一种图像自动对焦方法和设备技术

本发明专利技术涉及图像采集技术领域，尤其涉及一种图像自动对焦方法和设备。所述方法包括：获得第一图像，根据所述第一图像获得第一目标图像；根据所述第一目标图像获得第一显著区域图像；获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域；将所述最小外接矩形区域确定为对焦窗口区域，其中，所述对焦窗口区域中包括第二图像；根据所述第二图像获得第二目标图像，根据像素灰度值和像素灰度平均值获得所述第二目标图像的对焦评价函数的值；根据所述对焦评价函数的极值获得第三目标图像。通过上述技术方案，解决了现有图像对焦技术扫描采集时间长，对焦灵敏度低的技术问题，具有使SEM快速、精密对焦的技术效果。

Automatic focusing method and equipment for image

The invention relates to the technical field of image acquisition, in particular to an automatic image focusing method and apparatus. The method includes: obtaining a first image, according to the first image to obtain the first target image; according to the first target image won the first significant image area; get the minimum outside the first significant area of the image rectangle region; the minimum bounding rectangle region is determined to be a focus window area, among them, the focus the window area includes second images; according to the second images obtained second target image according to the pixel value and pixel average to obtain the second target image focusing evaluation function values; third target image according to extreme value of the focusing evaluation function. Through the technical proposal, the technical problems of the prior image focusing technique, long scanning acquisition time and low focusing sensitivity are solved, and the technical effect of fast and precise focusing of the SEM is solved.

【技术实现步骤摘要】
一种图像自动对焦方法和设备
本专利技术涉及图像采集
，尤其涉及一种图像自动对焦方法和设备。
技术介绍
随着大规模集成电路的特征尺寸变得越来越小，扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope，简称SEM)在大规模集成电路检测设备中扮演的角色越来越重。当SEM工作时，会有许多因素造成系统的对焦状态发生改变，从而降低SEM图像质量。为了提高SEM的工作效率，能够快速获得清晰的SEM图像，扫描电子显微镜需具备快速、精密的自动对焦功能。SEM设备为扫描成像，扫描时间越长，每个像元接收的电子数目越多，图像的信噪比越高，但对应的图像的采集时间越长。本领域技术人员在日常工作中发现现有技术存在如下问题：现有的对焦技术，对图像的质量有一定的要求，相对应的需要SEM较多的扫描采集时间，降低对焦的灵敏度，不适于实时对焦场合。
技术实现思路
本申请实施例提供了一种图像自动对焦方法和设备，解决了现有图像对焦技术扫描采集时间长，对焦灵敏度低的技术问题，具有使SEM快速、精密对焦的技术效果。本申请实施例提供一种图像自动对焦方法，所述方法包括：获得第一图像，其中，所述第一图像包括背景图像和噪本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图像自动对焦方法，所述方法包括：获得第一图像，其中，所述第一图像包括背景图像和噪声图像；根据所述第一图像获得第一目标图像，其中，所述第一目标图像为从所述第一图像中滤除所述背景图像和所述噪声图像后获得的图像；根据所述第一目标图像获得第一显著区域图像；其中，所述第一显著区域图像为所述第一目标图像的显著区域图像；获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域；将所述最小外接矩形区域确定为对焦窗口区域，其中，所述对焦窗口区域中包括第二图像；根据所述第二图像获得第二目标图像，其中，所述第二目标图像为所述第二图像经平滑处理后的图像；获得所述第二目标图像在所述对焦窗口区域内的像素灰度值hlv(m,n)；获得...

【技术特征摘要】
1.一种图像自动对焦方法，所述方法包括：获得第一图像，其中，所述第一图像包括背景图像和噪声图像；根据所述第一图像获得第一目标图像，其中，所述第一目标图像为从所述第一图像中滤除所述背景图像和所述噪声图像后获得的图像；根据所述第一目标图像获得第一显著区域图像；其中，所述第一显著区域图像为所述第一目标图像的显著区域图像；获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域；将所述最小外接矩形区域确定为对焦窗口区域，其中，所述对焦窗口区域中包括第二图像；根据所述第二图像获得第二目标图像，其中，所述第二目标图像为所述第二图像经平滑处理后的图像；获得所述第二目标图像在所述对焦窗口区域内的像素灰度值hlv(m,n)；获得所述第二目标图像在所述对焦窗口区域内的像素灰度平均值根据所述像素灰度值和所述像素灰度平均值获得所述第二目标图像的对焦评价函数的值，其中，所述对焦评价函数获得所述对焦评价函数的极值；根据所述极值获得第三目标图像，其中，所述第三目标图像为最终对焦图像。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一图像获得第一目标图像包括:获得所述第一图像的平均像素值；获得带通滤波器处理后的所述第一图像；获得所述处理后的第一图像的每个点的像素值；获得所述处理后的第一图像的显著值，其中，所述显著值是指所述处理后的第一图像的所述每个点的像素值和所述第一图像的平均像素值之间的欧几里得距离；根据所述处理后的第一图像的显著值获得所述第一目标图像，其中，所述处理后的第一图像的显著值可转化为灰度图像，所述第一目标图像为所述灰度图像的一部分。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域具体为：根据凸包法获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二图像获得所述第二目标图像包括:根据Log算子和所述第二图像获得所述第二目标图像；其中，所述Log算子的公式为其中，所述f(m,n)表示所述第二图像，h(m,n)表示所述第二目标图像，g(m,n)表示高斯滤波器，表示拉普拉斯算子。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩邦强，宗明成，孟璐璐，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11