硅片自动去毛边装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片自动去毛边装置，包括机架及转动设置在机架上的工作平台，所述机架上设有用于驱动工作平台转动的第一电机，所述机架上设有用于去毛边的刀头，所述机架上设有用于带动刀头靠近或者远离工作平台的第一气缸，所述机架上滑动设置有滑板，所述滑板位于所述工作平台上方，所述机架上设有用于驱动滑板滑动的驱动装置，本实用新型专利技术能够快速的去除硅片上的毛边，提高了硅片的合格率，避免了切割好的硅片易出现毛边等现象，在硅片的后续生产过程中，毛边容易导致硅片报废，使得硅片无法使用，造成生产成本增加，并且使得产品的合格率较低的问题。

Automatic deburring device for silicon wafer

The utility model relates to the technical field of wafer production equipment, in particular relates to a wafer automatic deburring device comprises a frame and rotating are arranged on the machine platform, the frame is provided with a first motor for driving the cutter head rotation working platform, the frame is provided to the flash, the frame. Is used to drive the cutter head near or away from the work platform of the first cylinder, the sliding frame is provided with a sliding plate, the sliding plate positioned above the working platform, the frame is provided with a driving device for driving the sliding, the utility model can quickly remove burrs on the wafer, improve the qualified rate of silicon wafer and avoid the wafer cutting good and easy occurrence of burrs and other phenomena, in the subsequent production process of silicon wafer, burr easily lead to scrap, the wafer cannot be used A problem that results in increased production costs and a lower rate of conformity to the product.

【技术实现步骤摘要】
硅片自动去毛边装置
本技术涉及硅片生产设备
，尤其是涉及一种硅片自动去毛边装置。
技术介绍
在多线切割晶棒生产硅片的过程中，对切割好的硅片传统采用手工进行脱胶，切割好的硅片易出现毛边等现象，在硅片的后续生产过程中，毛边容易导致硅片报废，使得硅片无法使用，造成生产成本增加，并且使得产品的合格率较低。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了解决切割好的硅片易出现毛边等现象，在硅片的后续生产过程中，毛边容易导致硅片报废，使得硅片无法使用，造成生产成本增加，并且使得产品的合格率较低的问题，现提供了一种硅片自动去毛边装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片自动去毛边装置，包括机架及转动设置在机架上的工作平台，所述机架上设有用于驱动工作平台转动的第一电机，所述机架上设有用于去毛边的刀头，所述机架上设有用于带动刀头靠近或者远离工作平台的第一气缸，所述机架上滑动设置有滑板，所述滑板位于所述工作平台上方，所述机架上设有用于驱动滑板滑动的驱动装置，所述滑板上沿其滑动方向设有第一拉杆和第二拉杆，所述第一拉杆的一端转动设有压板，所述第二拉杆的一端设有吸盘，所述第二拉杆上设有吸气泵，所述吸气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片自动去毛边装置，其特征在于：包括机架(1)及转动设置在机架(1)上的工作平台(2)，所述机架(1)上设有用于驱动工作平台(2)转动的第一电机(3)，所述机架(1)上设有用于去毛边的刀头(4)，所述机架(1)上设有用于带动刀头(4)靠近或者远离工作平台(2)的第一气缸(5)，所述机架(1)上滑动设置有滑板(6)，所述滑板(6)位于所述工作平台(2)上方，所述机架(1)上设有用于驱动滑板(6)滑动的驱动装置，所述滑板(6)上沿其滑动方向设有第一拉杆(7)和第二拉杆(8)，所述第一拉杆(7)的一端转动设有压板(9)，所述第二拉杆(8)的一端设有吸盘(10)，所述第二拉杆(8)上设有吸气泵(1...

【技术特征摘要】
1.一种硅片自动去毛边装置，其特征在于：包括机架(1)及转动设置在机架(1)上的工作平台(2)，所述机架(1)上设有用于驱动工作平台(2)转动的第一电机(3)，所述机架(1)上设有用于去毛边的刀头(4)，所述机架(1)上设有用于带动刀头(4)靠近或者远离工作平台(2)的第一气缸(5)，所述机架(1)上滑动设置有滑板(6)，所述滑板(6)位于所述工作平台(2)上方，所述机架(1)上设有用于驱动滑板(6)滑动的驱动装置，所述滑板(6)上沿其滑动方向设有第一拉杆(7)和第二拉杆(8)，所述第一拉杆(7)的一端转动设有压板(9)，所述第二拉杆(8)的一端设有吸盘(10)，所述第二拉杆(8)上设有吸气泵(11)，所述吸气泵(11)与所述吸盘(10)连通，所述吸盘(10)与压板(9)均位于所述工作平台(2)的上方，所述滑板(6)上设有伸出端朝下的第二气缸(12)，所述第一拉杆(7)和第二拉杆(8)均设置在所述第二气缸(12)的伸出端上。2.根据权利要求1所述的硅片自动去毛边装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙铁囤，姚伟忠，汤平，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32