电除尘器，其特征在于，所述室包括用于定位所述内电极的远离所述至少一个开口的端部的侧通道。5.根据权利要求4所述的湿式静电除尘器，其特征在于，所述侧通道包括用于将吹扫气体传送到所述侧通道中的入口以用于吹扫所述内电极的端部。6.根据前述权利要求中任一项所述的湿式静电除尘器，其特征在于，控制器构造成用于控制通过所述内电极的管道的吹扫流，使得在所述除尘器的第一条件下，吹扫气体以第一流率通过所述管道传送以用于将所述气体流朝所述外电极引导和/或干扰所述气体流，以及在第二清洁条件下，吹扫气体以第二较高的流率通过所述管道传送，以用于移去在所述内电极中的所述至少一个开口附近积聚的沉积物。7.根据权利要求6所述的湿式静电除尘器，其特征在于，所述第二流率足以扰乱所述液体...

【专利技术属性】
技术研发人员：SA沃罗宁，MJ阿特伍德，AA钱伯斯，JL比德，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB