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微型流体控制装置制造方法及图纸
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下载微型流体控制装置的技术资料
文档序号:16080698
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一种微型流体控制装置,包括:一进气板;一共振片,具有一中空孔洞;一压电致动器;一集气板,具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔,凹置槽面具有一深度,可供压电致动器、共振片及进气板依序堆叠容置组装定位其中,而凹置槽面底部凹置形成一集气腔室,透过...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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