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振动位移测定装置及振动位移测定方法制造方法及图纸
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文档序号:16186715
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振动位移测定装置具有:光源部,其输出以使被测定对象的测定部位配置于相关峰内的方式进行了频率调制的连续光;分支部,其将连续光分支为第1分支光和第2分支光;受光部,其对在被测定对象处被反射的第1分支光和第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号;...
该专利属于横河电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过横河电机株式会社授权不得商用。
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