一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘制造技术

本发明专利技术涉及一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，属于非球面镜抛光设备技术领域，包括底座、位于底座上的多个压电陶瓷驱动器和位于压电陶瓷驱动器上方的基盘，还包括多个弹性片，所述弹性片沿其径向安装于底座上表面，且其与压电陶瓷驱动器一对一设置，所述压电陶瓷驱动器沿其轴向安装于底座上表面，且其一端指向底座中心，所述弹性片与压电陶瓷驱动器指向底座中心的一端相抵，压电陶瓷驱动器对弹性片施加挤压力后，弹性片会产生沿其轴向的伸缩量，以改变基盘的面形，本发明专利技术增加了抛光盘的径厚比，结构紧凑，显著提高抛光盘在自转时的稳定性以及与工件的吻合性，成本低，有助于延长压电陶瓷驱动器的使用寿命。

Deformable flip disc based on piezoelectric ceramic actuator

The invention relates to a polishing disc deformation of piezoelectric actuator based on, which belongs to the technical field of aspheric mirror polishing device, which comprises a base, located in a plurality of piezoelectric actuators and piezoelectric actuators located above the base plate on the base, also includes a plurality of elastic plates, the elastic sheet along the radial direction in installation on the base of the surface, and the piezoelectric ceramic drive on a set, the piezoelectric ceramic drive along the axial direction is arranged on the base surface, and the end pointing to the center of the base, the elastic sheet and the piezoelectric ceramic drive to the center of the base end offset, piezoelectric ceramic actuator presses on the elastic sheet after the elastic sheet will produce expansion along the axial direction, the shape change of the basal disc, the invention increases the polishing disc diameter to thickness ratio, compact structure, significantly improve the stability of polishing in rotation Characterization, as well as the low cost associated with the workpiece, helps to prolong the service life of the piezoceramic actuator.

【技术实现步骤摘要】
一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘
本专利技术属于非球面镜抛光设备
，具体地说涉及一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘。
技术介绍
近几年，人们发展了一种计算机控制的可变形抛光盘技术，用于非球面镜抛光。在抛光运动过程中，人们能够随时自动改变抛光盘的形状以适应所到之处的镜面面形。目前，主动抛光盘技术主要分为两类：一种是基于弯矩驱动器的能动磨盘技术，将多组弯矩驱动器均匀分布在抛光盘背面，施加不同的弯矩于抛光盘上，从而改变抛光盘的曲率，使抛光盘变形，以保证任意时刻、任意位置与加工件吻合。由于弯矩驱动器体积较大，需要足够的空间，因此，这类能动抛光盘只适用于抛光大镜面。另一种是基于压电陶瓷驱动器的能动抛光盘技术，控制压电陶瓷驱动器变形，改变能动抛光盘的面形，从而使抛光盘在任意时刻、任何位置产生与理想非球面镜的局部表面形状，将工件加工为非球面，这类能动抛光盘可以加工中小口径的非球面镜。但现有的基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，是将压电陶瓷驱动器沿径向安装在基盘上。由于压电陶瓷驱动器的伸缩量与其自身长度成正比，约为长度的千分之一，为了保证抛光盘的形变量，则选用的压电陶瓷驱动器长度不能太短，这将使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，包括底座、位于底座上的多个压电陶瓷驱动器和位于压电陶瓷驱动器上方的基盘，其特征在于：还包括多个弹性片，所述弹性片沿其径向安装于底座上表面，且其与压电陶瓷驱动器一对一设置，所述弹性片的顶部与基盘下表面相抵；所述压电陶瓷驱动器沿其轴向安装于底座上表面，且其一端指向底座中心，另一端处设有顶紧件，所述弹性片与压电陶瓷驱动器指向底座中心的一端相抵，压电陶瓷驱动器对弹性片施加挤压力后，弹性片会产生沿其轴向的伸缩量，以改变基盘的面形；所述底座下表面设有导电滑环，所述压电陶瓷驱动器通过导电滑环与电压源连接。

【技术特征摘要】
1.一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，包括底座、位于底座上的多个压电陶瓷驱动器和位于压电陶瓷驱动器上方的基盘，其特征在于：还包括多个弹性片，所述弹性片沿其径向安装于底座上表面，且其与压电陶瓷驱动器一对一设置，所述弹性片的顶部与基盘下表面相抵；所述压电陶瓷驱动器沿其轴向安装于底座上表面，且其一端指向底座中心，另一端处设有顶紧件，所述弹性片与压电陶瓷驱动器指向底座中心的一端相抵，压电陶瓷驱动器对弹性片施加挤压力后，弹性片会产生沿其轴向的伸缩量，以改变基盘的面形；所述底座下表面设有导电滑环，所述压电陶瓷驱动器通过导电滑环与电压源连接。2.根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述基盘为铝制球面薄板。3.根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：压电陶瓷驱动器上加载的电压为Umax/2时，基盘产生的面形定义为初始面形；压电陶瓷驱动器上加载的电压为0～Umax/2时，基盘产生负向形变；压电陶瓷驱动器上加载的电压为Umax/2～Umax时，基盘产生正向形变。4.根据权利要求3所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器的最小伸缩量为纳米级。5.根据权利要求3所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述压电陶...

【专利技术属性】
技术研发人员：代万俊，杨英，薛峤，陈良明，胡东霞，袁强，张鑫，王德恩，赵军普，张晓璐，曾发，王深圳，张崑，周维，朱启华，郑奎兴，粟敬钦，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川,51