一种高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置，所述滤光装置包括四块滤光板，每一块所述滤光板均由石英基底以及镀制在所述石英基底上的光学膜系构成；四块滤光板两两平行设置构成两组滤光模块，平行设置的两块滤光板的镀制光学膜系的一侧相对设置；两组所述滤光模块组合后构成倒“V”字型的所述滤光装置。本申请的滤光装置具有紫外透过率高、截止范围宽、截止深度深和环境稳定性好的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置
本技术涉及光学薄膜
，具体涉及一种高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置。
技术介绍
由于大气臭氧层对紫外线的吸收，自然环境中波长为240-280nm之间的紫外辐射强度几乎为零，因此将此波段称为“日盲”区。此波段的光子能量高、容易被探测，工作在该波段的紫外监测系统具有先天优势。为了匹配“日盲”条件，需要在系统探测器的前端加装高性能的日盲紫外滤光片，用来提高日盲紫外波段的透过率，抑制其它波段背景光的响应，增大信噪比，提升日盲紫外系统的探测性能。这种紫外滤光片成为日盲监测系统的关键器件，它决定着仪器的灵敏度、精确性和稳定性。目前的紫外日盲滤光片主要采用2种结构，全介质滤光片(其透射光谱曲线如图1所示)和诱导透射滤光片(其透射光谱曲线如图2所示)。全介质滤光片型的紫外日盲滤光片采用短波通干涉滤光片叠加的方式来实现，具有透过率高(60％)、截止深度深(OD8)的优点，缺点是截止范围短(截止到400nm)，不能全部有效抑制背景光。诱导透射滤光片利用了金属的吸收特性，具有截止深度深(OD8)、截止范围宽(截止到2000nm以上)的优点，缺点是透过率低本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置，其特征在于，所述滤光装置包括四块滤光板，每一块所述滤光板均由石英基底以及镀制在所述石英基底上的光学膜系构成；四块滤光板两两平行设置构成两组滤光模块，平行设置的两块滤光板的镀制光学膜系的一侧相对设置；两组所述滤光模块组合后构成倒“V”字型的所述滤光装置。

【技术特征摘要】
1.一种高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置，其特征在于，所述滤光装置包括四块滤光板，每一块所述滤光板均由石英基底以及镀制在所述石英基底上的光学膜系构成；四块滤光板两两平行设置构成两组滤光模块，平行设置的两块滤光板的镀制光学膜系的一侧相对设置；两组所述滤光模块组合后构成倒“V”字型的所述滤光装置。2.根据权利要求1所述的高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置，其特征在于，所述石英基底由紫外熔融石英玻璃制成。3.根据权利要求1所述的高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置，其特征在于，所述光学膜系由依次间隔层叠设置的11层HfO2层和11层SIO2层构成，从最靠近所述石英基底起计算，第1、3、5、7、9、11、13、15、17、19、21层为HfO2层，第2、4、6、8、10、12、14、16、18、20、22层为SIO2层。4.根据权利要求3所述的高透过宽波段深截止的紫外日盲滤光装置，其特征在于，所述光学膜系第1层的HfO2层厚度为5nm，所述光学膜系第3层的HfO2层厚度为10nm，所述光学膜系第5层的HfO2层厚度为14nm，所述光学膜系第7层...

【专利技术属性】
技术研发人员：张智广，贾秋平，
申请(专利权)人：北京同生科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11