The utility model discloses a positioning mechanism of an intelligent chip inspection machine, relating to the technical field of semiconductor particle detection. Which comprises a base and a positioning platform, the platform is provided with two positioning columns for fixed tray, and the tray is matched with the positioning column of the gap, the positioning platform also includes a tray with a clip on the block, and the relative pressure setting, the pressing block is arranged on the notch for material through the pressing block in the disk, can be moved up and down under the action of the cylinder, the turntable is provided for supporting the protruding parts tray, protruding parts on distance from one point to the axis of the turntable is less than any block of an arbitrary point on the axis of the turntable to distance. The material plate starts to deform upwards, thereby tensioning the material band on the material tray, which is not only convenient for detecting, but also prevents the device from missing out.
【技术实现步骤摘要】
芯片智能检查机定位机构
本技术涉及芯片智能检测
,具体涉及一种芯片智能检查机定位机构。
技术介绍
芯片智能检查机包括机座和主控制器,机座上设有检测半导体产品表面特征的检测设备,自动放置料盘的放料装置、自动收取检测后料盘的下料装置、用于移动和定位料盘的料盘移动装置、取放料机械手,料盘移动装置的移动步距与待检测的料盘上的器件之间的间距相同,通过放料装置和取放料机械手将料盘输送至移动平台上,在移动平台上定位后固定,此后便可对料盘进行检测,可节省大量人工操作,每检测完料盘上的一个器件后,料盘移动平台会移动一个步距对下一个器件进行检测,实现对料盘进行流水线式检测。半导体表面的细微特征的视觉检测一般需要通过显微镜观察,现有的检测方法是先将载有器件的料盘放在显微镜下,然后调节显微镜的焦距,然后通过显示器观察料盘表面的情况。在显微镜检测前,料盘可能出现倾斜、正反颠倒、平面转动等技术,因此现有的定位机构也均设置了防倾斜、防颠倒等功能。然后,半导体颗粒大多是状态在柔性的料带上,将料带固定在料盘上,由于料带的柔性性质,固定在料盘上的料带会出现松弛等现象,因此检测时间,料带上的半导体器件可能出现漏检、PLC系统对料带的移动步距不准等现象。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题解决现有技术问题的不足,提供一种定位精准的芯片智能检查机定位机构。为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:芯片智能检查机定位机构,包括底座以及定位平台,所述底座下方设置相配合的下滑块和下滑轨,下滑块固定在底座上,底座在下滑块作用下可相对下滑轨滑动,底座上方固定设置上滑轨,定位平台下方固定设置与上滑轨相配合 ...
【技术保护点】
芯片智能检查机定位机构,包括底座以及定位平台,所述底座下方设置相配合的下滑块和下滑轨,下滑块固定在底座上,底座在下滑块作用下可相对下滑轨滑动,底座上方固定设置上滑轨,定位平台下方固定设置与上滑轨相配合的滑块,定位平台可相对底座滑动,所述定位平台包括底盘和可绕底盘轴心转动的转台,所述转台上设置有两个用于固定料盘的定位柱,定位柱与料盘上的缺口相配合,其特征在于:所述定位平台还包括一对用夹持料盘的,且相对设置的压块,所述压块上设置槽口用于料盘穿过,压块在气缸作用下可上下移动,所述转台上还设置用于支撑料盘的突出部件,突出部件上任意一点到转台轴心的距离均小于压块上任意一点到转台轴心的距离。
【技术特征摘要】
1.芯片智能检查机定位机构,包括底座以及定位平台,所述底座下方设置相配合的下滑块和下滑轨,下滑块固定在底座上,底座在下滑块作用下可相对下滑轨滑动,底座上方固定设置上滑轨,定位平台下方固定设置与上滑轨相配合的滑块,定位平台可相对底座滑动,所述定位平台包括底盘和可绕底盘轴心转动的转台,所述转台上设置有两个用于固定料盘的定位柱,定位柱与料盘上的缺口相配合,其特征在于:所述定位平台还包括一对用夹持料盘的,且相对设置的压块,所述压块上设置槽口用于料盘穿过,压块在气缸作用下可上下移动,所述转台上还...
【专利技术属性】
技术研发人员:张安彬,孙庆勘,刘培,
申请(专利权)人:无锡百立德自动化有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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