溅镀旋转靶旋转机构总成制造技术

本实用新型专利技术涉及溅镀旋转靶旋转机构总成，包括外壳，所述外壳内部设有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴总成和与之连接的时规皮带，所述旋转轴总成内部安装有定轴总成，所述旋转轴总成前后两端连接有油封组，所述旋转轴总成前段安装有连接法兰盘。本实用新型专利技术的优点是：外壳的作用主要是用于支撑内部的构件；旋转轴总成内安装的定轴总成主要是安装磁棒后作为定位和定子的作用；旋转轴总成前后端的油封组，其中的一端主要用作正负压的隔绝，另一端用作冷却水外漏的隔绝。

Rotary mechanism assembly for sputtering rotary target

The utility model relates to a sputtering target rotation rotation mechanism assembly, which comprises a shell, the shell is provided with a rotary mechanism, the rotating mechanism comprises a rotating shaft assembly and a timing belt, the rotating shaft assembly is mounted inside the fixed shaft, the rotating shaft assembly at both ends connected with the oil group, the rotary shaft assembly is installed before connecting flange. The utility model has the advantages that the function of the outer shell is mainly used to support the internal member; a rotating shaft installation assembly fixed shaft assembly is installed after the magnet as positioning and stator; rotary shaft oil seal assembly group before and after the end of the end, which is mainly used for the isolation of positive and negative pressure, isolation leakage the other end is used as cooling water.

【技术实现步骤摘要】
溅镀旋转靶旋转机构总成
本技术涉及溅镀旋转靶旋转机构总成。
技术介绍
一般平面靶材都是以固定的方式在一靶极上,且在溅镀时靶材消耗的都是在同一个区域,造成其他区域的浪费,使用率低，且在同一位置消耗时温度也会随之较高,所使用率仅能在30～35％,且更换靶材后的使用周期也只能大约在7个工作天。因此，需要寻求一种新的技术方案来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是：提供一种解决溅镀行业里使用平面靶材时使用率低,更换耗材频繁溅镀旋转靶旋转机构总成。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：溅镀旋转靶旋转机构总成，包括外壳，所述外壳内部设有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴总成和与之连接的时规皮带，所述旋转轴总成内部安装有定轴总成，所述旋转轴总成前后两端连接有油封组，所述旋转轴总成前段安装有连接法兰盘。所述旋转轴总成与外壳之间还设有密封圈。所述外壳上设有水路导管。所述定轴总成安装于旋转轴总成的中心内部。在上述技术方案中，跟现有技术相比所达到的技术效果是:外壳的作用主要是用于支撑内部的构件；旋转轴总成内安装的定轴总成主要是安装磁棒后作为定位和定子的作用；旋转轴总成前后端的油封组，其中的一端主要用作正负压的隔绝，另一端用作冷却水外漏的隔绝；密封圈的设计，主要是做气密隔绝和防漏水的作用；水路导管的作用主要是对冷却水进行进和出的引导；同时此旋转机构总成提高耗材利用率，提高了耗材的散热效率，延长了2-3倍的使用周期，节省了成本。附图说明附图1为本技术实施例一的总视图。以上附图中：1-外壳、2-定轴总成、3-旋转轴总成、4-时规皮带、5-密封圈、6-油封组、7-连接法兰盘、8-水路导管。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述。实施例一：如图1所示，本技术的溅镀旋转靶旋转机构总成，包括外壳1，所述外壳1内部设有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴总成3和与之连接的时规皮带4，所述旋转轴总成3内部安装有定轴总成2，所述旋转轴总成3前后两端连接有油封组6，所述旋转轴总成3前段安装有连接法兰盘7。所述旋转轴总成3与外壳1之间还设有密封圈5。所述外壳1上设有水路导管8。所述定轴总成2安装于旋转轴总成3的中心内部。在上述技术方案中，跟现有技术相比所达到的技术效果是:外壳1的作用主要是用于支撑内部的构件；旋转轴总成3内安装的定轴总成2主要是安装磁棒后作为定位和定子的作用；旋转轴总成3前后端的油封组6，其中的一端主要用作正负压的隔绝，另一端用作冷却水外漏的隔绝；密封圈5的设计，主要是做气密隔绝和防漏水的作用；水路导管8的作用主要是对冷却水进行进和出的引导；同时此旋转机构总成提高耗材利用率，提高了耗材的散热效率，延长了2-3倍的使用周期，节省了成本。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
溅镀旋转靶旋转机构总成，其特征在于：包括外壳，所述外壳内部设有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴总成和与之连接的时规皮带，所述旋转轴总成内部安装有定轴总成，所述旋转轴总成前后两端连接有油封组，所述旋转轴总成前段安装有连接法兰盘。

【技术特征摘要】
1.溅镀旋转靶旋转机构总成，其特征在于：包括外壳，所述外壳内部设有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴总成和与之连接的时规皮带，所述旋转轴总成内部安装有定轴总成，所述旋转轴总成前后两端连接有油封组，所述旋转轴总成前段安装有连接法兰盘。2.根据权利要求1所述的溅...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍凯，陈宥廷，
申请(专利权)人：苏州凡特真空溅镀科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32