The present invention provides a tool for tools, including: dicing machine sets; the chuck, chuck in the grip of the rotating shaft axially movable and connected to the coaxial arranged on the set; and the claw, the claw is arranged on the chuck and the set between the jaws at the bottom of the first elastic pieces connected on the top of the outer periphery of the chuck and the claw tip protruding from the chuck through, when the chuck along the rotating shaft in the sleeve to move, the claw in the under the action of an elastic element in the direction perpendicular to the rotation axis direction can be open and close. The dicing tool changer tool can be applied to the cutter changer of a dicing machine with a main shaft cylinder lock, which can be conveniently disassembled and assembled, and the knife lock mother changes tools to protect the lock mother from slipping and improve the replacement efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种划片机换刀工具
本专利技术涉及晶圆加工
,特别地,涉及一种划片机换刀工具。
技术介绍
划片机是半导体后封装关键设备,其作用是采用空气静压电主轴带动砂轮刀片高速旋转将晶圆分割成单个的电路单元,砂轮刀片通过压刀锁母固定在刀座上。换刀时主轴气缸通气,气缸杆顶在轴芯圆周沉孔内固定轴芯,通过换刀工具卡住压刀锁母,转动工具将压刀锁母拆下,更换刀具。划片机工作过程中,由于刀具磨损或切割材料的改变,经常会进行刀具的更换。现有的划片机换刀工具是在把套上铆入销子,将销子插入锁母销孔,旋转把套将压刀锁母旋下,进行换刀,其缺陷是:换刀工具上销子对准压刀锁母销孔比较困难,对准过程销子持续在锁母表面滑动,容易划伤锁母表面;锁母拆下时,容易脱落损坏。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术提供一种能够方便拆装压刀锁母进行换刀、保护锁母不滑脱、并且更换效率高的划片机换刀工具。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种划片机换刀工具包括:把套;卡盘,所述卡盘在所述把套的旋转轴的轴向上可移动地且与所述把套同轴设置在所述把套内;以及卡爪,所述卡爪设置在所述卡盘与所述把套之间,所述卡爪的底部通过第1弹性件连接在所述卡盘的外周且所述卡爪的顶端突出于所述卡盘的顶端,当所述卡盘沿着所述旋转轴移动时,所述卡爪在所述第1弹性件的作用下在垂直于所述旋转轴的方向上可张开以及可收拢。根据本专利技术实施例的划片机换刀工具,由于卡爪设置在把套内部,通过卡爪的张开与收拢,来设置和固定压刀锁母,进而可以通过旋转把套把压刀锁母旋下,进行换刀。换刀过程中,由于压刀锁母被卡爪卡住,因而可以避免其滑落,而且,该结构简单、便于拆装 ...
【技术保护点】
一种划片机换刀工具,其特征在于,包括:把套;卡盘,所述卡盘在所述把套的旋转轴的轴向上可移动地且与所述把套同轴设置在所述把套内;以及卡爪,所述卡爪设置在所述卡盘与所述把套之间,所述卡爪的底部通过第1弹性件连接在所述卡盘的外周且所述卡爪的顶端突出于所述卡盘的顶端,当所述卡盘沿着所述旋转轴在所述把套内伸出时,所述卡爪在所述第1弹性件的作用下在垂直于所述旋转轴的方向上可张开,以及可收拢。
【技术特征摘要】
1.一种划片机换刀工具,其特征在于,包括:把套;卡盘,所述卡盘在所述把套的旋转轴的轴向上可移动地且与所述把套同轴设置在所述把套内;以及卡爪,所述卡爪设置在所述卡盘与所述把套之间,所述卡爪的底部通过第1弹性件连接在所述卡盘的外周且所述卡爪的顶端突出于所述卡盘的顶端,当所述卡盘沿着所述旋转轴在所述把套内伸出时,所述卡爪在所述第1弹性件的作用下在垂直于所述旋转轴的方向上可张开,以及可收拢。2.如权利要求1所述的划片机换刀工具,其特征在于,所述卡爪的顶端的外壁形成为向外侧倾斜有第1引导角,所述卡爪的底端的内壁形成为向内侧倾斜有第2引导角。3.如权利要求2所述的划片机换刀工具,其特征在于,所述第1引导角为4°~6°,所述第2引导角为2°~4°。4.如权利要求1所述的划片机换刀工具,其特征在于,所述卡爪为多个,所述多个卡爪均匀地分布在所述卡盘的周向上。5.如权利要求1所述的划片机换刀工具,其特征在于,所述卡盘的底端通过第2弹性件与所述把套的底端相连。6.如权利要求5...
【专利技术属性】
技术研发人员:李战伟,王明权,贾月明,李雪,
申请(专利权)人:北京中电科电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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