衍射光学元件制造技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衍射光学元件
本专利技术涉及衍射光学元件。
技术介绍
近年来，作为校正光学系统的色像差等的方法之一，采用了衍射光学元件。衍射光学元件具有负色散、异常色散性，可以使光学系统显著地小型化、成像性能大幅度地提高。然而，入射到衍射光学元件的衍射面的光线被分为多个级数的衍射光。一般来说，衍射光学元件将使用波长区域的光束集中在特定的级数(以下，称之为“设计级数”)，确定其衍射光栅结构，从而使设计级数的衍射光的衍射效率在指定的波长(以下，称之为“设计波长”)变最大化。但衍射光的衍射效率显示波长依赖性，随着从设计波长的偏离加大，衍射效率下降。为此，所使用的光线的波长横跨宽的频带时，就设计波长附近以外的波长而言，设计级数以外的级数的衍射光(以下，称之为“多余衍射光”)变得具有强度。多余衍射光在与设计级数的衍射光不同的其他位置成像，因而形成耀斑等。并且，多余衍射光的强度也具有波长特性。为此，在可见光的一部分波长区域多余衍射光的强度变高时，会生成着色了的耀斑(以下，称之为“色耀斑”)。为了解决这类问题，目前提出了具有衍射光栅结构的所谓层合式衍射光学元件，其中，衍射光栅结构层合了由两种色...
【技术保护点】
一种衍射光学元件，该衍射光学元件具有多个剖面为锯齿形状的环形部，其特征在于，衍射面具有多个包含所述环形部的至少一部分的衍射区域，在该衍射面设置的多个衍射区域中，至少两个衍射区域中的波前像差为最小的波长彼此不同。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.16 JP 2015-0066221.一种衍射光学元件，该衍射光学元件具有多个剖面为锯齿形状的环形部，其特征在于，衍射面具有多个包含所述环形部的至少一部分的衍射区域，在该衍射面设置的多个衍射区域中，至少两个衍射区域中的波前像差为最小的波长彼此不同。2.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其中，在使用波长区域，由所述衍射面整体看时不存在高阶的波前像差成分为0的波长。3.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，其中，在所述使用波长区域，在包含其中心波长的80％的波长范围，所述高阶的波前像差成分为0.011λrms以上0.063λrms以下。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的衍射光学元件，其中，所述衍射面具有包含一个以上的环形部的衍射区域。5.根据权利要求1～3中任意一项所...
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