谐振膜气体传感器及用于其的非暂时机器可读存储介质制造技术

一种气体传感器(200)包含腔体(214)并且被配置成感测所述腔体(214)中的气体混合物的摩尔质量、密度和粘度中的至少一个。此外，多个例示性实施例涉及一种用于测量二氧化碳(CO2)水平的装置，其包括：第一振荡器组(520)，其包含用于测量空气压力的第一传感器(250)，其中所述第一传感器(250)包含第一密封膜(252)，并且其中所述第一密封膜(252)覆盖密封的第一腔体(258)；第二振荡器组(522)，其包括用于测量第二未密封振荡膜(210)的谐振频率(f2)的第二传感器(200)，并且其中所述第二未密封膜(210)覆盖与所述第二传感器(200)外部的空气接触的第二腔体(214)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】谐振膜气体传感器及用于其的非暂时机器可读存储介质
本申请涉及一种气体传感器、一种包含气体传感器的装置、一种用于测量二氧化碳水平的装置以及一种其上编码有指令以由装置执行来测量二氧化碳水平的有形且非暂时机器可读存储介质。本申请涉及交叉敏感减轻的谐振CO2感测。本文所公开的各种例示性实施例一般涉及CO2感测。
技术介绍
电子传感器可以许多方式来监测空气质量或气体成份；气体混合物的若干物理性质将随着成份的变化而变化。例如，传感器可基于使用热金属丝检测气体混合物的热导率和测量该金属丝到外界的热耗散。具体而言，CO2感测可以许多方式工作。两种当前的方法包括：基于材料的方法，其中一种材料吸收CO2，结果电容的变化，并且又其中金属丝温度通过测量电阻来读取——被加热的自由悬挂金属丝周围的空气混合物的变化导致介质的热导率的变化，由此导致热金属丝的冷却。另一种方法为CO2的谐振感测，通常，此方法要求进行谐振的MEMS元件上的功能材料，以检测导致频率变化的物质变化。本专利申请的一个目的是提供一种气体传感器、一种包含气体传感器的装置、一种用于测量二氧化碳水平的装置以及一种其上编码有指令以由装置执行来以高准确度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体传感器(200)，其包括腔体(214)并且被配置成感测所述腔体(214)中的气体混合物的摩尔质量、密度和粘度中的至少一个。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.09 US 14/480,9861.一种气体传感器(200)，其包括腔体(214)并且被配置成感测所述腔体(214)中的气体混合物的摩尔质量、密度和粘度中的至少一个。2.根据权利要求1所述的气体传感器(200)，包括：未密封振荡膜(210)，其中所述未密封振荡膜(210)覆盖与所述气体传感器(200)外部的气体混合物接触的所述腔体(214)。3.根据权利要求2所述的气体传感器(200)，其被配置成测量所述未密封振荡膜(210)的谐振频率(f2)，其中所述气体传感器(200)的谐振频率(f2)用于确定所述气体混合物的摩尔质量、密度和粘度中的至少一个。4.根据权利要求1至3中的一项所述的气体传感器(200)，其中所述气体传感器(200)使用在所述腔体(214)内俘获的气体混合物的挤压膜效应。5.根据权利要求1至4中的一项所述的气体传感器(200)，其中所述气体传感器(200)包括上电极(216)和下电极(218)，并且被配置用于所述上电极(218)的静电机械驱动。6.根据权利要求1至5中的一项所述的气体传感器(200)，包括靠近腔体(214)或与所述腔体(214)接触的加热器。7.根据权利要求6所述的气体传感器(200)，其中使用所述加热器来使温度循环。8.一种包括根据权利要求1所述的气体传感器(200)及压力传感器(250)的装置。9.一种用于测量二氧化碳(CO2)水平的装置，包括：-第一振荡器组(520)，其包括用于测量空气压力的第一传感器(250)，其中所述第一传感器(250)包括第一密封膜(252)，其中所述第一密封膜(252)覆盖密封的第一腔体(258)；-第二振荡器组(522)，其包括用于测量第二未密封振荡膜(210)的谐振频率(f2)的第二传感器(200)，其中所述第二未密封膜(210)覆盖与所述第二传感器(200)外部的空气接触的第二腔体(214)；-混合器(514)，其接受从所述第一振荡器组(520)输出的第一频率测量结果和从所述第二振荡器组(522)输出的第二频率测量结果作为输入，并且输出所述第一频率测量结果和所述第二频率测量结果的差值(fd)；以及-电路(515)，其接受所述差值(fd)作为输入并且输出二氧化碳测量结果。10.根据权利要求9所述的装置，其中所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：卡斯珀·范·德·阿奥斯特，威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林，
申请(专利权)人：AMS国际有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士,CH