压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法技术

本发明专利技术提供压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。一种压电元件，具备第1电极；压电体层，该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜，上述第1压电体膜形成在第1电极上且含有钾、钠以及铌，上述多个第2压电体膜形成在第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌；以及第2电极，该第2电极形成在压电体层上，压电体层是多个压电体膜的层叠体，第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度，分别的压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度，在第1电极侧高，在第2电极侧低。

Piezoelectric element, piezoelectric element, application device, and method for manufacturing piezoelectric element

The present invention provides a piezoelectric element, a piezoelectric element, an application device, and a manufacturing method of a piezoelectric element. A piezoelectric element has first electrodes; a piezoelectric layer and the piezoelectric layer comprises first piezoelectric film and a plurality of second piezoelectric film, the first piezoelectric film formed on the first electrode and containing potassium, sodium and niobium, the plurality of piezoelectric film formed in second first piezoelectric film and containing potassium, sodium and niobium; and second electrode, the second electrode formed on the piezoelectric layer and the piezoelectric layer is a laminated piezoelectric film, piezoelectric film with first 30nm above and below 70nm thickness, the concentration of piezoelectric body respectively. In the film of the sodium gradient along the film thickness direction is formed in the first electrode side, high in the second low side electrode.

【技术实现步骤摘要】
压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法
本专利技术涉及压电元件、具备压电元件的压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。
技术介绍
压电元件通常具有压电体层以及夹持压电体层的2个电极，上述压电体层具有机电转换特性。使用这样的压电元件作为驱动源的设备(压电元件应用设备)的开发近年来尤为盛行。作为压电元件应用设备之一，有以喷墨式记录头为代表的液体喷射头、以压电MEMS元件为代表的MEMS要素、以超声波传感器等为代表的超声波测定装置，还有压电致动器装置等。作为压电元件的压电体层的材料(压电材料)之一，提出了铌酸钾钠((K、Na)NbO3，以下称作“KNN”)(例如，参照专利文献1)。在专利文献1中记载了KNN层通过溅射法(气相法)形成。溅射法中的KNN烧结体靶通过烧结法制作，因此，难以实现微小区域内的组成分布(K：Na)的均匀化。此外，如果考虑到微小区域内的组成分布的不均匀性在面内方向不加剧，则认为对于通过这种方法形成的KNN层而言，虽然膜厚方向的组成均匀，但是面内方向的组成难以变得均匀。另一方面，在专利文献2中记载了KNN层通过湿式法(液相法)形成。对于通过这种方法形成的KNN层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电元件，其特征在于，所述压电元件具有：第1电极；压电体层，该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜，所述第1压电体膜形成在所述第1电极上且含有钾、钠以及铌，所述多个第2压电体膜形成在所述第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌；第2电极，该第2电极形成在所述压电体层上，所述压电体层是多个压电体膜的层叠体，所述第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度，各个所述压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度，在所述第1电极侧高，在所述第2电极侧低。

【技术特征摘要】
2016.02.10 JP 2016-0240821.一种压电元件，其特征在于，所述压电元件具有：第1电极；压电体层，该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜，所述第1压电体膜形成在所述第1电极上且含有钾、钠以及铌，所述多个第2压电体膜形成在所述第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌；第2电极，该第2电极形成在所述压电体层上，所述压电体层是多个压电体膜的层叠体，所述第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度，各个所述压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度，在所述第1电极侧高，在所述第2电极侧低。2.根据权利要求1所述的压电元...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井朋裕，北田和也，角浩二，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP