下载微型流体控制装置的技术资料

文档序号:16080698

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一种微型流体控制装置,包括:一进气板;一共振片,具有一中空孔洞;一压电致动器;一集气板,具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔,凹置槽面具有一深度,可供压电致动器、共振片及进气板依序堆叠容置组装定位其中,而凹置槽面底部凹置形成一集气腔室,透过...
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