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一种循环大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法技术
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一种循环大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法,属于等离子体技术领域,该方法中,将反应腔室抽真空度并通入惰性气体,使基材产生运动,通入单体蒸汽到反应腔室内,进行化学气相沉积,沉积过程包括预处理阶段和镀膜阶段,预处理阶段等离子体放电方...
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