微型流体控制装置制造方法及图纸

一种微型流体控制装置，包括：一进气板；一共振片，具有一中空孔洞；一压电致动器；一集气板，具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔，凹置槽面具有一深度，可供压电致动器、共振片及进气板依序堆叠容置组装定位其中，而凹置槽面底部凹置形成一集气腔室，透过贯穿孔与基准表面连通，且集气腔室受压电致动器承载于上方而封闭；其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该暂存腔室内再传输至集气腔室，透过贯穿孔排出集气板外，以持续传输气体。

【技术实现步骤摘要】
微型流体控制装置
本案是关于一种气压动力装置，尤指一种微型超薄且静音的微型流体控制装置。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。举例来说，于医药产业中，许多需要采用气压动力驱动的仪器或设备，通常采以传统马达及气压阀来达成其气体输送的目的。然而，受限于此等传统马达以及气体阀的体积限制，使得此类的仪器设备难以缩小其整体装置的体积，即难以实现薄型化的目标，更无法使的达成可携式的目的。此外，传统马达及气体阀于作动时亦会产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适。因此，如何发展一种能在长期使用下维持一定工作特性及流速的微型流体控制装置，实为目前迫切需要解决的问题。
技术实现思路
本案的主要目的在于提供一种微型流体控制装置，气体自微型流体控制装置上的进气孔进入，并利用压电致动器的作动，使气体于设计后的流道及压力腔室中产生压力梯度，进而使气体高速流动，如此构成微型流体控制装置可达到静音的功效，更可使微型流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型流体控制装置，其特征在于，包括：一进气板；一共振片，具有一中空孔洞；一压电致动器；一集气板，具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔，该凹置槽面具有一深度，可供该压电致动器、该共振片及该进气板依序堆叠容置组装定位其中，而该凹置槽面底部凹置形成一集气腔室，透过该贯穿孔与该基准表面连通，且该集气腔室受该压电致动器承载于上方而封闭；其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该暂存腔室内再传输至该集气腔室，透过该贯穿孔排出该集气板外，以持续传输气体。

【技术特征摘要】
1.一种微型流体控制装置，其特征在于，包括：一进气板；一共振片，具有一中空孔洞；一压电致动器；一集气板，具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔，该凹置槽面具有一深度，可供该压电致动器、该共振片及该进气板依序堆叠容置组装定位其中，而该凹置槽面底部凹置形成一集气腔室，透过该贯穿孔与该基准表面连通，且该集气腔室受该压电致动器承载于上方而封闭；其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该暂存腔室内再传输至该集气腔室，透过该贯穿孔排出该集气板外，以持续传输气体。2.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该进气板具有至少一进气孔、至少一总线孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，该至少一进气孔供导入气体，该总线孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该中心凹部所构成的该汇流腔室，以及该汇流腔室对应到该共振片的该中空孔洞。3.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖家淯，陈世昌，黄启峰，韩永隆，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71