设备腔室升降机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种设备腔室升降机构，包括升降立柱结构、推杆、中心轴、驱动电机；所述升降立柱结构设有数个，分散设于卡盘外侧；升降立柱结构包括活塞腔，活塞腔内设有上活塞和下活塞，上活塞和下活塞间包含密闭空气；上活塞用于连接需要升降的部件底部；推杆呈L型，其竖立部与升降立柱机构的下活塞相连，横向部与中心轴相连；中心轴连接驱动电机。进一步地，所述升降立柱结构设有三个，相互呈120度间隔设于卡盘外侧。本实用新型专利技术可以避免腔室外壁或侧板在上升或下降过程中的卡壳现象，使得升降过程更顺畅。

Equipment chamber lifting mechanism

The utility model provides a device lifting mechanism comprises a lifting chamber, column structure, a push rod, a central shaft, a drive motor; the lifting column structure is provided with a plurality of lateral dispersion, a chuck; lifting column structure includes a piston chamber, the piston on the piston and the lower chamber is provided with a piston, piston and piston under closed air inclusion connect the bottom; need to lift the parts for the piston; the piston push rod is L, the vertical part and lifting column mechanism is connected with the central axis of the transverse shaft connected to a motor driving center. Further, the lifting column structure is provided with three, each of which is 120 degrees apart, and is arranged outside the chuck. The utility model can avoid the chamber walls or sides on the rise or fall in the process of lifting of the jamming phenomenon more smoothly.

【技术实现步骤摘要】
设备腔室升降机构
本技术涉及一种升降机构，尤其是一种设备腔室专用的升降机构。
技术介绍
随着微电子技术的迅猛发展，半导体晶圆的尺寸越来越大，已由原来的200mm向300mm甚至更大尺寸转化，技术节点越来越小，已由90nm向28nm甚至更小节点发展。以前很多工艺采用的是槽式设备，比如槽式清洗，槽式去胶，槽式刻蚀等设备，现在很多都采用单片式设备，有单片式清洗设备，单片式去胶设备，单片式刻蚀设备等等。半导体工艺制程中涉及很多清洗、湿法去胶和湿法刻蚀工艺，清洗中比如晶圆清洗，深孔清洗等；而湿法刻蚀则包括种子层刻蚀，硅刻蚀等等。由于单片式清洗和刻蚀过程中需要用到不同的药液，为了便于药液的排放处理或循环使用以及避免不同药液混合带来的潜在风险，往往设备的腔室里具有不同的药液排放或回收循环使用管路，即不同的药液有各自的排放或回收循环使用管路，相应的不同的管路需要对应的侧板拦截卡盘旋转甩出的药液。如图1所示为现有单片式设备腔室药液回收/排放管路示意图，从图1中可以看出不同药液有不同的回收或排放管路，而且不同的药液有对应的侧板可拦截从卡盘上甩下来的药液。针对图1，其大致的工艺过程如下：在机械手臂将晶圆传送至卡盘之前，将腔室外壁以及内部的所有侧板降下来，从而方便机械手臂将晶圆放置在卡盘上。然后将腔室的外壁升起来，向晶圆喷洒去离子水进行预清洗，这个时候腔室外壁对卡盘旋转过程中甩出来的水进行阻挡，从而将水拦截在腔室内，并通过水排放管路流出。同理，当需要使用化学药液A时，首先升起对应的侧板，侧板对卡盘旋转过程中甩出来的药液A进行阻挡，从而将药液A拦截到对应的化学药液托盘中，并根据需要是回收循环使用还是直接排放。当需要使用化学药液B时，将药液A对应的侧板降下，升起药液B对应的侧板，此时侧板对卡盘旋转过程中甩出来的药液B进行阻挡，从而将药液B拦截到对应的化学药液托盘中，并根据需要是回收循环使用还是直接排放。当所有的工艺完成时，降下所有的侧板及腔室外壁，机械手从而将晶圆从卡盘上取下。如上流程所述，无论是腔室外壁还是侧板，经常需要进行升降的动作。而现有的升降方式采用的是气动升降方式。如图2和图3所示。图2为俯视图，其中22为腔室外壁和侧板升降的气动升降装置，一共4个，各自成90°角排列，11为腔室。图3为该结构的剖面图，其中20为腔室外壁，21为卡盘，22为气动升降装置，该装置密封性较好；腔室外壁20与该气动升降装置22内的活塞相连，23为压缩气体出口，含有流向气动升降装置的压缩气体，24为1转4电磁阀（1进4出），25为压缩空气进口。如图3所示，当设备接收到信号需要将腔室外壁20升起来时，则电磁阀24打开，压缩空气经过电磁阀24后流向4个气动升降装置22，当压缩空气进入气动升降装置22后，空气受到压缩后推动活塞向上运动，从而促使腔室外壁20向上运动，即腔室外壁20被升起来了。若腔室外壁20需要降下来的时候，则压缩空气进口25关闭，则腔室外壁20在重力作用下就会下降。但是上述结构存在一些问题，比如当某路或某几路的压缩空气出口23有破碎或漏气情况，则该路或该几路的压缩空气压力远远小于其他路的，那么腔室外壁20在上升的过程中则受力不均匀，就会产生一边或几边上升速度较慢，导致腔室外壁20在上升过程中被卡住，从而无法正常上升。反之，当腔室外壁20下降的过程中，若电磁阀某路出现延时现象，则也会出现受力不均匀，导致下降过程中的卡壳现象。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种设备腔室升降机构，可以避免腔室外壁或侧板在上升或下降过程中的卡壳现象，使得升降过程更顺畅。本技术采用的技术方案是：一种设备腔室升降机构，包括升降立柱结构、推杆、中心轴、驱动电机；所述升降立柱结构设有数个，分散设于卡盘外侧；升降立柱结构包括活塞腔，活塞腔内设有上活塞和下活塞，上活塞和下活塞间包含密闭空气；上活塞用于连接需要升降的部件底部；推杆呈L型，其竖立部与升降立柱机构的下活塞相连，横向部与中心轴相连；中心轴连接驱动电机。进一步地，所述升降立柱结构设有三个，相互呈120度间隔设于卡盘外侧。本技术的优点在于：1）保证了腔室外壁或侧板在上升或下降过程中的顺畅性。2）上升或下降过程启动时具有“软启动”的技术效果。附图说明图1为现有单片式设备腔室药液回收/排放管路示意图。图2为现有气动升降机构俯视图。图3为现有气动升降机构剖面图。图4为本技术的升降机构俯视图。图5为本技术的升降机构剖面图。具体实施方式下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。本技术提出的设备腔室升降机构，如图4和图5所示，包括升降立柱结构30、推杆31、中心轴32、驱动电机34；所述升降立柱结构30设有三个，相互呈120度间隔设于卡盘21外侧；升降立柱结构30包括活塞腔301，活塞腔301内设有上活塞302和下活塞303，上活塞302和下活塞303间包含密闭空气；上活塞302用于连接腔室外壁20的底部；推杆31呈L型，其竖立部311与升降立柱机构的下活塞303相连，横向部312与中心轴32相连；中心轴32连接驱动电机34。工作过程如下，当需要将腔室外壁20升起来的时候，驱动电机34工作，将三个推杆31向上推进，带动下活塞303向上运动，使得活塞腔301密闭空间内的气体受到压缩，从而促使上活塞302推动腔室外壁20向上运动；当腔室外壁20需要下降时，驱动电机34促使推杆21向下运动，带动下活塞303向下运动，活塞腔301内压缩的空气受到膨胀导致压力降低，从而促使上活塞302连带腔室外壁20下降；由于推杆31与驱动电机34之间是硬连接，因此在电机工作推动推杆运动的过程中都是同时进行，而且互成120度的3个升降立柱结构30，也有助于3个推杆31的同时运动，因此本技术不会出现腔室外壁受力不均现象，腔室外壁的升降更加顺畅。上活塞和下活塞之间密闭空间内的空气，可保证升降动作刚启动时的柔顺性，产生“软启动”的技术效果，避免腔室外壁的突然运动。上述设备腔室升降机构同样适用于侧板的升降。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备腔室升降机构，其特征在于，包括升降立柱结构(30)、推杆(31)、中心轴(32)、驱动电机(34)；所述升降立柱结构(30)设有数个，分散设于卡盘(21)外侧；升降立柱结构(30)包括活塞腔(301)，活塞腔(301)内设有上活塞(302)和下活塞(303)，上活塞(302)和下活塞(303)间包含密闭空气；上活塞(302)用于连接需要升降的部件底部；推杆(31)呈L型，其竖立部(311)与升降立柱机构的下活塞(303)相连，横向部(312)与中心轴(32)相连；中心轴(32)连接驱动电机(34)。

【技术特征摘要】
1.一种设备腔室升降机构，其特征在于，包括升降立柱结构(30)、推杆(31)、中心轴(32)、驱动电机(34)；所述升降立柱结构(30)设有数个，分散设于卡盘(21)外侧；升降立柱结构(30)包括活塞腔(301)，活塞腔(301)内设有上活塞(302)和下活塞(303)，上活塞(302)和下活塞(303)间包含密闭空气...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春，黄荣燕，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32