The utility model provides a chemical etching device, which comprises a base and a handle; the bottom of the hollow of the base set, and vertically arranged around the edge of the base frame, the housing cavity at the bottom of the base frame and the definition of InP wafer; the frame is disposed on the mounting ears, both ends the handle is provided with mounting grooves respectively in ear shape corresponding to the shape and installation, the handle through the mounting ear and the mounting groove is removably mounted to the base. Application of chemical etching device of the utility model are thinning and polishing, is conducive to a InP wafer carrier is convenient to add and remove, and in the process of chemical corrosion, is conducive to the mixing of concentrated hydrochloric acid to flow more smoothly, concentrated hydrochloric acid and InP wafer reaction more fully, to overcome the existing InP wafer the thinning and polishing method, problems of rate, surface scratches, and thinning easily in the process of rupture.
【技术实现步骤摘要】
化学腐蚀装置
本技术涉及晶圆制备
,尤其涉及一种化学腐蚀装置。
技术介绍
磷化铟(InP)是重要的III-V族化合物半导体材料,是继硅(Si)和砷化镓(GaAs)之后的新一代电子功能材料。通常,InP器件制备在InP单晶抛光片的表面,所以抛光片的表面质量会影响器件性能的优劣。磷化铟的化学性质活泼,容易与氧化剂发生化学反应,尤其在酸性环境下,极易发生剧烈化学反应而出现“闪光”现象;另一方面,磷化铟的克氏硬度较小,且具有一定的脆性,容易产生加工损伤。目前,国内外常用的InP单晶片的抛光方法一种是化学腐蚀减薄,主要是Br2、HBr、溴甲醇等卤素系列腐蚀剂。虽然,上述卤素系列腐蚀剂具有良好的抛光性能,但是减薄速率不够高,而且对人体产生蓄积性毒害,不适用工业化生产。另外一种是化学机械抛光(CMP),主要是在抛光液中加入高氯化物、过氧化氢等氧化物,在化学作用和机械作用的同时作用下进行减薄抛光。然而,此方法的减薄速率较慢,且不稳定,生产效率也不高,长时间减薄还会造成表面划痕增多的问题。因此,针对上述问题,有必要提出进一步的解决方案。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种化学腐蚀装置,以克服现有技术中存在的不足。为实现上述技术目的,本技术提供一种化学腐蚀装置,其包括底座和把手;所述底座的底部镂空设置,且所述底座的四周边缘垂直设置有边框,所述底座的底部和边框定义磷化铟晶圆片的收容腔;所述边框上还设置有安装耳,所述把手的两端分别凹陷设置有形状与所述安装耳形状相对应的安装槽,所述把手通过所述安装耳和安装槽拆卸地安装于所述底座上。作为本技术的化学腐蚀装置的改进,所述底部开设有若干 ...
【技术保护点】
一种化学腐蚀装置,其特征在于,所述化学腐蚀装置包括底座和把手;所述底座的底部镂空设置,且所述底座的四周边缘垂直设置有边框,所述底座的底部和边框定义磷化铟晶圆片的收容腔;所述边框上还设置有安装耳,所述把手的两端分别凹陷设置有形状与所述安装耳形状相对应的安装槽,所述把手通过所述安装耳和安装槽拆卸地安装于所述底座上。
【技术特征摘要】
1.一种化学腐蚀装置,其特征在于,所述化学腐蚀装置包括底座和把手;所述底座的底部镂空设置,且所述底座的四周边缘垂直设置有边框,所述底座的底部和边框定义磷化铟晶圆片的收容腔;所述边框上还设置有安装耳,所述把手的两端分别凹陷设置有形状与所述安装耳形状相对应的安装槽,所述把手通过所述安装耳和安装槽拆卸地安装于所述底座上。2.根据权利要求1所述的化学腐蚀装置,其特征在于,所述底部开设有若干镂空通孔,所述若干镂空通孔以环形阵列形式排布于所述底座的底部。3.根据权利要求2所述的化学腐蚀装置,其特征在于,所述底座的底部开设有若干镂空通孔,所述镂空通孔为扇形。4.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:李瑞彬,潘之炜,郭栓银,吴涛,谭少阳,周立,张鹏,
申请(专利权)人:苏州长光华芯光电技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。