二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器及其制备方法，包括步骤：形成纳米银粒子水分散液，将纳米银粒子水分散液掺入二硫化钼水分散液中，超声分散得到二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料分散液；在硅基片表面形成一层二氧化硅层，然在二氧化硅层表面形成第一电极和第二电极，得到电极基片，取得到的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料分散液，附着到电极基片表面，放置入保护气体中静置进行干燥处理，从而得到附着有二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料薄膜的电极基片；本发明专利技术的湿度传感器具有较高的响应灵敏度以及较快的响应速度。

【技术实现步骤摘要】
二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器及其制备方法
本专利技术涉及传感器制造领域，特别涉及到一种具有超高灵敏度、快响应速度的特点的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器及其制备方法。
技术介绍
湿度传感器被广泛应用于各种领域，但仍然存在一定问题，如较低的响应灵敏度，较长的响应时间和恢复时间等。2013年，YinghuaTan在文章ThecombinationsofhollowMoS2micro@nanospheres:one-stepsynthesis,excellentphotocatalyticandhumiditysensingproperties中提出了一种基于纯二硫化钼的电容式相对湿度传感器，该传感器电极单元为平面并列双梳状叉指结构，将二硫化钼分散液滴涂在电极区域，这种湿度传感器采用二硫化钼作为敏感材料，得益于二硫化钼较大的比表面积，该传感器相较于以往基于传统材料比如聚酰亚胺、氯化锂以及氧化物陶瓷材料等的湿度传感器具有较高的湿度响应灵敏度，但是也只有几十皮法每相对湿度的响应变化，且传感器的响应时间在一百秒以上，受限于二硫化钼材料本身特性，这种湿度传感器的灵敏度及响应速度难以进一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将粒径小于等于100纳米的纳米银粒子掺入水中形成浓度为0.1～4.0毫克/毫升的纳米银粒子水分散液，将所述纳米银粒子水分散液掺入浓度为0.1～4.0毫克/毫升的二硫化钼水分散液中，掺入的纳米银粒子水分散液和二硫化钼水分散液的体积比小于等于1:5且大于等于1:20，超声分散2～24小时，得到二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料分散液；(2)将硅基片清洗干净，在硅基片表面用热氧化法形成一层二氧化硅层，然后用真空镀膜法在二氧化硅层表面形成第一电极和第二电极，得到电极基片，所述第一电极和第二电极为金电极；(3)取1.0～10....

【技术特征摘要】
1.一种二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将粒径小于等于100纳米的纳米银粒子掺入水中形成浓度为0.1～4.0毫克/毫升的纳米银粒子水分散液，将所述纳米银粒子水分散液掺入浓度为0.1～4.0毫克/毫升的二硫化钼水分散液中，掺入的纳米银粒子水分散液和二硫化钼水分散液的体积比小于等于1:5且大于等于1:20，超声分散2～24小时，得到二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料分散液；(2)将硅基片清洗干净，在硅基片表面用热氧化法形成一层二氧化硅层，然后用真空镀膜法在二氧化硅层表面形成第一电极和第二电极，得到电极基片，所述第一电极和第二电极为金电极；(3)取1.0～10.0微升的步骤(1)中得到的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料分散液，利用涂覆法附着到步骤(2)中得到的电极基片表面，然后将该电极基片放置入不高于50℃的保护气体中静置1～2小时进行干燥处理，从而得到表面附着有一层二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料薄膜的电极基片；(4)通过测量步骤(3)中得到的表面附着有一层二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料薄膜的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈向东，李宁，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：发明
国别省市：四川,51