振动位移测定装置及振动位移测定方法制造方法及图纸

振动位移测定装置具有：光源部，其输出以使被测定对象的测定部位配置于相关峰内的方式进行了频率调制的连续光；分支部，其将连续光分支为第1分支光和第2分支光；受光部，其对在被测定对象处被反射的第1分支光和第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号；以及运算部，其使用电气信号，求出被测定对象的振动或者位移。

Vibration displacement measuring device and method for measuring vibration displacement

The vibration displacement measuring device has a light source, the output light is to make continuous determination of object measurement site is configured on the way of correlation peak in frequency modulation; sub branch, the first branch of continuous light branch and second branch optical light; light receiving part, the object to be measured the reflected light and the first branch second branch optical interference light and light to generate electrical signals; and the operation Department, the use of electrical signals, calculate the object vibration or displacement to be measured.

【技术实现步骤摘要】
振动位移测定装置及振动位移测定方法
本专利技术涉及对被测定对象的振动或者位移进行测定的振动位移测定装置及振动位移测定方法。本申请主张2016年3月4日申请的日本专利申请第2016-042761号及2016年7月27日申请的日本专利申请第2016-147538号的优先权，在这里引用其内容。
技术介绍
振动位移测定装置为了对被测定对象的振动或者位移进行测定而在各种领域中使用。例如，为了对在设置于车间的各种设备(例如，流量控制阀及开闭阀等阀设备、风扇、电动机等旋转设备、配管、其他设备)或各种发动机(供汽车、飞机、船舶、其他使用的发动机)中产生的振动、位移进行测定而使用。如上所述的振动位移测定装置大致区分为接触型的振动位移测定装置和非接触型的振动位移测定装置。作为接触型的振动位移测定装置的代表，可举出压电式、静电容量式的半导体加速度传感器，作为非接触型的振动位移测定装置的代表，可举出使用了激光干涉计的激光多普勒测速仪(LaserDopplerVelocimeter、Velocimetry、或者Vibrometer：下面称为“LDV”)。作为接触型的振动位移测定装置的一种的压电式半导体加速度传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动位移测定装置，其以非接触方式对被测定对象的振动或者位移进行测定，该振动位移测定装置具有：光源部，其输出以使所述被测定对象的测定部位配置于相关峰内的方式进行了频率调制的连续光；分支部，其将所述连续光分支为第1分支光和第2分支光；受光部，其对在所述被测定对象处被反射的所述第1分支光和所述第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号；以及运算部，其使用所述电气信号，求出所述被测定对象的振动或者位移。

【技术特征摘要】
2016.03.04 JP 2016-042761;2016.07.27 JP 2016-147531.一种振动位移测定装置，其以非接触方式对被测定对象的振动或者位移进行测定，该振动位移测定装置具有：光源部，其输出以使所述被测定对象的测定部位配置于相关峰内的方式进行了频率调制的连续光；分支部，其将所述连续光分支为第1分支光和第2分支光；受光部，其对在所述被测定对象处被反射的所述第1分支光和所述第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号；以及运算部，其使用所述电气信号，求出所述被测定对象的振动或者位移。2.根据权利要求1所述的振动位移测定装置，其中，所述光源部至少设定调制周期及调制振幅，以使得所述被测定对象的测定部位配置于相关峰内。3.根据权利要求2所述的振动位移测定装置，其中，所述光源部的调制周期及调制振幅设定为，使所述被测定对象的测定部位配置于所述相关峰的前半部或后半部。4.根据权利要求3所述的振动位移测定装置，其中，所述光源部的调制周期设定为，将通过所述分支部分支出的所述第1分支光在所述被测定对象处进行反射而到达所述受光部为止的第1光路的长度、与通过所述分支部分支出的所述第2分支光到达所述受光部为止的第2光路的长度之差除以光速而得到的值的整数倍、或者接近所述整数倍的值。5.根据权利要求3所述的振动位移测定装置，其中，所述光源部的调制振幅与所述被测定对象的测定部位的振动或者位移的大小相对应地设定。6.根据权利要求1至5中任一项所述的振动位移测定装置，其中，还具有光纤，该光纤将通过所述分支部分支出的所述第1分支光引导至朝向所述被测定对象进行照射的位置即照射位置。7.根据权利要求6所述的振动位移测定装置，其中，还具有透镜，该透镜配置于所述照射位置和所述被测定对象之间，将从所述光纤射出的所述第1分支光聚光至所述被测定对象的测定部位。8.根据权利要求6所述的振动位移测定装置，其中，还具有透镜，该透镜配置于所述照射位置和所述被测定对象之间，将...

【专利技术属性】
技术研发人员：古川靖，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP