一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种流量计校准装置，包括气体钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，所述气体钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，所述第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，所述第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，所述第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，所述质量流量计的另一端设有第一气体接口，所述显示装置与质量流量计连接。本实用新型专利技术相比于现有单一的检测方式检测精度大大提高，避免了PECVD设备因流量偏差导致工艺波动。

Flowmeter calibration device and PECVD device provided with the device

The utility model discloses a flowmeter calibration device, including gas cylinders, the first valve, the first pressure gauge, second valve, second pressure gauges, mass flowmeter and display device, wherein the gas cylinder is connected with one end of the first valve pipe, the other end of the first valve connected via pipeline with the first pressure gauge, another end of the first pressure regulating valve through the pipeline and the second connection, the second valve is connected with the other end of the second end of the pressure gauge line, the second pressure gauge connected to the other end of the pipe end and mass flowmeter, the the mass flowmeter is arranged at the other end of the first air interface, the display device is connected with the mass flowmeter. Compared with the existing single detection mode, the utility model greatly improves the detection accuracy and avoids the technical fluctuation caused by the flow deviation of the PECVD equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备
本技术涉及光伏组件
，具体涉及一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备。
技术介绍
镀膜工序是指在制备太阳能电池过程中制备氮化硅薄膜，其作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时也起到表面钝化和体钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。镀膜主要以硅烷、氨气在微波或射频条件下激发成等离子体，在硅片表面沉积一层均匀的淡化硅薄膜。但随着生产过程进行，控制硅烷、氨气的气体质量流量控制器（MFC）出现流量偏差，影响镀膜工艺稳定性及膜层均匀性。现在很多流量计粗略的校准方式为通过压强来判断，即在恒定压强下通入特定值的气体流量，根据压强的波动判断流量计的准确性。这种方法优势是操作简单方便，校准时间短。但是其缺点是无法精确判断流量计的偏差，校准毫无意义。有鉴于此，开发一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备，解决现有技术中校准精度低，无法精确判断流量计偏差的缺陷，显然是有必要的。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备。为达到上述专利技术目的，本技术采用的技术方案是：一种流量计校准装置，包括气体钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，所述气体钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，所述第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，所述第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，所述第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，所述质量流量计的另一端设有第一气体接口，所述显示装置与质量流量计连接。优选地，所述显示装置为流量显示仪。优选地，所述流量计校准装置还设有与之相配合使用的移动支架。优选地，所述气体钢瓶为N2钢瓶。本技术还提供了一种设有流量计校准装置的PECVD设备，包括气箱，还设有上述的流量计校准装置，所述气箱设有与第一气体接口相串联配合使用的第二气体接口。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：1.本技术相比于现有单一的检测方式检测精度大大提高，避免了PECVD设备因流量偏差导致工艺波动；2.本技术可以有效降低PECVD色差返工，提高了生产效率。附图说明图1是本技术实施例一的校准装置的结构框图。图2是本技术实施例一的PECVD设备的结构框图。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：实施例一：参见图1所示，一种流量计校准装置，包括N2钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，N2钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，质量流量计的另一端设有第一气体接口，显示装置与质量流量计连接。本实施例中，显示装置为流量显示仪。流量计校准装置在使用的之前，将第二压力表的数值调制3bar。参见图2所示，一种设有流量计校准装置的PECVD设备，包括气箱，还设有上述的流量计校准装置，气箱设有与第一气体接口相串联配合使用的第二气体接口。使用的时候将气箱与流量计校准装置串联起来，并通入氮气，对比两者之间的数值差异，精确判断流量计偏差，然后对流量计进行校准。若两者之间存在差异，可通过调节设备的MFC修正因子对MFC进行修正，直至MFC准确为止。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量计校准装置，其特征在于：包括气体钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，所述气体钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，所述第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，所述第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，所述第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，所述质量流量计的另一端设有第一气体接口，所述显示装置与质量流量计连接。

【技术特征摘要】
1.一种流量计校准装置，其特征在于：包括气体钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，所述气体钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，所述第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，所述第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，所述第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，所述质量流量计的另一端设有第一气体接口，所述显示装置与质...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐云洲，张伟，
申请(专利权)人：徐州鑫宇光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32