一种二维纳米尺度光子晶体力传感器制造技术

一种二维纳米尺度光子晶体力传感器，涉及力的测量领域。本发明专利技术是为了解决现有的传感器测量精度低、灵敏度差和二维力测量相互干扰的问题。它包括一号微悬臂梁传感器、二号微悬臂梁传感器、和纳米谐振腔，纳米谐振腔分别嵌在一号微悬臂梁传感器和二号微悬臂梁传感器上；所述一号微悬臂梁传感器为长方体的平板结构，二号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOZ平面上，一号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的YOZ平面上，所述一号微悬臂梁传感器垂直二号微悬臂梁传感器，所述一号微悬臂梁传感器位于二号微悬臂梁传感器两条短边的中心连线上，且一号微悬臂梁传感器一个侧面与二号微悬臂梁传感器首端侧面位于同一平面内。本发明专利技术适用于对二维力进行测量。

A two-dimensional nano scale photonic crystal force sensor

The invention relates to a two-dimensional nanometer scale photon crystal force sensor, relating to the measuring field of force. The invention aims to solve the problems of low measuring accuracy, poor sensitivity and mutual interference between two dimensional force measurements of the existing sensors. It includes a number of micro cantilever beam sensor, two micro cantilever sensor, and nano nano resonant cavity, resonant cavity are embedded in a number of micro cantilever sensors and two micro cantilever sensors; the number of micro cantilever sensor for flat rectangular plane, XOZ No. two micro cantilever the beam sensor is located in a three-dimensional coordinate system on the YOZ plane, a micro cantilever sensor in 3D Cartesian coordinates, the number of micro cantilever sensor two vertical microcantilever sensor, the center line of the 1st microcantilever sensor is located in No. two micro cantilever sensor two short edges on one side, and a number of micro cantilever sensor with two micro cantilever sensor head end side in the same plane. The present invention is suitable for measuring two-dimensional force.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及力的测量领域。
技术介绍
目前，已知的纳米力传感器的多为利用弹性体机械形变来间接实现力的测量。对于机械形变的测量主要由电容式和压电式两种方法。电容式的形变测量输出为非线性，并且寄生电容对灵敏度和精度的影响较大；压电式形变测量对湿度要求较高，其应用范围受到了极大地限制。因此，现有的传感器存在着精度低，灵敏度差和二维力测量相互干扰的缺点。
技术实现思路
本专利技术是为了解决现有的传感器测量精度低、灵敏度差和二维力测量相互干扰的问题。现提供一种二维纳米尺度光子晶体力传感器。一种二维纳米尺度光子晶体力传感器，它包括一号微悬臂梁传感器、二号微悬臂梁传感器和纳米谐振腔，所述一号微悬臂梁传感器和二号微悬臂梁传感器的结构相同，所述一号微悬臂梁传感器为长方体的平板结构，该平板结构的正面嵌有相互平行的两条纳米谐振腔，所述纳米谐振腔平行于所述平板结构的短边；在所述两条纳米谐振腔与所述平板结构的末端之间的背面设置有凸起的基座；二号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOZ平面上，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维纳米尺度光子晶体力传感器，其特征在于，它包括一号微悬臂梁传感器（1）、二号微悬臂梁传感器（2）和纳米谐振腔（3），所述一号微悬臂梁传感器（1）和二号微悬臂梁传感器（2）的结构相同，所述一号微悬臂梁传感器（1）为长方体的平板结构，该平板结构的正面嵌有相互平行的两条纳米谐振腔（3），所述纳米谐振腔（3）平行于所述平板结构的短边；在所述两条纳米谐振腔（3）与所述平板结构的末端之间的背面设置有凸起的基座（12）；二号微悬臂梁传感器（2）位于三维直角坐标系的XOZ平面上，且基座位于Y轴负方向，一号微悬臂梁传感器（1）位于三维直角坐标系的YOZ平面上，且一号微悬臂梁传感器（1）的基座位于X轴负方向...

【技术特征摘要】
1.一种二维纳米尺度光子晶体力传感器，其特征在于，它包括一号微悬臂梁传感器（1）、
二号微悬臂梁传感器（2）和纳米谐振腔（3），所述一号微悬臂梁传感器（1）和二号微悬
臂梁传感器（2）的结构相同，所述一号微悬臂梁传感器（1）为长方体的平板结构，该平
板结构的正面嵌有相互平行的两条纳米谐振腔（3），所述纳米谐振腔（3）平行于所述平板
结构的短边；在所述两条纳米谐振腔（3）与所述平板结构的末端之间的背面设置有凸起的
基座（12）；
二号微悬臂梁传感器（2）位于三维直角坐标系的XOZ平面上，且基座位于Y轴负方
向，一号微悬臂梁传感器（1）位于三维直角坐标系的YOZ平面上，且一号微悬臂梁传感
器...

【专利技术属性】
技术研发人员：李隆球，张广玉，李天龙，纪凤同，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23