扩散泵制造技术

技术编号:16014714 阅读:32 留言:0更新日期:2017-08-18 18:04
本实用新型专利技术提供了一种扩散泵,包括外侧设有冷水套的泵体,泵体底部设有油腔,油腔的底部设有加热装置,加热装置的上方设有泵芯,泵芯上设有喷嘴;泵体的上端设有进气口,泵体下端的一侧设有挡油弯头,挡油弯头与管道联通,管道的末端设有出气口,管道内设有挡雾器;挡油弯头的内部设有冷却装置,冷却装置包括压缩机、冷凝器、蒸发器、第一阀、膨胀元件、第二阀、控制单元、附加膨胀元件;由于采用了上述技术方案,本实用新型专利技术的扩散泵在挡油弯头内设有冷却装置,冷却装置设置有蒸发器,蒸发器用来在下一个压缩机工作期间开始时再填充制冷剂,使制冷得效果达到理想的状态,保证蒸汽与气体的分离充分,形成良好的真空度。

Diffusion pump

The utility model provides a diffusion pump, including a pump body is arranged outside the water sleeve, the bottom of the pump body is provided with an oil chamber, the oil chamber is arranged at the bottom of the heating device, the pump core is arranged above the heating device, the pump core is provided with a nozzle; the upper end of the pump body is provided with an air inlet, one side of the lower end of the pump body is provided with a baffle oil elbow, elbow and block the oil pipeline Unicom, the end of the pipeline is provided with an air outlet pipe is provided with a sprayer, blocking; internal oil elbow is provided with a cooling device, a cooling device comprises a compressor, condenser, evaporator, expansion valve, the first element, second valve, control unit, additional expansion element; by adopting the technical scheme, the utility model of the diffusion pump in the oil baffle in the elbow is provided with a cooling device, a cooling device is provided with an evaporator, evaporator to start working at a compressor refrigeration filled again. The utility model can make the refrigeration effect reach an ideal state, ensure the separation of the steam and the gas, and form a favorable vacuum.

【技术实现步骤摘要】
扩散泵
本技术涉及机械
,具体涉及一种扩散泵。
技术介绍
扩散泵是目前获得高真空的最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵,扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)时产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出,由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强,这样,被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动,气体分子碰到泵壁又反射回来,再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁,经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩,最后由前级泵抽走,而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热,如此循环工作达到抽气目的。扩散泵在使用过程中,加热和冷却是形成高速蒸汽射流与油液体之间循环的动力,热源不足会形成高速蒸汽射流不够影响抽气效率,而冷却不够也会对蒸汽产生冷凝不及时,影响油蒸汽与气体分离,同样影响真空度。在很多场合中,采用电风扇直接风吹真空油扩散泵的弯头部位,来改善扩散泵局部位置的冷却,提高抽气效率,采用电风扇直接吹冷的制冷效果不是很理想,会直接影响蒸汽与气体的分离,影响真空度
技术实现思路
为了克服上本文档来自技高网
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扩散泵

【技术保护点】
一种扩散泵,包括泵体(1),其特征在于,所述泵体(1)外部设有冷水套(23),所述泵体(1)底部设有盛放油的油腔(6),所述油腔(6)的底部设有加热装置(7),所述加热装置(7)上方设有泵芯(14),所述泵芯(14)上设有喷嘴,所述喷嘴包括一级喷嘴(2)、二级喷嘴(3)、三级喷嘴(4)、四级喷嘴(5);所述泵体(1)的上端设有进气口(13);所述泵体(1)下端的一侧设有挡油弯头(9),所述挡油弯头(9)与管道联通,所述管道的末端设有出气口(11),所述管道内设有挡雾器(12);所述挡油弯头(9)的内部设有冷却装置(10),所述冷却装置(10)包括压缩机(15),所述压缩机(15)分别与冷凝器(...

【技术特征摘要】
1.一种扩散泵,包括泵体(1),其特征在于,所述泵体(1)外部设有冷水套(23),所述泵体(1)底部设有盛放油的油腔(6),所述油腔(6)的底部设有加热装置(7),所述加热装置(7)上方设有泵芯(14),所述泵芯(14)上设有喷嘴,所述喷嘴包括一级喷嘴(2)、二级喷嘴(3)、三级喷嘴(4)、四级喷嘴(5);所述泵体(1)的上端设有进气口(13);所述泵体(1)下端的一侧设有挡油弯头(9),所述挡油弯头(9)与管道联通,所述管道的末端设有出气口(11),所述管道内设有挡雾器(12);所述挡油弯头(9)的内部设有冷却装置(10),所述冷却装置(10)包括压缩机(15),所述压缩机(15)分别与冷凝器(16)、蒸发器(19)连接,所述冷凝器(16)...

【专利技术属性】
技术研发人员:李正元
申请(专利权)人:北京市四方特种油品厂
类型:新型
国别省市:北京,11

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