光源装置以及具备该光源装置的曝光装置制造方法及图纸

光源装置具备：光源部，具有包含出射第一波长的光的多个LED元件在内的第一光放射区域、以及包含出射与上述第一波长不同的第二波长的光的多个LED元件在内的第二光放射区域；光检测部，检测第一波长的光的强度；以及控制部，构成为能够对于第一光放射区域以及第二光放射区域分别独立地进行通电的接通、断开控制。控制部具有存储部，该存储部存储有关于第一波长的光的目标累计光量即第一目标累计光量的信息，在基于由光检测部检测出的上述第一波长的光的强度而计算出的累计光量达到第一目标累计光量时，与针对第二光放射区域的通电的控制独立地进行使针对第一光放射区域的通电停止的控制。

Light source device and exposure device provided with the light source device

Light source apparatus includes a light source, a LED element contains the first shot wavelength of light, the first light radiation area, and contains a plurality of LED elements with the first shot second wavelength wavelength light, second light emitting region; light detection, detection of the first wavelength of light strength; and a control section constituted for light radiation for the first region and the second light emitting region independently connected, power off control. A control unit includes a storage unit, the storage unit stores a first wavelength of light light is the first target target total cumulative quantity of information, the cumulative reach in a light quantity detected by the detection of light of the first wavelength of light intensity based on the calculated cumulative amount of light first target, and for the second light emitting region the electric control independently the control power on the first light emission region stop.

【技术实现步骤摘要】
光源装置以及具备该光源装置的曝光装置
本专利技术涉及光源装置，特别是涉及具备多个LED元件的光源装置。另外，本专利技术涉及包含这种光源装置的曝光装置。
技术介绍
以往，在多种领域中利用了运用光的光处理技术。例如，在使用了光的细微加工中利用了曝光装置。近年来，曝光技术开展于各种领域，在细微加工之中也被利用于相对较大的图案的制作、三维的细微加工中。更具体而言，例如在LED的电极图案的制作、以加速度传感器为代表的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems，微机电系统)的制造工序等中利用了曝光技术。在这些光处理技术中，作为光源，以往以来使用了亮度较高的放电灯。但是，伴随着近年来的固体光源技术的进歩，研究了将配置有多个LED元件的装置用作光源的情况。作为这种技术，例如在专利文献1中公开了将由多个LED元件构成的单元作为光源、并在该光源与掩模之间配置有蝇眼透镜的曝光装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-335937号公报如上述那样，以往，作为曝光装置用的光源使用了亮度较高的放电灯。作为这种放电灯的一个例子，可列举超高压水银灯。图1是表示从超高压水银灯放本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光源装置，其特征在于，具备：光源部，具有包含出射第一波长的光的多个LED元件在内的第一光放射区域、以及包含出射与上述第一波长不同的第二波长的光的多个LED元件在内的第二光放射区域；光检测部，配置于上述光源部的后级，并检测上述第一波长的光的强度；以及控制部，构成为能够对于上述第一光放射区域以及上述第二光放射区域分别独立地进行通电的接通、断开控制，上述控制部具有存储部，该存储部存储有与上述第一波长的光的目标累计光量即第一目标累计光量有关的信息，在基于由上述光检测部检测出的上述第一波长的光的强度而计算出的累计光量达到上述第一目标累计光量时，与针对上述第二光放射区域的通电的控制独立地进行使针对上述...

【技术特征摘要】
2016.03.07 JP 2016-0436661.一种光源装置，其特征在于，具备：光源部，具有包含出射第一波长的光的多个LED元件在内的第一光放射区域、以及包含出射与上述第一波长不同的第二波长的光的多个LED元件在内的第二光放射区域；光检测部，配置于上述光源部的后级，并检测上述第一波长的光的强度；以及控制部，构成为能够对于上述第一光放射区域以及上述第二光放射区域分别独立地进行通电的接通、断开控制，上述控制部具有存储部，该存储部存储有与上述第一波长的光的目标累计光量即第一目标累计光量有关的信息，在基于由上述光检测部检测出的上述第一波长的光的强度而计算出的累计光量达到上述第一目标累计光量时，与针对上述第二光放射区域的通电的控制独立地进行使针对上述第一光放射区域的通电停止的控制。2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述控制部在使针对上述第二光放射区域的通电开始并经过了规定的时间之后，与针对上述第一光放射区域的通电的控制独立地进行使针对上述第二光放射区域的通电停止的控制。3.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，上述光检测部是能够检测出上述第二波长的光的强度的构成，上述存储部存储有与上述第二波长的光的目标累计光量即第二目标累计光量有关的信息，在基于由上述光检测部检测出的上述第二波长的光的强度而计算出的累计光量达到上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：松岛竹夫，多田元典，上原理彰，木下顺一，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP