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承载盘检验装置制造方法及图纸
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下载承载盘检验装置的技术资料
文档序号:16294737
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本发明是有关于一种承载盘检验装置,包括一滑轨单元、二高度计以及一控制单元。滑轨单元包括有一轨道及一经由一皮带带动的横移推杆,该皮带是连接一动力源,其中,多个承载盘是依序放置于轨道上,并受横移推杆的线性推移。二高度计分别设置于一支撑架上,提供...
该专利属于京元电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京元电子股份有限公司授权不得商用。
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