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衍射光学元件制造技术
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文档序号:16112101
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本发明提供一种衍射光学元件,该衍射光学元件具有多个剖面为锯齿形状的环形部,其特征在于,衍射面具有多个包含所述环形部的至少一部分的衍射区域,在该衍射面设置的多个衍射区域中,至少两个衍射区域中的波前像差为最小的波长彼此不同。...
该专利属于株式会社腾龙所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社腾龙授权不得商用。
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