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光源装置以及具备该光源装置的曝光装置制造方法及图纸
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下载光源装置以及具备该光源装置的曝光装置的技术资料
文档序号:16215480
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光源装置具备:光源部,具有包含出射第一波长的光的多个LED元件在内的第一光放射区域、以及包含出射与上述第一波长不同的第二波长的光的多个LED元件在内的第二光放射区域;光检测部,检测第一波长的光的强度;以及控制部,构成为能够对于第一光放射区域...
该专利属于优志旺电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。
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