提高嵌入式压力传感器输出精度的温度压力补偿方法技术
Temperature and pressure compensation method for improving output precision of embedded pressure sensor
The invention provides a method to improve the temperature and pressure compensation method embedded pressure sensor output precision, and is characterized by pressure signal and bridge resistance change sensor signal processing chip pressure sensor, the pressure output becomes a number based on the temperature and pressure expressions; then through PC on different temperature and pressure of polynomial least squares fitting based on the calculated coefficient of multiple expressions. The temperature and pressure of embedded pressure sensor output to improve the precision of compensation with the method of the invention, you can achieve multiple point temperature, multiple pressure points fitting flexibly, and in practice, according to the US based on piezoresistive pressure sensor, effectively set the temperature and pressure in order to get more effective fit.
【技术实现步骤摘要】
提高嵌入式压力传感器输出精度的温度压力补偿方法
本专利技术涉及微电子机械系统的传感器
，特别是涉及一种压阻式压力传感器的补偿方法。
技术介绍
微电子机械系统又称MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System)是目前大规模制造微型高性能器件，如压力传感器，加速度计等的先进技术。MEMS压力传感器主要包括压阻式压力传感器和电容式压力传感器。其中压阻式压力传感器是应用最广的MEMS器件。压阻式压力传感器依靠一层压力膜来感应外界介质压力。通过微细加工工艺，可以在压力膜上制作压阻元件，这些压阻元件特点是其电阻值对于应力非常敏感。当施加外界压力时，压力膜就会发生形变并产生应力，这些应力传导到压阻元件上，会导致压阻元件电阻值发生变化。通过测量电阻变化，就可以将外界的压力变化转变为了电信号输出。我们通常采用的MEMS压力传感器在使用中有个非常显著的局限性，也就是在不同的温度下，压力传感器的灵敏度和线性都会有不同，这就导致在不同的温度下，传感器输出误差会不同，例如在常温下0.1％FS的准确度，在零下40度或者150度时，误差会达到3％甚至跟高。所以我...
【技术保护点】
提高嵌入式压力传感器输出精度的温度压力补偿方法，其特征是，采用传感器信号处理芯片采集压力传感器的压力信号及电桥阻值变化，将压力输出变为基于温度压力的多项表达式；然后通过上位机对不同温度压力进行基于最小二乘法的多项式拟合，计算出多项表达式的系数；基于温度压力的多项表达式如下：
【技术特征摘要】
1.提高嵌入式压力传感器输出精度的温度压力补偿方法，其特征是，采用传感器信号处理芯片采集压力传感器的压力信号及电桥阻值变化，将压力输出变为基于温度压力的多项表达式；然后通过上位机对不同温度压力进行基于最小二乘法的多项式拟合，计算出多项表达式的系数；基于温度压力的多项表达式如下：Pressure：施加的实际压力值，Kij：多项表达式的系数，Xi：传感器信号处理芯片中PADC压力模数寄存器的数值，Yj：传感器信号处理芯片中...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈晓懿，
申请(专利权)人：慧石上海测控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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