Method of cycle pulse discharge preparation of multi functional nano protective coating of a cycle, which belongs to the field of plasma technology, the method, the reaction chamber vacuum and inert gas, so that the substrate moving into monomer steam to the reaction chamber for chemical vapor deposition, deposition the process includes the pretreatment stage and coating stage, the preprocessing stage for high power plasma discharge continuous discharge, plasma discharge method for coating stage duty cycle of pulse discharge, repeated pretreatment stage and coating stage at least once, in the coating process, the substrate surface is introduced into the circulation of more active sites, increase effective coating, more compact membrane structure, the nano coating of multi-layer structure, providing multi-level protection for the product itself, microscopically for more The dense coating structure shows excellent hydrophobicity, adhesion, acid and alkali resistance, mechanical properties and moisture resistance.
【技术实现步骤摘要】
一种循环大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法
本专利技术属于等离子体化学气相沉积
,具体涉及到一种制备多功能性纳米防护涂层的方法。
技术介绍
腐蚀性环境是电子器件被破坏的最普遍的因素。因环境腐蚀而导致电子器件中固体材料的腐蚀、导体/半导体绝缘性降低以及短路、断路或者接触不良等故障现象。目前,在国防、航天等高科技行业的产品中,电子部件占有的比率越来越大,对电子产品防潮、防霉、耐腐蚀性要求越来越严格。而在通讯领域,随着技术不断进步,通讯频率的不断提升、对通讯设备的散热、信号传输的稳定可靠性要求也越来越高。因此,需要可靠的方法既能对电路板及电子元件进行有效防护,又不会影响正常散热及信号传输。聚合物涂层由于经济、易涂装、适用范围广等特点常用于材料表面的防护,可以赋予材料良好的物理、化学耐久性。基于聚合物涂层的阻隔性,其在电子电器、电路板表面形成的保护膜可有效地隔离线路板,并可保护电路在腐蚀环境下免遭侵蚀、破坏,从而提高电子器件的可靠性,增加其安全系数,并保证其使用寿命,被用作防腐蚀涂层。敷形涂覆(Conformalcoating)是将特定材料涂覆到PCB上 ...
【技术保护点】
一种循环大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)将基材置于纳米涂层制备设备的反应腔室内,对反应腔室连续抽真空,将反应腔室内的真空度抽到10~200毫托,并通入惰性气体He或者Ar,开启运动机构,使基材在反应腔室内产生运动;(2)通入单体蒸汽到反应腔室内,至真空度为30~300毫托,开启等离子体放电,进行化学气相沉积;(3)沉积过程包括预处理阶段和镀膜阶段,预处理阶段等离子体放电功率为120~400W,持续放电时间60~450s,然后进入镀膜阶段,镀膜阶段为脉冲放电,功率50~200W,时间600s~3600s;(4)循环重复步骤(3) ...
【技术特征摘要】
1.一种循环大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)将基材置于纳米涂层制备设备的反应腔室内,对反应腔室连续抽真空,将反应腔室内的真空度抽到10~200毫托,并通入惰性气体He或者Ar,开启运动机构,使基材在反应腔室内产生运动;(2)通入单体蒸汽到反应腔室内,至真空度为30~300毫托,开启等离子体放电,进行化学气相沉积;(3)沉积过程包括预处理阶段和镀膜阶段,预处理阶段等离子体放电功率为120~400W,持续放电时间60~450s,然后进入镀膜阶段,镀膜阶段为脉冲放电,功率50~200W,时间600s~3600s;(4)循环重复步骤(3)中预处理阶段和镀膜阶段至少一次,在基材表面化学气相沉积制备多功能性纳米涂层;所述步骤(3)和步骤(4)中脉冲放电的频率为1~1000HZ,脉冲的占空比为1:1~1:1000;所述单体蒸汽成分为:至少一种单官能度不饱和氟碳树脂和至少一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物,所述单体蒸汽中多官能度不饱和烃类衍生物所占的质量分数为15~65%;(5)停止通入单体蒸汽,同时停止等离子体放电,持续抽真空,保持反应腔室真空度为10~200毫托1~5min后通入大气至一个大气压,停止基材的运动,然后取出基材即可。2.根据权利要求1所述的一种循环大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法,其特征在于:所述步骤(1)中基材在反应腔室内产生运动,基材运动形式为基材相对反应腔室进行直线往复运动或曲线运动,所述曲线运动包括圆周运动、椭圆周运动、行星运动、球面运动或其他不规则路线的曲线运动。3.根据权利要求1所述的一种循环大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法,其特征在于:所述步骤(1)中基材为固体材料,所述固体材料为电子产品、电器部件、电子组装半成品,PCB板、金属板、聚四氟乙烯板材或者电子元器件,且所述基材表面制备多功能性纳米涂层后其任一界面可暴露于水环境,霉菌环境,酸、碱...
【专利技术属性】
技术研发人员:宗坚,
申请(专利权)人:无锡荣坚五金工具有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。