下载光源装置以及具备该光源装置的曝光装置的技术资料

文档序号:16215480

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

光源装置具备:光源部,具有包含出射第一波长的光的多个LED元件在内的第一光放射区域、以及包含出射与上述第一波长不同的第二波长的光的多个LED元件在内的第二光放射区域;光检测部,检测第一波长的光的强度;以及控制部,构成为能够对于第一光放射区域...
该专利属于优志旺电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。