检查组装件、宏观检查系统以及相关的检查方法技术方案

本发明专利技术提供了一种检查组装件，其包括自动指示机构和定位观测成像机构，其特征在于，所述自动指示机构与所述定位观测成像机构为一体的。自动指示机构和定位观测成像机构可以借助安装底板或者直接地连接而成为一体。本发明专利技术还提供了一种宏观检查系统，包括操作平台、基板支承机构，和上述的检查组装件，其中，所述检查组装件安装于所述操作平台或基板支承机构上。本发明专利技术还进一步提供了使用该检查组装件或者宏观检测系统检查玻璃基板、特别是平板显示玻璃基板的方法。

【技术实现步骤摘要】
检查组装件、宏观检查系统以及相关的检查方法
本专利技术一般地涉及检查组装件、尤其是用于(平板显示)玻璃基板的检查组装件，和包括该检查组装件的宏观检查系统。本专利技术还涉及利用该检查组装件和宏观检查系统检查(平板显示)玻璃基板的方法。
技术介绍
当前，随着技术的发展与市场的需求，对平板显示基板像素及开口率的要求愈来愈高。因此，平板显示基板布线朝着微细化方向发展，平板显示基板阵列朝着细胞化方向发展，由此加剧了检查平板显示基板缺陷并进行定位测量的困难。在目前市场上常见的宏观检查系统中，自动指示装置和定位观测成像装置一般为两个机构，其中自动指示装置安装在玻璃基板的支撑机构上，定位观测成像装置则安装于操作人员进行观察的操作平台上，如图1所示。当操作人员确定玻璃基板存在缺陷时，将自动指示装置移动至缺陷位置，记录下缺陷的坐标位置。然后再将指示装置返回到零位，然后定位观测成像装置再移动至记录的坐标位置，对焦并提取缺陷图像。由于定位观测成像装置安装在操作平台上，操作人员的任何移动都有可能影响图片的清晰度。自动指示装置移动时产生的振动也对图片清晰度产生影响。而且，定位观测成像机构在自动指示装置移动时无法本文档来自技高网...

【技术保护点】
检查组装件，其包括自动指示机构和定位观测成像机构，其特征在于，所述自动指示机构与所述定位观测成像机构为一体的。

【技术特征摘要】
2017.01.26 CN 20171006159021.检查组装件，其包括自动指示机构和定位观测成像机构，其特征在于，所述自动指示机构与所述定位观测成像机构为一体的。2.根据权利要求1所述的检查组装件，所述自动指示机构和所述定位观测成像机构借助安装底板或者直接地连接而成为一体。3.根据权利要求1或2所述的检查组装件，其还包括位移机构，用于驱动一体式的所述检查组装件进行移动。4.根据权利要求3所述的检查组装件，其中，所述位移机构包括X轴导轨和Y轴导轨以及各自对应的驱动电机，用于驱动一体式的所述检查组装件分别沿X轴和Y轴移动。5.宏观检查系统，包括-操作平台，-基板支承机构，和-根据权利要求1-4中任一项所述的检查组装件，其中，所述检查组装件安装于所述操作平台或基板支承机构上。6.根据权利要求5所述的宏观检查系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓永松，李青，丁力，刘磊，蔡杰，李兆廷，权永春，
申请(专利权)人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司，东旭光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32