一种TFT‑LCD玻璃基板薄化后处理方法技术

本发明专利技术公开了一种TFT‑LCD玻璃基板薄化后处理方法，包括以下步骤：(1)向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸：32％～65％、盐酸：12％～18％、硝酸：10％～15％、氢氟酸：0.9％～5％、纯水：14％～32％；(2)将TFT‑LCD玻璃基板置于预处理酸液中，预处理酸液液位控制在TFT‑LCD玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；(3)预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范围内，清洗时间控制在3min～10min；(4)将上述清洗完成后的预处理基板转投入有薄化酸液的设备内，直到基板薄化至目标厚度管控范围内。

A method for processing TFT LCD glass substrate after thinning

The invention discloses a processing method of TFT thinning LCD glass substrate, which comprises the following steps: (1) to a closed container, then add the acid sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, hydrofluoric acid and pure water preparation of acid pretreatment, pretreatment of acid sulfuric acid mass fraction respectively: 32% ~ 65% from 12% to 18%, hydrochloric acid, nitric acid, hydrofluoric acid: 10% ~ 15%: 0.9% ~ 5%, water: 14% ~ 32%; (2) TFT LCD glass substrate in acid pretreatment, pretreatment of acid liquid level control over TFT LCD glass substrate at the top of the 5cm, pretreatment time to 100 m under the conditions of substrate double-sided processing capacity of 25 mu m to control in 10min ~ 200Min; (3) cleaning the LCD glass substrate placed in the water after the pretreatment of pure water bubbling flow is maintained in the 40L/H ~ 200L/H range, cleaning time control in 3MI N to 10min; (4) the pretreatment substrate after the cleaning is completed is transferred into the equipment with the acidizing fluid until the substrate is thinned to the target thickness control range.

【技术实现步骤摘要】
一种TFT-LCD玻璃基板薄化后处理方法
本专利技术涉及TFT-LCD
，具体涉及一种TFT-LCD玻璃基板薄化后处理方法。
技术介绍
液晶显示器是目前广泛使用的平板显示器(FPD)之一，具有功耗低、外形薄、重量轻等特征。随着LCD技术的发展，为了应对各类液晶显示器薄型化的发展趋势，高世代生产线相继投入到薄型化产品的生产中。其中单片玻璃的厚度从流行的0.7t、0.63t逐步薄化为0.5t、0.4t甚至0.3t以下的玻璃基板生产的产品都已得到了生产。液晶玻璃基板目前主要采用化学薄化的办法，其主要特点是薄化时间短，生产产量较大，工艺简单；目前所有的薄化厂家都是直接使用氢氟酸或者添加其它的有机活性剂进行蚀刻。液晶玻璃基板薄化后其表面均会有一定程度的不良，如凹点、划痕等，这样就必须对其表面进行物理研磨，以降低或消除部分不良，使得研磨时间增加，生产效率低。
技术实现思路
本专利技术旨在提供了一种TFT-LCD玻璃基板薄化后处理方法。本专利技术提供如下技术方案：一种TFT-LCD玻璃基板薄化后处理方法，包括以下步骤：(1)向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸：32％～65％、盐酸：12％～18％、硝酸：10％～15％、氢氟酸：0.9％～5％、纯水：14％～32％；(2)将TFT-LCD玻璃基板置于预处理酸液中，预处理酸液液位控制在TFT-LCD玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；(3)预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范围内，清洗时间控制在3min～10min；(4)将上述清洗完成后的预处理基板转投入有薄化酸液的设备内，直到基板薄化至目标厚度管控范围内。所述步骤(2)中预处理时间以液晶玻璃基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内。所述步骤(4)中目标厚度范围为0.8-1.2mm。所述步骤(4)中纯水中的电阻率为90Ω·m。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术本专利技术可以明显改善液晶玻璃基板薄化后表面不良效果，使基板表面的凹点以及线状划痕得到一定程度的抑制，其深度及尺寸均有明显的降低；本专利技术对液晶玻璃基板的研磨效率有明显的提高，在相同研磨条件下，经预处理正常薄化后的液晶玻璃基板相对于未做预处理直接薄化后的液晶玻璃基板，其研磨时间可减少50％～80％，甚至部分预处理薄化后的液晶玻璃基板不用对其进行研磨就可达到标准。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例1一种TFT-LCD玻璃基板薄化后处理方法，包括以下步骤：(1)向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸：32％～65％、盐酸：12％～18％、硝酸：10％～15％、氢氟酸：0.9％～5％、纯水：14％～32％；(2)将TFT-LCD玻璃基板置于预处理酸液中，预处理酸液液位控制在TFT-LCD玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；(3)预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范围内，清洗时间控制在3min～10min；(4)将上述清洗完成后的预处理基板转投入有薄化酸液的设备内，直到基板薄化至目标厚度管控范围内。所述步骤(2)中预处理时间以液晶玻璃基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内。所述步骤(4)中目标厚度范围为0.8-1.2mm。所述步骤(4)中纯水中的电阻率为90Ω·m。对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于所述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是所述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种TFT‑LCD玻璃基板薄化后处理方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸：32％～65％、盐酸：12％～18％、硝酸：10％～15％、氢氟酸：0.9％～5％、纯水：14％～32％；(2)将TFT‑LCD玻璃基板置于预处理酸液中，预处理酸液液位控制在TFT‑LCD玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；(3)预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范围内，清洗时间控制在3min～10min；(4)将上述清洗完成后的预处理基板转投入有薄化酸液的设备内，直到基板薄化至目标厚度管控范围内。

【技术特征摘要】
1.一种TFT-LCD玻璃基板薄化后处理方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸：32％～65％、盐酸：12％～18％、硝酸：10％～15％、氢氟酸：0.9％～5％、纯水：14％～32％；(2)将TFT-LCD玻璃基板置于预处理酸液中，预处理酸液液位控制在TFT-LCD玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；(3)预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范...

【专利技术属性】
技术研发人员：白航空，
申请(专利权)人：合肥市惠科精密模具有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34