一种热反射屏高度可调的坩埚制造技术

技术编号:16254968 阅读:59 留言:0更新日期:2017-09-22 13:28
本实用新型专利技术涉及一种热反射屏高度可调的坩埚,该坩埚包括坩埚体和坩埚盖以及调节杆,所述坩埚体内壁设置有内螺纹,所述坩埚体内设置有热反射屏,所述热反射屏外侧设置有外螺纹,并通过该外螺纹与坩埚体内壁设置的内螺纹配合连接,所述热反射屏中心设置有通孔,所述通孔一侧设置有一对对应设置的通孔槽,通孔另一侧设置有一对对应设置的盲孔槽;采用这种结构的坩埚,使用时可以根据不同晶体生长的需要在调节杆的带动下将热反射屏调节到不同的高度,整个结构更加简单,可以适应不同晶体的生长需要。

Crucible with adjustable height of heat reflecting screen

The utility model relates to a crucible heat reflective screen with adjustable height, the crucible comprises a crucible body and a crucible cover and an adjusting rod, the inner wall of the pot body is provided with an internal thread, wherein the heat reflective screen is arranged in the crucible, the heat reflecting screen is arranged outside the external thread connected with internal threads and through the inner wall of the outer thread and the crucible body is arranged, the heat reflecting screen is arranged at the center through hole, the through holes are arranged on one side of a groove hole arranged corresponding to the through hole, the other side is provided with a blind hole groove of the corresponding set; by crucible of this structure, when used according to the needs of different the crystal growth in adjusting rod driven by the heat reflective screen is adjusted to different height, the structure is simple, can meet the needs of different crystal growth.

【技术实现步骤摘要】
一种热反射屏高度可调的坩埚
本技术涉及碳化硅生产设备
,具体涉及一种热反射屏高度可调的坩埚。
技术介绍
现有的液相法生长碳化硅晶体技术,都是通过加热的方式将硅在高纯石墨坩埚中融化,形成碳在硅中的溶液,再将头部贴付有籽晶的石墨轴伸入到溶液中进行生长;为了使上述反应有一个稳定的温度条件,可以在坩埚内设置热反射屏,这样可以将向外辐射的热量反射回熔融体系中,降低反应的能耗,但是现有技术中的热反射屏需要在坩埚内设置对应的支架才能实现,但是该支架必须在制备时与坩埚置为一体,这样就无法实现位置的可调,这就导致了在不同的晶体生长调节下,热反射屏的位置是固定的,不利于热量的反射,无法起到更好的节能和稳定反应温度的作用;而且在实际操作中操作人员手上不可避免的存在油脂,操作时很容易沾染到热反射屏上去,从而给晶体生长带来杂质,因此如何解决这一系列的问题成为现有技术中的难题。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足,提供了一种热反射屏高度可调的坩埚,该坩埚包括坩埚体和坩埚盖以及调节杆,所述坩埚体内壁设置有内螺纹,所述坩埚体内设置有热反射屏,所述热反射屏外侧设置有外螺纹,并通过该外螺纹与坩埚体内壁设置的内螺纹本文档来自技高网...
一种热反射屏高度可调的坩埚

【技术保护点】
一种热反射屏高度可调的坩埚,其特征在于:包括坩埚体(1)和坩埚盖(6)以及调节杆(9),所述坩埚体(1)内壁设置有内螺纹(2),所述坩埚体(1)内设置有热反射屏(3),所述热反射屏(3)外侧设置有外螺纹(5),并通过该外螺纹(5)与坩埚体内壁设置的内螺纹(2)配合连接,所述热反射屏(3)中心设置有通孔(4),所述通孔(4)一侧设置有一对对应设置的通孔槽(7),通孔(4)另一侧设置有一对对应设置的盲孔槽(8),所述的通孔槽(7)和盲孔槽(8)交错设置且大小一致;所述调节杆(9)底部设置有与通孔槽(7)大小对应的凸块(10)。

【技术特征摘要】
1.一种热反射屏高度可调的坩埚,其特征在于:包括坩埚体(1)和坩埚盖(6)以及调节杆(9),所述坩埚体(1)内壁设置有内螺纹(2),所述坩埚体(1)内设置有热反射屏(3),所述热反射屏(3)外侧设置有外螺纹(5),并通过该外螺纹(5)与坩埚体内壁设置的内螺纹(2)配合连接,所述热反射屏(3)中心设置有通孔(4...

【专利技术属性】
技术研发人员:宋生宗艳民于国建窦文涛
申请(专利权)人:山东天岳晶体材料有限公司
类型:新型
国别省市:山东,37

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