形状测定装置制造方法及图纸

形状测定装置(1)测定板状体(G)的面形状，具备：多个流体浮起部(2)，其向板状体(G)排出流体，并且将板状体(G)支承为以平置姿态浮起的状态；以及测定部(3)，其测定表示浮起状态下的板状体(G)的面形状的面形状数据，多个流体浮起部(2)相互分离地配置。

Shape measuring device

Shape measuring apparatus (1) determination plate (G) surface shape, having a plurality of fluid float part (2), the plate (G) discharge fluid, and the plate body (G) is supported in a flat attitude floating state; and the measuring section (3), the determination of said floating plate body condition (G) surface shape data of the shape, a plurality of fluid float part (2) separate configuration.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】形状测定装置
本技术涉及一种形状测定装置，该形状测定装置将排出流体而使板状体浮起的流体浮起部作为构成要素，测定板状体的面形状。
技术介绍
近年来，在液晶显示器、等离子显示器或有机EL显示器等平板显示器(以下，称作FPD)、照明用面板甚至是太阳电池用面板等中，一直在促进轻型且具有挠性的薄壁的玻璃基板的应用。代表这种玻璃基板的轻型且具有挠性的板状体要求高平坦性，但由于因制造时的温度变化等的影响而产生翘曲、起伏等变形，因此从质量管理等观点出发，必须重视测定板状体原本的面形状的必要性。这种测定板状体的面形状的装置一般构成为，在将板状体载置在平台上并使其静止的状态下，使用测定器具等从该板状体的表面侧测定面形状。然而，在这样的普通装置中，由于板状体因自重而被按压在平台上，因此难以准确测定板状体原本的面形状。作为主要解决此类问题的目的的装置，根据专利文献1，公开了如下结构：从形成在单一的定板的表面整个区域的多个空气喷嘴排出空气，使板状体在定板上暂时浮起之后，解除空气的排出而使板状体自由落下，在该自由落下的中途，利用测定机构(专利文献1的空间坐标检测机构)测定板状体的面形状。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-068620号公报然而，根据专利文献1公开的装置，在板状体是薄壁的板玻璃或玻璃膜这样具有容易变形的特性的情况下，也有以下所示的各种问题。即，由于该装置采用在自由落下的中途测定板状体的面形状的结构，因此板状体会因落下时的空气阻力等而变形，很难或无法测定原本的面形状。另外，由于在板状体的落下中，测定机构必须在短时间内对板状体的表面进行测定，因此产生配备多个测定机构的必要性等，存在导致装置结构的复杂化、制作成本的升高的问题。此外，由于该装置构成为，在从配置于单一的定板的表面整个区域的多个空气喷嘴排出空气而使板状体浮起的状态下测定面形状，因此作用于板状体的面的空气的压力分布不会形成为优选的方式，在测定准确的面形状方面成形较大阻碍。详细而言，喷出到板状体的中央部附近的空气被喷出到板状体的端缘部附近的空气阻碍从板状体的下部空间向板状体的外部的流出。若在这样的状态下，不断向板状体的下部空间喷出空气，则作用于板状体的中央部的空气的压力比作用于板状体的端缘部附近的空气的压力高，因此板状体的中央部以向上方呈凸状的方式弯曲变形。因此，即便从这样的状态使板状体自由落下，不仅落下前的板状体会不当地弯曲变形，而且在落下时如上述那样会受到空气阻力等负面影响，因此测定板状体原本的面形状的困难性极大。
技术实现思路
技术要解决的课题本技术是鉴于上述情况而完成的，其技术课题在于，能够不使不当的流体压力作用于板状体而适当地使板状体浮起并支承板状体，从而准确地测定该板状体原本的面形状。用于解决课题的手段为了解决上述技术课题而完成的本技术涉及一种形状测定装置，其测定板状体的面形状，其特征在于，所述形状测定装置具备：流体浮起部，其向所述板状体排出流体，并且将所述板状体支承为以平置姿态浮起的状态；以及测定部，其测定表示所述浮起的状态下的所述板状体的面形状的面形状数据，所述形状测定装置具有多个所述流体浮起部，并且多个所述流体浮起部配置为彼此分离。根据这样的结构，板状体通过从多个流体浮起部排出的流体的压力而以平置姿态浮起，直接在该浮起的状态下，通过测定机构测定表示面形状的面形状数据。因此，不会像在使板状体自由落下的中途进行测定的情况那样受到空气阻力等带来的负面影响。并且，由于多个流体浮起部相互分离，因此在从各流体浮起部分别排出流体的各排出区域的彼此之间，形成有不排出流体的间隙区域。因此，在使板状体浮起而进行支承的状态下，向板状体的下部空间排出的多余流体流入间隙区域。因此，在板状体的下部空间不存在多余流体，抑制作用于板状体的流体压力的不均匀化。其结果是，板状体的中央部以向上方呈凸状的方式弯曲变形的不良情况得到抑制，能够准确地测定板状体原本的面形状。在这样的结构的基础上优选为，在多个所述流体浮起部的彼此之间形成有流出路，该流出路使所述流体从所述浮起的状态下的所述板状体的下部空间向其外部流出。若如此，即便从多个流体浮起部朝向板状体不断排出流体，存在于板状体的下部空间的多余流体也不会积存在该下部空间，而是通过流出路从下部空间向外部流出。由此，在板状体的下部空间残存多余流体的不良情况可靠地得到抑制。在以上结构的基础上优选为，多个所述流体浮起部分别在沿一方向形成为长条的壳体部的上表面设置有排出所述流体的排出部，多个所述壳体部平行或大致平行地排列配设。若如此，由于在多个壳体部的彼此之间，呈直线状的多个间隙区域以大致平行的状态形成，因此，从各壳体部的上表面的排出部排出而存在于板状体的下部空间的多余流体沿着直线状的间隙区域流动。由此，间隙区域内的流体的流通阻力变小，故而流体的流动在间隙区域停滞的情况得到抑制。并且，由于多个壳体部均具有高度，因此与各流体浮起部和其彼此间的分离部位处于同一平面的状态的情况比较，间隙区域扩大，从板状体的下部空间排除多余流体的效果增大。在以上结构的基础上也可以是，多个所述流体浮起部使所述板状体倾斜的方式支承所述板状体。若如此，还能够发挥使从多个流体浮起部朝向板状体排出的多余流体从板状体的下部空间沿板状体的倾斜面向外部流出的作用，并且还能够避免板状体向所有方向自由地浮动的情况。在以上结构的基础上优选为，所述形状测定装置具备限制所述板状体的主面方向的移动的限制构件。若如此，即便以浮起的状态被支承的板状体想要向主面方向移动，也会被限制构件限制板状体的移动，因此，能够避免在测定板状体的表面的面形状数据的过程中板状体移动的不良情况。在以上结构的基础上优选为，所述板状体形成为大致矩形状，多个所述流体浮起部以使所述板状体从对置的一方的拐角部朝向另一方的拐角部而下降倾斜的方式支承该板状体。若如此，由于在预先将板状体以浮起的状态保持在固定位置的情况下，只要限制一方的拐角部的移动即可，因此能够简化用于进行该限制的结构。需要说明的是，该情况下的板状体相对于水平面的倾斜角度优选为1度以下。在以上结构的基础上优选为，多个所述流体浮起部的彼此间的分离尺寸是10mm以上且200mm以下。即，在上述的分离尺寸小于10mm的情况下，存在分别从各流体浮起部排出的流体仅少量在各流体排出区域的彼此之间的间隙区域流通，而其大部分积存在板状体的下部空间的可能性。另一方面，在所述的分离尺寸超过200mm的情况下，存在被排出的流体从各流体排出区域的彼此间的间隙区域大量流出的可能性。因此，若预先将所述的分离尺寸设为10mm以上且200mm以下，则不易产生上述的不良情况。若考虑到以上情况，所述的分离尺寸更优选为40mm以上，并优选为120mm以下。在以上结构的基础上优选为，所述测定部包括：位移计，其以非接触的方式测定从预先明确的位置到所述板状体的表面的距离信息；驱动扫描部，其在所述板状体的上方驱动所述位移计，对所述板状体的表面进行扫描；以及处理部，其通过所述位移计的扫描而获取所述板状体的多个位置处的所述距离信息，并且根据所获取的多个距离信息生成所述面形状数据。若如此，若对驱动扫描部进行驱动，使位移计扫描板状体的表面，则能够在板状体的表面的多个位置获取从位移计到板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种形状测定装置，其测定板状体的面形状，其特征在于，所述形状测定装置具备：流体浮起部，其向所述板状体排出流体，并且将所述板状体支承为以平置姿态浮起的状态；以及测定部，其测定表示所述浮起的状态下的所述板状体的面形状的面形状数据，所述形状测定装置具有多个所述流体浮起部，并且多个所述流体浮起部配置为彼此分离，多个所述流体浮起部以使所述板状体倾斜的方式支承所述板状体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.01 JP 2014-2030871.一种形状测定装置，其测定板状体的面形状，其特征在于，所述形状测定装置具备：流体浮起部，其向所述板状体排出流体，并且将所述板状体支承为以平置姿态浮起的状态；以及测定部，其测定表示所述浮起的状态下的所述板状体的面形状的面形状数据，所述形状测定装置具有多个所述流体浮起部，并且多个所述流体浮起部配置为彼此分离，多个所述流体浮起部以使所述板状体倾斜的方式支承所述板状体。2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于，在多个所述流体浮起部的彼此之间形成有流出路，该流出路使所述流体从所述浮起的状态下的所述板状体的下部空间向其外部流出。3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，多个所述流体浮起部分别在沿一方向形成为长条的壳体部的上表面设置有排出所述流体的排出部，多个所述壳体部平行地排列配设。4.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，所述形状测定装置具备限制所述板状体的主面方向的移动的限制构件。5.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，所述板状体形成为矩形状，多个所述流体浮起部以使所述板状体从对置的一方的拐角部朝向另一方的拐角部而下降倾斜的方式支承所述板状体。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥忠，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP