气体分流装置及使用气体分流装置的玻璃微粒堆积体的制造方法制造方法及图纸

在将气体分流而供给到第一被供给部至第N被供给部(10‑1～10‑5)的气体分流装置(100)中，具有第一配管至第N配管(20‑1～20‑5)，第一配管至第N配管分别在下游端侧分流成第一分流配管至第N分流配管，分别关于1以上且N以下的整数i，第一配管至第N配管的第i分流配管分别共同地连接于第i被供给部，在第一配管至第N配管的所述第i分流配管分别设置阀(AVxy)。

Gas diverting device and method for manufacturing glass particle accumulation using gas diverting device

The gas supply is supplied to the first shunt unit to the N by the supply department (10 1 ~ 10 5) the gas separation unit (100), with the first pipe to N piping (20 1 ~ 20 5), first to N respectively in the piping piping downstream end to side shunt as the first to N shunt shunt piping piping, respectively on the 1 integer I above and below N, the first I shunt piping to the piping of N piping are jointly connected to the I by the Ministry of supply, the valve is arranged on the first pipe to the N pipe the I shunt pipe (AVxy).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体分流装置及使用气体分流装置的玻璃微粒堆积体的制造方法
本专利技术涉及将气体分流而向多个被供给部供给的气体分流装置及使用了该气体分流装置的玻璃微粒堆积体的制造方法。
技术介绍
石英玻璃系的光纤通常通过制造被称为预成形品的光纤母材并对该光纤母材进行拉丝来制造。预成形品通过对玻璃微粒体集合而成的玻璃微粒堆积体进行加热而脱水及烧结来制造。作为玻璃微粒堆积体的制造方法，已知有例如VAD(Vapor-phaseAxialDeposition：气相轴向沉积)法、OVD(OutsideVaporDeposition：外气相沉积)法等。在OVD法中，对于长条的芯材沿着其长度方向配置多个燃烧器，向基于多个燃烧器的氢氧火焰中供给包含SiCl4等的原料气体。由此，生成玻璃微粒而堆积在芯材上，形成玻璃微粒堆积体。然后，对于玻璃微粒堆积体在炉中进行脱水及烧结，由此得到预成形品。关于上述玻璃微粒堆积体的制造方法，专利文献1记载了对于遍及玻璃棒的全长而等间隔地配置的多个燃烧器各自的气体条件分别控制，以能够实现堆积体的形状的均匀化的情况。该各燃烧器的气体条件的控制使用设于各燃烧器的质量流控制器(MFC)。另外，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体分流装置，将气体分流而供给到第一被供给部至第N被供给部，N为2以上的整数，其特征在于，所述气体分流装置具有第一配管至第N配管，所述第一配管至第N配管中的每个配管在下游端侧分流成第一分流配管至第N分流配管，关于1以上且N以下的整数i中的每个整数i，所述第一配管至第N配管的所述第i分流配管分别共同地连接于所述第i被供给部，在所述第一配管至第N配管的所述第i分流配管分别设置有阀。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.08 JP 2015-002533;2015.01.08 JP 2015-002531.一种气体分流装置，将气体分流而供给到第一被供给部至第N被供给部，N为2以上的整数，其特征在于，所述气体分流装置具有第一配管至第N配管，所述第一配管至第N配管中的每个配管在下游端侧分流成第一分流配管至第N分流配管，关于1以上且N以下的整数i中的每个整数i，所述第一配管至第N配管的所述第i分流配管分别共同地连接于所述第i被供给部，在所述第一配管至第N配管的所述第i分流配管分别设置有阀。2.根据权利要求1所述的气体分流装置，其特征在于，所述气体分流装置还具有控制部，该控制部控制在所述第一配管至第N配管的所述第一分流配管至第N分流配管设置的所述阀的开闭，所述控制部在满足第一条件及第二条件的同时控制所述阀的开闭，所述第一条件是关于1以上且N以下的整数j中的每个整数j，使在所述第j配管的所述第一分流配管至第N分流配管设置的N个所述阀中的一个阀为开放状态，并使其余的阀为关闭状态的条件，所述第二条件是关于1以上且N以下的整数k中的每个整数k，使在所述第一配管至第N配管的所述第k分流配管设置的N个所述阀中的一个阀为开放状态，并使其余的阀为关闭状态的条件。3.根据权利要求2所述的气体分流装置，其特征在于，所述控制部以随机地切换所述阀的开闭状态的方式控制所述阀的开闭。4.根据权利要求2所述的气体分流装置，其特征在于，所述控制部以有规律地切换所述阀的开闭状态的方式控制所述阀的开闭。5.根据权利要求1～4中任一项所述的气体分流装置，其特征在于，所述气体分流装置在所述第一配管至第N配管的上游还具有分流器，所述分流器具有将所述气体分流而导出的第一气体导出口至第N气体导出口，在所述第一气体导出口至第N气体导出口分别连接有所述第一配管至第N配管的上游端。6.根据权利要求5所述的气体分流装置，其特征在于，所述分流器以向所述第一气体导出口至第N气体导出口导出的所述气体的分流比成为均等的方式设计。7.根据权利要求1～6中任一项所述的气体分流装置，其特征在于，所述第一被供给部至第N被供给部沿着长条状的对象物的长度方向排列配置。8.一种气体分流装置，将气体分流而供给到第一被供给部至第N被供给部，N为2以上的整数，其特征在于，所述气体分流装置具有：多个分流器，具有将所述气体分流而导出的第一气体导出口至第N气体导出口；及多个配管，将所述多个分流器的每个分流器的所述第一气体导出口至第N气体导出口以1:1的方式连接于所述第一被供给部至第N被供给部中的任一个被供给部，所述多个分流器的每个分流器的所述第一气体导出口至第N气体导出口在所述分流器中的位置互不相同，与所述第一被供给部至第N被供给部的每个被供...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥正，
申请(专利权)人：古河电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP