Drying machine, a wafer includes a motor, located in the drying box is arranged on the upper part of the drying box in the jet nozzle, a drying box on the cover, the outlet cover is located in the bottom of the drying box and a water outlet; the upper part of the drying box is provided with a ventilation cabinet, motor is fixed on the top ventilation cabinet; the rotating shaft of the motor is connected with a connecting rod, the connecting rod extends to the drying box, one end of the connecting rod of the hanging basket, basket is arranged at the bottom of a tray for placing the wafer. The utility model has the advantages of simple operation, not only effectively solving the problem of uneven drying of wafer wafers in the drying process, but also the wafer is not easy to break; simultaneously, the stability of the wafer is improved.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及烘干机，尤其涉及一种用于晶圆片的烘干机。
技术介绍
目前，用于干燥晶圆片的方法一般有两种：一种是通过手动方式用氮气枪对晶圆片进行吹干；由于此种方式需要通过手动操作，工作效率较低；操作时，不仅容易在晶圆片的边缘产生水痕；而且，还容易导致晶圆片干燥不均匀；同时，稍不小心，还容易使晶圆片破碎。另一种是通过晶圆片烘干机对晶圆片进行干燥，此种方式大大提高了干燥晶圆片的工作效率。如图1所示，现有的晶圆片烘干机包括：安装在烘干箱5上的旋转电机1、安装在旋转电机1转轴上的托盘2、设在托盘2上的花篮3、设在烘干箱5上的喷气嘴6、设在烘干箱5上的上盖8、设在上盖8上的出气口7以及设在烘干箱5底部的排水口9，其中，旋转电机1设在烘干箱5的底部。操作时，将晶圆片4放在花篮3中，然后，启动晶圆片烘干机，在电机1的带动下，通过托盘2的旋转，将晶圆片4旋干。但是，由于电机1安装在旋干机的底部，而同时，排水口9也设在旋干机的底部，因此，排水口9的排出的水有可能喷溅到电机1上或是在烘干机底部其他地方有漏水的异常情况发生时，也可能导致电机1进水。一旦电机1进水，电机1将停止工作，托盘2也随之从高速旋转中突然停止旋转，而花篮3由于强大的惯性，有可能飞出托盘2，从而，导致花篮3中的晶圆片4破损；而且，由于放置晶圆片4的花篮3是设在烘干箱5的底部，导致晶圆片在干燥过程中由于烘干箱5内底部温度与上部温度的不同，而出现干燥不均匀的问...
【技术保护点】
一种晶圆片的烘干机，包括：设在在烘干箱上部的电机、设在烘干箱中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底部的排水口；其特征在于：该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接杆的端部悬吊一花篮，花篮的底部设置一用于放置有晶圆片的托盘。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片的烘干机，包括：设在在烘干箱上部的电机、设在烘干箱
中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底
部的排水口；其特征在于：该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风
橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：张荣勤，罗惠英，宋京，丁国建，魏文生，
申请(专利权)人：天津中环新光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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