用于制造混合钟表组件的方法技术

本发明专利技术涉及用于制造混合钟表组件的方法，包括以下步骤：结构化第一可微机械加工材料的至少一个晶片(14)，以在所述晶片(14)中形成至少一个贯通开口(15)，该结构化的晶片(14)用于形成所述混合钟表组件的第一部件(4)；通过电成型沉积金属，以便所述金属作为由一个且相同的电成型步骤产生的单件延伸通过贯通开口(15)且在晶片(14)的上下两个面上延伸，该电成型的金属用于形成所述混合钟表组件的第二部件(8)。本发明专利技术的制造方法简单，且可以实现混合钟表组件的令人满意的内聚力和令人满意的机械强度。

【技术实现步骤摘要】
用于制造混合钟表组件的方法
本专利技术涉及用于制造混合钟表组件的方法，包括至少两种不同的材料。本专利技术还涉及根据该方法所获得的这样的钟表组件，包括这样的混合钟表组件的钟表运动装置和钟表。
技术介绍
制造由例如由硅制成的第一部件或更一般地由任何可微机械加工材料制成的第一部件，和由金属制成的第二部件构成的混合钟表组件是已知的。用于制造这样的混合钟表组件的一种方法使用通过微机械加工，特别是通过深反应离子刻蚀(DRIE)制造的第一方法以形成第一部件，并使用基于电成型，特别是已知在首字母缩写词LIGA下的电成型的第二制造方法生长由金属制成的第二部件。该第二金属部件可在随后加入，但更准确的是直接使其与由硅制成的第一部件结合生长。文献EP1932804描述了例如用于制造这样的混合钟表组件的方法，其包括刻蚀放置在工作基底上的硅晶片，然后硅晶片上沉积一层光致抗蚀剂，形成用于生长电成型的金属层的模具。硅晶片包括至少一个贯通腔(through-cavity)，该贯通腔也被电成型的金属填充。该技术提供了保证定位钟表组件的两种不同材料的精度的优势。因此，该结果是产生如下钟表组件：其包括部分由硅制成和部分由金本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造混合钟表组件的方法，其中，包括以下步骤：‑结构化第一可微机械加工材料的至少一个晶片(14)，以在所述晶片(14)中形成至少一个贯通开口(15)，该结构化的晶片(14)用于形成所述混合钟表组件的第一部件(4)；‑通过电成型来沉积金属，以便所述金属作为由一个且相同的电成型步骤产生的单件延伸通过贯通开口(15)且在晶片(14)的上下两个面上延伸，该电成型的金属用于形成所述混合钟表组件的第二部件(8)。

【技术特征摘要】
2016.02.03 EP 16154126.31.一种用于制造混合钟表组件的方法，其中，包括以下步骤：-结构化第一可微机械加工材料的至少一个晶片(14)，以在所述晶片(14)中形成至少一个贯通开口(15)，该结构化的晶片(14)用于形成所述混合钟表组件的第一部件(4)；-通过电成型来沉积金属，以便所述金属作为由一个且相同的电成型步骤产生的单件延伸通过贯通开口(15)且在晶片(14)的上下两个面上延伸，该电成型的金属用于形成所述混合钟表组件的第二部件(8)。2.如前述权利要求所述的用于制造混合钟表组件的方法，其中，包括以下步骤：-提供基底(10)，基底(10)的至少上表面(11)是导电的；-在基底(10)的上表面(11)的顶部形成抗蚀剂模具(13)，所述模具(13)在基底(10)的顶部包括至少一个无材料区域；-结构化第一可微机械加工材料的至少一个晶片(14)且在前述步骤中形成的抗蚀剂模具(13)的顶部沉积所述至少一个晶片(14)，或相反地，在前述步骤中形成的抗蚀剂模具(13)的顶部定位第一可微机械加工材料的至少一个晶片(14)且结构化所述至少一个晶片(14)，以形成至少部分叠加在前述步骤中所形成的抗蚀剂模具(12)的无材料区域上的至少一个晶片(14)的至少一个贯通开口(15)；-在所述晶片(14)的顶部，特别是在所述晶片(14)的贯通开口(15)处形成抗蚀剂模具(17)，所述晶片(14)的顶部包括从基底(10)的上表面(11)延伸到堆叠体的上表面的无材料区域；-通过电成型沉积金属或合金，以便所述金属从基底(10)的上表面(11)延伸到晶片(14)的顶部；-通过去除基底(10)来释放所述混合钟表组件。3.如前述权利要求中任一项所述的用于制造混合钟表组件的方法，其中，包括以下附加步骤：-在叠加在抗蚀剂模具(13)的无材料区域上的至少一个晶片(14)中形成至少一个贯通开口(15)，以便所述晶片(14)的下表面至少部分地覆盖模具(13)的无材料区域；以及-在晶片(14)的顶部形成抗蚀剂模具(17)，所述抗蚀剂模具(17)使晶片(14)的至少一部分上表面在晶片(14)的贯通开口(15)处暴露。4.如权利要求2或3所述的用于制造混合钟表组件的方法，其中，包括在基底(10)的上表面(11)的顶部形...

【专利技术属性】
技术研发人员：理查德·博萨尔特，弗洛里安·卡拉姆，
申请(专利权)人：劳力士有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士,CH