一种溅射成膜机制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种溅射成膜机，包括外框以及位于外框内部的溅射装置和与所述溅射装置相对放置的承载装置，所述溅射装置和承载装置均由外部电源供电，所述承载装置包括固定在外框内表面的导轨、通过滑块可滑动地固定在导轨上的固定框以及带动滑块沿着导轨运动的电机，所述固定框上设有空腔，所述固定框上朝所述空腔凸伸出限位结构，所述固定框至少设有两个可活动的弹片，一基板容置于空腔中，且限位结构和弹片分别位于基板的相背的两面用以将所述基板定位于所述固定框上，所述弹片包括粗糙的表面。本实用新型专利技术实施例可在不影响产能的情况下有效提高生产产品的良品率，减少人力的耗费，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射成膜机
本技术涉及电子
，尤其涉及一种溅射成膜机。
技术介绍
溅射成膜是指先让惰性气体(如Ar气等)生成带电的离子，带电离子经电场加速后撞击靶材表面，使靶材原子被轰击而飞出来，同时产生二次电子，再撞击气体原子从而形成更多的带电离子，而靶材原子携带足够的动能到达基板的表面进行沉积。溅射成膜技术能够生成铟锡氧化物(ITO)粉末并且能附着在基板上生成ITO膜层，在进行溅射成膜的过程中，某些固定基板的固定结构也会附着有ITO粉末，甚至形成ITO膜层。其中ITO膜层作为，主要应用在平面显示器、透明加热组件、抗静电膜、电磁波防护服、太阳能之透明电极、触控面板、反光涂布以及热反射镜等光电装置上。ITO膜层具有良好的导电性和可见光区较高的光透过率，但是ITO膜层的厚度不同，膜的导电性能和透光性能也不同。随着溅射成膜机台的连续生产，若固定结构上的ITO粉末以及膜层在成膜过程中无法及时清理，则会导致固定结构上积累的ITO粉末及膜层极易脱落在基板上，这就会严重影响机台加工后的产品的良品率。再加上，溅射成膜机台如果固定结构没有达到更换周期就进行清理替换，不仅会影响生产率并造成产能下降，而且耗费本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种溅射成膜机，其特征在于，包括外框以及位于外框内部的溅射装置和与所述溅射装置相对放置的承载装置，所述溅射装置和承载装置均由外部电源供电，所述承载装置包括固定在外框内表面的导轨、通过滑块可滑动地固定在导轨上的固定框以及带动滑块沿着导轨运动的电机，所述固定框上设有空腔，所述固定框上朝所述空腔凸伸出限位结构，所述固定框至少设有两个可活动的弹片，一基板容置于空腔中，且限位结构和弹片分别位于基板的相背的两面用以将所述基板定位于所述固定框上，所述弹片包括粗糙的表面。

【技术特征摘要】
1.一种溅射成膜机，其特征在于，包括外框以及位于外框内部的溅射装置和与所述溅射装置相对放置的承载装置，所述溅射装置和承载装置均由外部电源供电，所述承载装置包括固定在外框内表面的导轨、通过滑块可滑动地固定在导轨上的固定框以及带动滑块沿着导轨运动的电机，所述固定框上设有空腔，所述固定框上朝所述空腔凸伸出限位结构，所述固定框至少设有两个可活动的弹片，一基板容置于空腔中，且限位结构和弹片分别位于基板的相背的两面用以将所述基板定位于所述固定框上，所述弹片包括粗糙的表面。2.如权利要求1所述的溅射成膜机，其特征在于，所述限位结构包括至少两个挡片，所述挡片均匀地分布在空腔的上方。3.如权利要求1所述的溅射成膜机，其特征在于，所述限位结构为沿着固定框的边缘延展的凸沿。4.如权利要求1所述的溅射成膜机，其特征在于，所述外框的顶部还设有一操作显示屏，所述操作显...

【专利技术属性】
技术研发人员：张淇，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，重庆惠科金渝光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44