承载盘检验装置制造方法及图纸

本发明专利技术是有关于一种承载盘检验装置，包括一滑轨单元、二高度计以及一控制单元。滑轨单元包括有一轨道及一经由一皮带带动的横移推杆，该皮带是连接一动力源，其中，多个承载盘是依序放置于轨道上，并受横移推杆的线性推移。二高度计分别设置于一支撑架上，提供一单点式光束对应每一承载盘的两侧端缘的上表面，用以感测承载盘的高度变化量，并通过电连接该动力源及该二高度计的控制单元，控制每一承载盘的启动时序，使得每一承载盘可被照射一特定数量的单点式光束的量测点。由此，可有效避免各机台误用过度变形的承载盘，造成半导体元件翻覆、弹出或破损的情况产生。

Load tray inspection device

The invention relates to a test device for bearing plates, which comprises a slide rail unit, a two altimeter and a control unit. The slide rail unit comprises a track and a pushing push rod driven by a belt, wherein the belt is connected with a power source, wherein, a plurality of loading plates are arranged on the track in sequence, and are linearly moved by the push rod. The two altimeter are respectively arranged on a support frame, a single beam corresponding to each bearing plate on both sides of the end edge of the upper surface, with high sense of changes in measurement of bearing disk, and connect the power source and the control unit of the two altimeter by electrical, control of each bearing disk start timing. Make every single point bearing plate beam irradiated by a specified number of measuring points. Thus, the machine can effectively avoid the misuse of bearing plate excessive deformation, resulting in a semiconductor element, or damage the pop-up rollover produced.

【技术实现步骤摘要】
承载盘检验装置
本专利技术是关于一种承载盘检验装置，尤指一种适用于装载半导体元件的承载盘检验装置。
技术介绍
请参阅图9及图10，是已知厚薄规的检验方式的示意图以及已知通道式检测器的检验方式的示意图。如图9所示，图中检测者手中所握持的承载盘检验装置是为一厚薄规91，其常用于量测二零件间的间隙，也可应用于检测承载盘95的翘曲程度。使用时，若将厚薄规91插入承载盘95与桌面的间隙后，发现两者间仍有空隙且无接触到承载盘95表面，则判定为翘曲异常。再者，如图10所示，图中设置于一斜面920的承载盘检验装置是为一通道式检测器92，检测者是将承载盘95置入通道式检测器92的一具特定高度的通道921后，若承载盘95卡住无法顺利滑入时，则判定为翘曲异常。然而，上述两种承载盘检验装置皆须以人力手动操作，检验过程制式化且耗费人力，缺乏自动化的检验效率。因此，如图11所示，是已知承载盘检验装置的检验方式的示意图。美国公告号第6453760号专利案已揭示一种承载盘检验装置93，是将承载盘95置于一以输送马达932驱动的输送带930上，并以一夹具931将承载盘95固定于输送带930上，此外，位于输送带930的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种承载盘检验装置，包括有：一滑轨单元，包括有一轨道及一经由一皮带带动的横移推杆，该皮带连接一动力源，其中，多个承载盘依序放置于该轨道上，并受该横移推杆的线性推移；二高度计，分别设置于一支撑架上，提供一单点式光束对应该每一承载盘的两侧端缘的上表面；以及一控制单元，电连接该动力源及该二高度计，以控制该每一承载盘的启动时序，使得该每一承载盘可被照射一特定数量的该单点式光束的量测点。

【技术特征摘要】
1.一种承载盘检验装置，包括有：一滑轨单元，包括有一轨道及一经由一皮带带动的横移推杆，该皮带连接一动力源，其中，多个承载盘依序放置于该轨道上，并受该横移推杆的线性推移；二高度计，分别设置于一支撑架上，提供一单点式光束对应该每一承载盘的两侧端缘的上表面；以及一控制单元，电连接该动力源及该二高度计，以控制该每一承载盘的启动时序，使得该每一承载盘可被照射一特定数量的该单点式光束的量测点。2.一种承载盘检验装置，包括有：一滑轨单元，包括有一轨道及一经由一皮带带动的横移推杆，该皮带连接一动力源，其中，多个承载盘依序放置于该轨道上，并受该横移推杆的线性推移；一高度计，设置于一支撑架上，提供一阵列式光束对应该每一承载盘的上表面；以及一控制单元，电连接该动力源及该高度计，以控制该每一承载盘的启动时序，使得该每一承载盘可被持续照射该阵...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹勋亮，施松柏，郑聿彣，李庆康，陈约翰，
申请(专利权)人：京元电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71