一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置，包括载物台、步进装置、旋转轴和探针；载物台重心下方设置正多边形凹槽；载物台步进方向依次设置由步进电机驱动升降的探针和由步进电机驱动升降并可旋转的旋转轴。本实用新型专利技术自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置提高了方块电阻测试点选择的准确性，减少了测量中存在的误差；测试装置设计结构简单，经济实用，与手动测试相比，生产过程中的因误操作而损伤并产生碎片的比例也有一定的下降；并且能够在扩散结束后更加快速测试方块电阻，大大提高了工作效率，进一步提升了生产线的产能。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

Device for automatically testing diffused square resistance of crystalline silicon cell

The utility model discloses a device for automatic testing of crystal silicon solar cell diffusion sheet resistance, including loading platform, stepping device, rotary shaft and probe; below the stage set GRAVITY POLYGON groove; rotation axis load stepping direction set by the stepper motor to drive the lifting of the probe and is driven by a stepper motor lifting and can rotate sequentially. The utility model relates to an automatic testing sheet resistance of diffusion of crystalline silicon solar cell device improves the accuracy of sheet resistance test point selection, reduce the error in the measurement; the design of the test device has the advantages of simple structure, economical and practical, compared with manual testing, the proportion of misoperation due to damage and debris in the process of production is reduced in the end; and can spread more rapid testing sheet resistance, greatly enhance the work efficiency, to further enhance the capacity of the production line.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏电站领域中的晶体硅太阳能电池扩散工艺，尤其涉及一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置。
技术介绍
太阳能电池的扩散是一种高温掺杂制程，主要是将掺杂气体导入放有硅片的高温炉管中,将杂质扩散到硅片内以改变半导体基片扩散区域的导电类型或表面杂质浓度的一种方法。在炉管内由于晶体表面附近杂质原子与硅晶体中杂质原子存在浓度梯度，从而由热运动形成杂质原子浓度再分布。方块电阻又称薄层电阻，其定义为正方形的半导体薄层，在电流方向所呈现的电阻，单位为欧姆每方。简单来说，方块电阻（SheetResistance）就是指导电材料单位厚度单位面积上的电阻值，简称方阻，理想情况下它等于该材料的电阻率除以厚度。在扩散后方块电阻的测试中，目前大多数公司采用的办法是使用RTS探针手动放片测试，然后在取片的方式，这种方式一次只能测试一个点的方块电阻，测试方式繁杂，大大影响了方块电阻的测试效率，而且测试过程中，常常由于手动放置硅片位置的差异和操作人员的人为习惯，方块电阻的测量上也存在很多误差。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置，其特征在于：包括载物台（1）、步进装置（3）、旋转轴（4）和探针（5）；所述载物台（1）重心下方设置正多边形凹槽（2）；所述步进装置（3）由两条平行丝杠和步进电机组成，位于载物台（1）下方；正多边形凹槽（2）重心与步进装置（3）的两条丝杠中心线重合；所述载物台（1）步进方向依次设置由步进电机驱动升降的探针（5）和由步进电机驱动升降并可旋转的旋转轴（4）；所述探针（5）设置在载物台（1）上方，与步进装置（3）的两条丝杠中心线交叉垂直；所述旋转轴（4）设置在载物台（1）下方，与步进装置（3）的两条丝杠中心线交叉垂直，旋转轴（4）与探针（5）所在平行线间距离为...

【技术特征摘要】
1.一种自动测试晶硅电池扩散方块电阻的装置，其特征在于：包括载物台（1）、
步进装置（3）、旋转轴（4）和探针（5）；
所述载物台（1）重心下方设置正多边形凹槽（2）；
所述步进装置（3）由两条平行丝杠和步进电机组成，位于载物台（1）下方；正多
边形凹槽（2）重心与步进装置（3）的两条丝杠中心线重合；
所述载物台（1）步进方向依次设置由步进电机驱动升降的探针（5）和由步进电机
驱动升降并可旋转的旋转轴（4）；
所述探针（5）设置在载物台（1）上方，与步进装置（3）的两条丝杠中心线交叉
垂直；
所述旋转轴（4）设置在载物台（1）下方，与步进装置（3）的两条丝杠中心线交
叉垂直，旋转轴（...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵雷，黄钧林，简磊，勾宪芳，
申请(专利权)人：中节能太阳能科技镇江有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32