空气清洁系统技术方案

提供一种空气清洁系统，其包括：第一反应器，其具有第一入口和第一出口，并在其中形成有通道；第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器，它们设置在第一反应器内部并被设置成使得气体在沿着通道从第一入口流向第一出口时依次从它们中通过；多个第一磁控管，其设置在第一反应器的侧部，以分别对应于第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器并且选择性地将微波施加至第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器；换热器，其接收含有从第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器解吸并从第一出口排出的水分和水溶性气体污染物的热空气，将水分冷凝成水，并且将水溶性气体污染物溶解在冷凝水中并排出。根据本发明专利技术，空气清洁系统能够将除湿工序和水溶性气体污染物去除工序联合，以简化空气清洁工序；通过引入微波和换热器而将废热回收和再循环，从而有助于节能；并被半永久地使用而不需要定期更换过滤器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】空气清洁系统
本专利技术涉及一种空气清洁系统，更具体地，涉及一种能够以节能方式同时去除对人体有害的水溶性气体和水分的空气清洁系统。
技术介绍
通常，诸如半导体或液晶显示器(LCD)等元件在具有高洁净度的洁净室中制造。半导体和LCD的质量对制造过程中的湿度和污染物的影响敏感。因此，必须通过引入清洁室中的空气介质来防止诸如灰尘等污染物的流入，并必须将引入的空气的温度和湿度调节到最佳条件(12℃和50％)。同时，在半导体或LCD制造过程中大部分(约90％)的能量是电力，空气调节设备占电力的40％。空气调节设备所消耗的大部分电力用于运行外部空气调节单元(其用于处理引入洁净室中的外部空气)。因此，仅仅通过减少外部空气调节单元中使用的电力可以预期得到非常高的节能效果。同时，为了调节半导体或LCD制造过程中的湿度，目前使用除湿系统。这种除湿系统使用陶瓷纸吸附转子周期性地重复吸附/脱附水分(H2O)，以保持恒定的温度和湿度。具体地，陶瓷纸吸附转子通过用温度为150℃以上的热风将吸附的H2O解吸而得以再生，因此能量效率低。因此，迫切需要开发用于提供高能效和优异的除湿性能的技术。当在半导体或LCD制造过程中引入空气中含有的对人体有害的水溶性气体时，对生产效率有很大影响。目前，使用了采用活性炭类吸附剂以去除这种对人体有害的水溶性气体的化学过滤器系统。然而，存在如下问题：当吸附剂超过有效容量时，应更换化学过滤系统。此外，如果将从化学过滤器系统解吸的水溶性气体污染物捕集、浓缩并除去，则存在需要单独的处理过程和设备的问题，并且需要用于储存气态污染物的巨大设备。通过这种方式，目前将利用除湿系统和化学过滤系统的双重系统应用于洁净室，这并非节能。此外，存在应该定期更换化学过滤器系统的问题。
技术实现思路
技术问题因此，本专利技术的目的是提供一种半永久性空气清洁系统，其将除湿系统和化学过滤器系统联合，采用低能耗手段，通过回收废热来减少能量，特别地，消除了对定期更换化学过滤器系统的需求。然而，本公开要解决的问题不限于上述问题，本领域技术人员从下面的描述中能够清楚地理解其它未提及的问题。问题的技术方案为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供一种空气清洁系统，其包括：第一反应器，其具有第一入口和第一出口，并且在其中形成有通道；第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器，它们设置在第一反应器内部并被设置成使得气体在沿着通道从第一入口流向第一出口时依次从它们中通过；多个第一磁控管，其设置在第一反应器的侧部，以分别对应于第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器，并且选择性地将微波施加至第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器；和换热器，其接收含有从第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器解吸并从第一出口排出的水分和水溶性气体污染物的热空气，将水分冷凝成水，并将水溶性气体污染物溶解在冷凝水中并排出。根据实施方式，空气清洁系统还可以包括独立于第一反应器设置的第二反应器，从而能够交替地并反复地进行吸附过程和解吸过程。根据一个实施方式，空气清洁系统还可以包括供给管，其被设置成与第一入口和第二入口连通并且具有选择性地控制流入第一反应器和第二反应器的气体供给的阀单元。根据一个实施方式，经过换热器的热空气可以作为吹扫气体被注入第一反应器或第二反应器中。专利技术的有益效果根据本专利技术，空气清洁系统能够将除湿过程和水溶性气体污染物去除过程联合，以简化空气清洁过程；通过引入微波和换热器将废热回收和再循环，从而有助于节能；并被半永久地使用而不需要定期更换过滤器。附图说明图1示出在根据本专利技术的实施方式的空气清洁系统中的反应器的结构。图2示出在根据本专利技术的实施方式的空气清洁系统中的再生吸附过滤器的结构。图3示出根据本专利技术的实施方式的微波热源供给模块的结构。图4和图5示出根据本专利技术的实施方式的空气清洁系统的结构，其中空气清洁系统能够提供水溶性气体污染物去除功能和除湿功能两者。图6示出根据本专利技术的实施方式的空气清洁系统的外观。图7是示出由于在根据本专利技术的实施方式的空气清洁系统中的废热的温度变化而导致的吸附剂根据微波的反应而温度升高值的图。具体实施方式在下文中，将基于实施方式详细描述本专利技术。然而，这些实施方式仅仅是用于更详细地描述本专利技术的示例，而不限制本专利技术所要求保护的范围。在下文中，将参考附图详细描述本专利技术的示例性实施方式，从而能够由本领域技术人员实现。然而，本专利技术可以被不同地实现，而并不限于这里描述的实施方式。在附图中，为了清楚地描述本专利技术，将省略与本专利技术的描述无关的部分，并且在整个说明书中相似的部分由相似的附图标记表示。应当理解，在整个说明书中，当元件被称为“连接”或“联接”至另一元件时，其可以直接与另一元件连接或联接，或者其可以经由中间元件与另一元件间接地连接或联接。应当理解，在整个说明书中，当元件被称为“在另一元件上”时，其可以直接在另一元件上或间接地在另一元件上，其间插入一个或多个中间元件。在整个说明书中，当部分“包括”部件时，这意味着除非另有定义，否则不排除还可以包括其它部件。如在整个说明书中使用的用于表示程度的术语“大约”和/或“基本上”用于当存在与相应含义不一致的制造技术和材料的容许误差时表示数值或数值的近似值，并用于防止任何不道德的侵权者不正当地使用所公开的内容(其中给出了准确或绝对的数值以帮助理解本专利技术)。应当理解，在整个说明书中，在马库什型表达中包括的术语“其组合”是指选自由在马库什型表述中描述的组成元件组成的组中的一个或多个的混合物或组合，并且是指选自由上述组成元件组成的组中的一个或多个。如本文所使用的，术语“包括”、“包含”、“具有”或其任何其它变型应被解释为包括本文所述的所有多个部件或步骤、多个部件或步骤中的一些或另外的部件或步骤。应当理解，尽管包括诸如第一或第二的序数的术语在本文中可以用于描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件和另一个元件区分。例如，第一元件可以被称为第二元件，并且第二元件可以被称为第一元件，而不会脱离本专利技术的教导。本专利技术涉及能够应用于半导体制造工艺或液晶显示器(LCD)制造工艺的空气清洁系统，特别地，旨在同时清洁含有水分和水溶性气体污染物的空气。水溶性气体污染物可以包括但不限于选自由一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)、二氧化硫(SO2)、三氧化硫(SO3)、硫化氢(H2S)、硫化羰(COS)、二硫化碳(CS2)、氨(NH3)、异丙醇(IPA；C3H8O)、甲乙酮(MEK；C4H8O)、氟化物及其混合物组成的组中的一种。优选地，水溶性气体污染物的目标物为NO、NO2、SO2、IPA或MEK，其对半导体或LCD制造工艺具有影响。为此，本专利技术的目的在于提出一种空气清洁系统，其被构造为在其中依次设置有水分吸附过滤器和水溶性气体污染物吸附过滤器的反应器中吸附水分和水溶性气体污染物，应用微波以使所吸附材料解吸，并使所解吸材料通过换热器，从而使水冷凝并同时将水溶性污染物溶解在冷凝水中以排出所溶解的材料。如附图中所示，本专利技术的空气清洁系统包括其中布置有含有吸附剂的吸附过滤器的反应器、微波热源供给模块和换热器。具体而言，本专利技术提出一种空气清洁系统，其包括：第一反应器4a，其具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气清洁系统，包括：第一反应器，所述第一反应器具有第一入口和第一出口，并且在其中形成有通道；第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器，所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器设置在所述第一反应器内部，并被设置成使得气体在沿着所述通道从所述第一入口流向所述第一出口时依次从所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器中通过；多个第一磁控管，所述多个第一磁控管设置在所述第一反应器的侧部，以分别对应于所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器，并且选择性地将微波施加至所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器；和换热器，所述换热器接收含有从所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器解吸出并从所述第一出口排出的水分和水溶性气体污染物的热空气，将所述水分冷凝成水，并将所述水溶性气体污染物溶解在所述冷凝水中并排出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.31 KR 10-2014-01946451.一种空气清洁系统，包括：第一反应器，所述第一反应器具有第一入口和第一出口，并且在其中形成有通道；第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器，所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器设置在所述第一反应器内部，并被设置成使得气体在沿着所述通道从所述第一入口流向所述第一出口时依次从所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器中通过；多个第一磁控管，所述多个第一磁控管设置在所述第一反应器的侧部，以分别对应于所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器，并且选择性地将微波施加至所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器；和换热器，所述换热器接收含有从所述第一水分吸附过滤器和所述第一水溶性气体污染物吸附过滤器解吸出并从所述第一出口排出的水分和水溶性气体污染物的热空气，将所述水分冷凝成水，并将所述水溶性气体污染物溶解在所述冷凝水中并排出。2.根据权利要求1所述的空气清洁系统，还包括：第二反应器，所述第二反应器独立于所述第一反应器设置且具有第二入口和第二出口，并且在其中形成有通道；第二水分吸附过滤器和第二水溶性气体污染物吸附过滤器，所述第二水分吸附过滤器和所述第二水溶性气体污染物吸附过滤器安装在所述第二反应器内部并且被设置成使得气体在沿着通道从所述第二入口流向所述第二出口时依次从所述第二水分吸附过滤器和所述第二水溶性气体污染物吸附过滤器中通过；以及多个第二磁控管(7b)，所述多个第二磁控管(7b)设置在所述第二反应器的侧部，以分别对应于所述第二水分吸附过滤器和所述第二水溶性气体污染物吸附过滤器，并且选择性地将微波施加至所述第二水分吸附过滤器和所述第二水溶性气体污染物吸附过滤器，其中所述换热器接收含有从所述第二水分吸附过滤器和所述第二水溶性气体污染物吸附过滤器解吸出并由所述第二出口排出的水分和水溶性气体污染物的热空气，将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东彩，尹圣镇，曹圣钟，金正渊，朴相俊，许台敬，
申请(专利权)人：艾可普罗有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR