喷墨打印头及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种传热型喷墨打印头及其制造方法。制造该喷墨打印头的方法包括如下操作步骤：在基板上顺序地叠置发热层和电极层；通过在电极层和发热层的顶表面上顺序叠置第一保护层和第二保护层而在电极层和发热层的顶表面上叠置保护层；以及在保护层的顶表面上叠置墨腔隔件和喷嘴板以形成墨腔，其中在第一保护层形成过程中生成的诸如“针孔”的缺陷通过在第一保护层上施加等离子体而去除，并且在去除叠置第一保护层时产生的任何缺陷之后，第二保护层叠置在第一保护层的顶表面上。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及一种喷墨打印头，更具体的涉及一种具有保护层以保护发热层的传热型喷墨打印头，以及涉及一种制造该喷墨打印头的方法。
技术介绍
传统上，喷墨打印头可以分为利用压电元件进行喷墨的压电型和利用当墨水由发热元件瞬时加热时产生的气泡进行喷墨的传热型。图1示出了传统传热型喷墨打印头。参照图1，传统喷墨打印头100包括发热层130、电极层140、保护层160，它们按照这个顺序叠置在主基板上，还包括喷嘴195。这里，发热层130用于瞬时加热填充在墨腔115中的墨水，而电极层140用于将电力施加到发热层130上。保护层160用于保护发热层130。如美国专利No.4,335,389所公开的，这样的传统保护层160包括顺序地叠置在发热层130和电极层140的顶表面上的第一保护层170和第二保护层180。这里，第二保护层180用于防止发热层130失效，所述失效是通过在喷射墨水之后形成在墨腔115内的气泡收缩时产生的气穴力(cavitation force)引起的。通常，第二保护层180通过将钽(Ta)或氮化钽(TaNx)沉积在第一保护层170顶表面上形成。此外，第一保护层170用于绝缘发热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨打印头，包括：主基板；墨腔，其形成在主基板上以容纳通过供墨通道引入的墨水，同时用于喷墨的喷嘴形成在墨腔的顶端；发热层，其叠置在墨腔的底表面上；电极层，其叠置在发热层的顶表面上以向发热层提供电力，电极层 构图成预定的形状，从而发热层的一些区域暴露于墨腔的内部；和保护层，其叠置在暴露于墨腔内部的电极层和发热层的顶表面上，其中保护层包括叠置在发热层和电极层的顶表面上的第一保护层，通过向第一保护层的顶表面施加等离子体，第一保护层的顶表面受 到表面处理，从而从第一保护层的顶表面去除针孔。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：闵在植，河龙雄，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]