压力传感器、高度计、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种具有优异的检测精度的压力传感器、具备该压力传感器的可靠性较高的高度计、电子设备以及移动体。该压力传感器的特征在于，具有：隔膜，其通过受压而进行挠曲变形；多个压电电阻元件，其被配置在所述隔膜上；多个感温元件，其以与所述多个压电电阻元件相对应的方式而被配置在所述隔膜上，相对应的所述压电电阻元件以及所述感温元件的间隔距离短于不相对应的所述压电电阻元件以及所述感温元件的间隔距离。此外，在所述隔膜的俯视时，各个所述感温元件以与相对应的所述压电电阻元件重叠的方式被配置。

Pressure sensor, altimeter, electronic device, and moving body

The invention provides a pressure sensor with excellent detection accuracy, an altimeter with high reliability of the pressure sensor, an electronic device, and a moving body. The characteristics of the pressure sensor that has: diaphragm, through the compression and bending deformation; a plurality of piezo resistive elements, which is arranged on the diaphragm; a temperature sensing element, the corresponding to the plurality of piezoelectric resistance element and is arranged on the diaphragm on the distance between the distance corresponding to the piezoelectric resistor and the sensing element is shorter than do not correspond to the piezo resistor element and the temperature sensing element. In addition, the temperature sensing elements are configured in an overlapping manner with the corresponding piezoelectric resistance element when viewed from the top of the diaphragm.

【技术实现步骤摘要】
压力传感器、高度计、电子设备以及移动体
本专利技术涉及一种压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。
技术介绍
一直以来，作为压力传感器而已知有如下结构，即，具有通过受压而挠曲变形的隔膜和被设置在隔膜上的压电电阻元件，并且根据基于隔膜的挠曲变形的压电电阻元件的电阻值变化而对隔膜所承受的压力的大小进行检测的结构(例如，参照专利文献1)。在专利文献1的压力传感器中，进一步为了实施压电电阻元件的温度补偿(伴随于环境温度的变化的压电电阻元件的电阻值的变化的补正)，而在压电电阻元件的附近且隔膜的外侧处设置有温度补偿用传感器。由此，减少了温度漂移(由温度造成的输出的变化)。但是，在专利文献1中，由于温度补偿用传感器位于隔膜的外侧，因此温度补偿用传感器与压电电阻元件之间的距离较远，从而无法对压电电阻元件的准确的温度进行检测。此外，也无法单独地对各压电电阻元件的温度进行检测。因此，在专利文献1的压力传感器中，无法实时地对因各压电电阻元件的温度偏差所导致的输出漂移进行补正，从而无法高精度地对压力进行检测。专利文献1：日本特开平6-213744号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种具有优异的检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力传感器，其特征在于，具有：隔膜，其通过受压而进行挠曲变形；多个压电电阻元件，其被配置在所述隔膜上；多个感温元件，其以与所述多个压电电阻元件相对应的方式而被配置在所述隔膜上，相对应的所述压电电阻元件以及所述感温元件的间隔距离短于不相对应的所述压电电阻元件以及所述感温元件的间隔距离。

【技术特征摘要】
2016.03.28 JP 2016-0632621.一种压力传感器，其特征在于，具有：隔膜，其通过受压而进行挠曲变形；多个压电电阻元件，其被配置在所述隔膜上；多个感温元件，其以与所述多个压电电阻元件相对应的方式而被配置在所述隔膜上，相对应的所述压电电阻元件以及所述感温元件的间隔距离短于不相对应的所述压电电阻元件以及所述感温元件的间隔距离。2.如权利要求1所述的压力传感器，其中，在所述隔膜的俯视时，各个所述感温元件以至少一部分与相对应的所述压电电阻元件重叠的方式被配置。3.如权利要求2所述的压力传感器，其中，在所述压电电阻元件和以与该压电电阻元件重叠的方式被配置的所述感温元件之间，配置有绝缘膜。4.如权利要求1所述的压力传感器，其中，各个所述感温元件与相对应的所述压电电阻元件并排设置。5.如权利要求4所述的压力传感器，其中，各个所述感温元件以在其间夹着相...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛田浩行，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP