检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术的检测装置以及方法强化控制器层次上的以操作人员状态为对象的FD/FP功能。本发明专利技术的检测装置包括：操作检测部(1)，其检测操作人员对控制器的操作；显示时间合计部(2)，其根据操作检测部(1)的检测结果，对控制器根据操作人员的操作而显示被设想通常不会阅览的基本设定确认画面的显示累积时间进行合计并加以保持；重置部(3)，在从外部接收到重置信号时，其将显示时间合计部(2)中所保持的显示累积时间重置为0；信息输出部(4)，其对外部输出显示累积时间的信息；以及警报输出部(5)，在显示累积时间超过预先规定的阈值时，其对外部输出警报。

【技术实现步骤摘要】
检测装置及方法
本专利技术涉及一种检测装置及方法，该检测装置及方法对控制器等对象设备显示特定画面的显示程度进行合计来检测操作对象设备的操作人员的状态，由此可检测或预测操作人员的操作的不良状况。
技术介绍
在半导体制造装置中，EES(EquipmentEngineeringSystem)正向实用阶段转移。EES是利用数据来检查半导体制造装置是否在正常地发挥功能、从而提高装置的可靠性和生产率的系统。EES的主要目的为以装置本身为对象的故障检测(FD：FaultDetection)、故障预测(FP：FaultPrediction)(参考非专利文献1)。FD/FP有装置控制层次、模块层次、子系统层次、I/O设备层次等层次化的掌握方法。装置控制层次的FD/FP是监视/检测装置功能是否在由主机或操作人员指示的处理条件的基础上在装置规格的容许范围内进行动作。模块层次的FD/FP是监视/检测由设备或子系统构成的模块是否能够按照指示值来进行处理。子系统层次的FD/FP是监视/检测由进行反馈控制这样的多个设备构成的复合系统是否在若干参数设定的基础上稳定地进行动作。I/O设备层次的FD/FP是监视/检测构成装置的传感器或执行机构是否在按照设计值而稳定地进行动作。如此，I/O设备层次的主体为传感器或执行机构。关于执行机构的FD/FP，可以说以(0,1)这一位串的数据(执行机构数据)来完成的序列控制性动作尤其是处于实用阶段。另一方面，关于传感器的FD/FP，温度、压力、流量等过程量为对象数据。就这些数据而言，以msec.级保存所有数据并不合理。因此，提出有如下支持EES的基板处理装置(参考专利文献1)等：按照装置所管理的每一处理单位或者每隔一定期间将传感器的数据代表值化，检查代表值化之后的值。所谓代表值，是指最大值、最小值、平均值等。若可通过这些代表值来实现FD/FP，则与监视所有数据的情况相比，可大幅削减通信量、所需存储量等，因此效率较高。作为利用代表值的FD/FP，已知有由劣化引起的加热器断线的FP、由过电流引起的加热器断线的FD等。在加热器发生劣化的情况下，加热器的电阻值(非过程量)的平均值会逐渐上升，因此，若以加热器的电阻值的平均值为代表值进行检查，则可预测由劣化引起的加热器的断线。此外，在因过电流而导致加热器断线的情况下，加热器的电阻值的最大值会突发性地上升，因此，若以加热器的电阻值的最大值为代表值进行检查，则可检测由过电流引起的加热器的断线。如此，只要是非过程量，FD/FP便可实用化。然而，在过程量的代表值化中，只有物理状态是处理的对象，并不能处理操作人员的状态，因此信息未必充分。由于EES的装置内分散配置是对于提高EES的整体效率较为有效的安装方法，因此，希望在伴有操作人员的操作的控制器层次上进一步强化FD/FP功能。尤其是近年来，在控制器或者使用控制器来进行例如半导体的制造的制造装置中，操作人员的操作用的画面有时使用液晶显示器等(参考专利文献2)。在图10的例子中，展示有与控制器(温度调节器)100一体化的液晶显示器101。在这种控制器中，有许多可切换的画面，而且可选择/调整的参数也涉及许多方面，因此，操作人员的操作变得复杂，从而希望强化以操作人员的状态为对象的FD/FP功能。因此，提出有如下不良状况检测系统：对表示根据操作人员的操作而变更控制的设定值SP的频度的操作频度信息进行合计并加以保持，由此强化以操作人员的状态为对象的FD/FP功能(参考专利文献3)。【现有技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本专利特开2010-219460号公报【专利文献2】日本专利特开2001-154786号公报【专利文献3】日本专利特开2015-64627号公报【非专利文献】【非专利文献1】「装置レベルでの装置機能の性能確認に関する解説書」，社団法人電子情報技術産業協会，2005年3月23日(《装置层次上的装置功能的性能确认相关手册》，社团法人电子信息技术产业协会，2005年3月23日)
技术实现思路
【专利技术要解决的问题】如上所述，近年来，业界希望在伴有操作人员的操作的控制器层次上强化FD/FP功能。对此，在专利文献3所揭示的技术中，对表示根据操作人员的操作而变更控制的设定值SP的频度的操作频度信息进行合计，但是存在可检测的操作人员的操作限定于设定值SP的变更操作这一问题。本专利技术是为了解决上述问题而成，其目的在于提供一种相较于以往而言可强化控制器层次上的以操作人员状态为对象的FD/FP功能的检测装置及方法。换句话说，本专利技术提供一种在简易型控制器层次(带液晶显示功能的温度调节器等)上可内置也可外置的简易型FD/FP相关功能。【解决问题的技术手段】本专利技术的检测装置的特征在于,包括：操作检测单元，其检测操作人员对对象设备的操作；显示程度合计单元，其根据该操作检测单元的检测结果，对表示所述对象设备根据操作人员的操作而显示特定画面的显示程度的值进行合计，所述特定画面被设想为通常不会阅览；以及信息输出单元，其对外部输出所述显示程度的信息。此外，在本专利技术的检测装置的1构成例中，所述对象设备为用于控制的控制器，所述特定画面为所述控制器的基本设定确认画面，所述显示程度为显示所述基本设定确认画面的显示累积时间。此外，在本专利技术的检测装置的1构成例中，所述对象设备为用于控制的控制器，所述特定画面为所述控制器的基本设定确认画面，所述显示程度为显示所述基本设定确认画面的显示累积次数。此外，在本专利技术的检测装置的1构成例中，所述基本设定确认画面为与硬件在所述控制器上的安装状态有关的确认画面。此外，在本专利技术的检测装置的1构成例中，所述基本设定确认画面为与所述控制器的能选择/调整的按功能区分的参数的设定状态有关的确认画面。此外，本专利技术的检测装置的1构成例的特征在于，还包括重置单元，在从外部接收到重置信号时，所述重置单元将所述显示程度重置为初始状态。此外，本专利技术的检测装置的1构成例的特征在于，还包括警报输出单元，在表示所述显示程度的值超过规定阈值时，所述警报输出单元输出警报。此外，本专利技术的检测方法的特征在于，包括：操作检测步骤，检测操作人员对对象设备的操作；显示程度合计步骤，根据该操作检测步骤的检测结果，对表示所述对象设备根据操作人员的操作而显示特定画面的显示程度的值进行合计，所述特定画面被设想为通常不会阅览；以及信息输出步骤，对外部输出所述显示程度的信息。【专利技术的效果】根据本专利技术，通过设置操作检测单元和显示程度合计单元，可强化控制器层次上的以操作人员状态为对象的FD/FP功能，从而可检测或预测操作人员的操作的不良状况，所述操作检测单元检测操作人员对对象设备的操作，所述显示程度合计单元根据操作检测单元的检测结果，对表示对象设备根据操作人员的操作而显示被设想通常不会阅览的特定画面的显示程度的值进行合计。在本专利技术中，通过对表示对象设备显示特定画面的显示程度的值进行合计，可检测操作对象设备的操作人员的困惑程度而不限于设定值SP的变更操作，因此，相较于以往而言，可进一步强化控制器层次上的以操作人员状态为对象的FD/FP功能。附图说明图1为表示本专利技术的第1实施方式所涉及的检测装置的构成的框图。图2为表示成为控制器的运用对象的加热装置的构成的框图。图3为表示控制器的操作监本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测装置，其特征在于，包括：操作检测单元，其检测操作人员对对象设备的操作；显示程度合计单元，其根据该操作检测单元的检测结果，对表示所述对象设备根据操作人员的操作而显示特定画面的显示程度的值进行合计，所述特定画面被设想为通常不会阅览；以及信息输出单元，其对外部输出所述显示程度的信息。

【技术特征摘要】
2016.02.03 JP 2016-0186291.一种检测装置，其特征在于，包括：操作检测单元，其检测操作人员对对象设备的操作；显示程度合计单元，其根据该操作检测单元的检测结果，对表示所述对象设备根据操作人员的操作而显示特定画面的显示程度的值进行合计，所述特定画面被设想为通常不会阅览；以及信息输出单元，其对外部输出所述显示程度的信息。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述对象设备为用于控制的控制器，所述特定画面为所述控制器的基本设定确认画面，所述显示程度为显示所述基本设定确认画面的显示累积时间。3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述对象设备为用于控制的控制器，所述特定画面为所述控制器的基本设定确认画面，所述显示程度为显示所述基本设定确认画面的显示累积次数。4.根据权利要求2或3所述的检测装置，其特征在于，所述基本设定确认画面为与硬件在所述控制器上的安装状态有关的确认画面。5.根据权利要求2或3所述的检测装置，其特征在于，所述基本设定确认画面为与所述控制器的能选择/调整的按功能区分的参数的设定状态有关的确认画面。6.根据权利要求1至3中任一项所述的检测装置，其特征在于，还包括重置单元，在从外部接收到重置信号时，所述重置单元将所述显示程度重置为初始状态。7.根据权利要求1至3中任一项所述的检测装置，其特征在于，还包括警报输出单元，在表示...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中雅人，相川智彦，
申请(专利权)人：阿自倍尔株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP