一种温湿度传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种温湿度传感器，包括衬板，所述衬板上设有湿度敏感单元、设于所述湿度敏感单元的外围的温度敏感单元，所述温度敏感单元工作时对所述湿度敏感单元进行加热，所述衬板上还设有湿度焊盘、温度焊盘以及公共焊盘，所述湿度敏感单元一端电连接所述湿度焊盘，另一端电连接所述公共焊盘，所述温度敏感单元一端电连接所述温度焊盘，另一端电连接所述公共焊盘。本实用新型专利技术至少有以下优点：可靠性和抗干扰能力好、体积小、成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种温湿度传感器
本技术涉及传感器
，尤其涉及一种温湿度传感器。
技术介绍
温度和湿度测量在工农业以及日常生活中有着极其广泛的应用，也是研究气象状况、环境舒适度不可或缺的一个因素。温度传感器主要采用热敏电阻，湿度传感器主要采用电容原理实现检测。早期的温湿度测量系统采用单独设计的温度传感器和湿度传感器，这样造成测量系统体积偏大，兼容性差。随着CMOS技术发展，陆续推出了温湿度一体的集成化温湿度传感器，使得传感器体积进一步缩小，测量系统的体积也进一步缩小。但是在某些特殊应用场合，比如气象探空、冷库冷链等环境中，温度会比较低，气象探空场合下温度最低会达到-80℃以下，且湿度多处于高湿状态。在这种极端环境下，由于电容式湿度传感器的自身构造特点，湿度传感器表面容易产生结露现象，使得测量误差增大，响应速度降低，甚至造成湿度传感器失效。随着MEMS技术的发展，为解决湿度传感器结露问题，目前普遍采用的方法是在湿度传感器底部或四周增加加热丝，对湿度传感器进行加热以使其水分挥发，但加热湿度传感器的同时会造成温度传感器对环境温度测量不准，传感器体积增大等不足。增加专门的加热丝还需要引出单独的焊盘，增本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种温湿度传感器，包括衬板，其特征在于：所述衬板上设有湿度敏感单元、设于所述湿度敏感单元的外围的温度敏感单元，所述温度敏感单元工作时对所述湿度敏感单元进行加热，所述衬板上还设有湿度焊盘、温度焊盘以及公共焊盘，所述湿度敏感单元一端电连接所述湿度焊盘，另一端电连接所述公共焊盘，所述温度敏感单元一端电连接所述温度焊盘，另一端电连接所述公共焊盘。

【技术特征摘要】
1.一种温湿度传感器，包括衬板，其特征在于：所述衬板上设有湿度敏感单元、设于所述湿度敏感单元的外围的温度敏感单元，所述温度敏感单元工作时对所述湿度敏感单元进行加热，所述衬板上还设有湿度焊盘、温度焊盘以及公共焊盘，所述湿度敏感单元一端电连接所述湿度焊盘，另一端电连接所述公共焊盘，所述温度敏感单元一端电连接所述温度焊盘，另一端电连接所述公共焊盘。2.根据权利要求1所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述湿度敏感单元采用三明治结构，包括上电极、设置在其下方的下电极和包裹在两者之间的感湿介质，所述上电极电连接所述湿度焊盘，所述下电极电连接所述公共焊盘。3.根据权利要求2所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述上电极上开设有网状微孔结构，所述感湿介质通过所述微孔连通外界空气。4.根据权利要求1所述的一种温湿度传感器，其特征在于：所述湿度敏感单元采用叉指结构，包括第一电极、嵌设于所述第一电极内的第二电极和填充在两者连接形成的空隙中的感湿介质，所述第一电极与...

【专利技术属性】
技术研发人员：付俊，戴煊龙，常伟，籍庆校，任万伟，
申请(专利权)人：宝力马苏州传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32