物联网中的传感器及其制造方法技术

本发明专利技术的一些实施例提供了一种物联网中的气体传感器。气体传感器包括：衬底；设置在衬底的上方的导体；以及设置在导体的上方的感测膜。导体具有包括多个开口的顶视图图案，开口的最小尺寸小于约4微米，并且周界围绕开口。本发明专利技术的一些实施例提供了一种制造气体传感器的方法。该方法包括接收衬底；在衬底的上方形成导体；通过蚀刻操作来图案化导体以在导体中形成多个开口，以及在导体上方形成气体感测膜。开口以重复图案布置，并且开口的最小尺寸为大约4微米。

Sensors in the Internet of things and methods of making the same

Some embodiments of the present invention provide a gas sensor in an Internet of things. The gas sensor comprises a substrate, a conductor disposed above the substrate, and a sensing film disposed over the conductor. The conductor has a plurality of openings including top opening pattern, the minimum size of less than about 4 microns, and around the perimeter of the opening. Some embodiments of the present invention provide a method of manufacturing a gas sensor. The method includes receiving a substrate; forming a conductor over the substrate; patterning the conductor by etching operation to form a plurality of openings in the conductor and forming a gas sensing film over the conductor. The openings are arranged in a repeating pattern, and the minimum size of the opening is about 4 microns.

【技术实现步骤摘要】
物联网中的传感器及其制造方法
本专利技术涉及物联网(IoT)中的传感器及其制造方法，该传感器包括内置的加热元件。
技术介绍
物联网(IoT)是多种嵌入式装置的互连。这些装置(被称为“物”)可以具有或不具有用户可访问的输入/输出能力。例如，物可以是在诸如冰箱或洗衣机的产品内部的嵌入式传感器。这种物可以不具有鼠标、键盘、显示器或其它任何类型的用户可访问的装置，通过这些装置，人与物可以数字化交互。连接在IoT中的便携式传感器利用其紧凑性的优点可以用于各种应用。在各种类型的气体传感器的改进的过程中，通过对采用的材料和可应用的感测装置的改进，修改气体传感器以满足某种所需气体的使用和检测的目的。作为这些努力的结果，各种类型的气体传感器已经被商业化以用于工业、医学领域和日常生活。具体地讲，液化天然气(LNG)和液化石油气的广泛分布(LPG)以公众对酒驾和个人卫生的社会性问题的关注导致气体传感器被进一步商业化为不同的类型，诸如便携式泄漏气体传感器、便携式酒精测试仪或便携式呼吸分析仪。
技术实现思路
根据本专利技术的一个方面，提供了一种物联网中的气体传感器，包括：衬底；导体，设置在所述衬底的上面，所述导体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物联网中的气体传感器，包括衬底；导体，设置在所述衬底的上面，所述导体包括顶视图图案，所述顶视图图案包括：多个开口，所述开口的最小尺寸小于大约4微米；和周界，包绕所述开口；以及感测膜，设置在所述导体的上方。

【技术特征摘要】
2015.10.08 US 14/879,0181.一种物联网中的气体传感器，包括衬底；导体，设置在所述衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷明达，朱家骅，蒋昕志，陈东村，郑钧文，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71