质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台制造技术

本发明专利技术质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台，质子透射显微功能；质子扫描显微功能；质子能谱分析功能；质子衍射谱功能；质子对原子核冲击能谱分析功能：利用质子束对样品原子核轰击，使原子核发生穆斯堡尔谱线，测量穆斯堡尔谱线的波长，反射、透射质子的能量，分析原子核的成分、含量，同位素元素的成分、含量；质子定向与样品分子结合可在样品分子外延或分子内部添加氢原子：利用质子获得一个电子转变为氢原子，在样品分子外延或分子内部添加氢原子，生成新的物质；质子束对样品的微纳加工功能：质子的质量大，质子束聚焦系统控制下利用质子束持续轰击样品，对样品进行微纳加工；质子束光刻功能。

Proton microscope, spectrometer, spectrometer, micro nano machining platform

The invention of proton microscopy, spectroscopy, EDS, micro nano processing platform, micro proton transmission function; proton scanning function; proton spectrum analysis; proton diffraction function; proton impact on nuclear energy spectrum analysis: the use of proton beam on the sample of nuclear bombardment, the atomic nucleus Mossbauer spectrum Mossbauer, spectral line measurement of wavelength, reflection and transmission of proton energy, chemical composition analysis, the content of nucleus, composition and content of isotopes; proton orientation and sample molecules with hydrogen atoms can be added inside the sample molecules or molecular epitaxy: using proton to obtain an electron into a hydrogen atom, adding hydrogen atoms in the interior the extension of sample molecules or molecules, formation of new substances; proton beam on the sample micro nano processing function: the mass of the proton, proton beam focusing control system The samples were bombarded with proton beams, and the micro - processing of the samples was performed.

【技术实现步骤摘要】
质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台一、
本专利技术涉及质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台，特别涉及带等离子质子发生、电磁筛选的质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台。二、
技术介绍
现有光学显微镜，分辨率大约200nm；15KV加速电压的电子扫描显微镜，分辨率10nm；300KV加速电压带球差校正的透射电子显微镜，分辨率0.074nm；由于相对论效应再增加加速电压对透射电子显微镜分辨率增加有限；实际上由于其它因素的影响，分辨率更低。三、
技术实现思路
要解决的问题：用更低的加速电压，更小的体积实现质子透射显微功能；质子扫描显微功能；质子能谱分析功能；质子衍射谱功能；质子对原子核冲击能谱分析功能；质子定向与样品分子结合可在样品分子外延或分子内部添加氢原子；质子对样品的微纳加工功能；质子束光刻功能；实现多种功能集成于同一平台。技术方案：关键词：质子透射显微功能；质子扫描显微功能；质子能谱分析功能；质子衍射谱功能；质子对原子核冲击穆斯堡尔谱线及原子核能谱分析功能；穆斯堡尔谱线；质子可控与样品分子结合可在样品分子外延或分子内部添加一个氢原子或多个氢原子；质子束对样品的微纳加工功能；质子束光刻功能。质子透射显微功能；质子扫描显微功能；质子能谱分析功能；质子衍射谱功能；质子对原子核冲击穆斯堡尔谱线及原子核能谱分析功能；质子可控与样品分子结合可在样品分子外延或分子内部添加一个氢原子或多个氢原子；质子束对样品的微纳加工功能；质子束光刻功能。创新点：1)本平台利用质子束完成的微纳加工；纳米、亚纳米光刻；样品定性、定量成分分析；同位素定性、定量分析；样品微观显微分析；样品可控添加氢原子进行样品改造的完整系统。2)利用电子轰击氢气产生质子流，利用电场、磁场、电磁透镜控制质子束；质子实物粒子的质量比电子大，同样的运行速度下质子实物粒子的德意罗布波长更短，从而提高扫描质子显微镜、透射质子显微镜的分辨率，降低显微镜的加速电压，降低成本，减小显微镜的体积、同时降低显微镜的运营费用；3)利用氢气产生质子流，利用电场、磁场控制质子束；实现质子的加速，质子速度筛选；4)质子透射显微功能：质子透过样品利用电磁透镜的放大作用，实现样品透射显微分析；5)质子扫描显微功能：利用质子束扫描样品表面实现质子扫描显微图像显示；6)质子能谱分析功能：利用反射质子能谱分析，定量、定性对样品的成分进行测量和分析，利用质子流于轰击样品上的电子实现样品的成分分析；7)质子衍射谱功能：利用质子束透过样品晶体，在显示屏或CCD上显示衍射图样，对晶体的结构进行分析；8)质子对原子核冲击能谱分析功能：利用质子束对样品原子核轰击，使原子核发出穆斯堡尔谱线，测量穆斯堡尔谱线的波长，分析物质的成分与结构，分析同位素的定性、定量分析；反射、透射质子的能量，分析原子核的成分、含量，分析同位素元素的成分、含量；9)质子可控与样品分子结合可在样品分子外延或分子内部添加一个氢原子或多个氢原子：利用质子获得一个电子转变为氢原子，在样品分子外延或分子内部添加氢原子，生成新的物质；生成新物质，同时对本完成加氢前后各种谱线的变化、显微结构的变化，分析添加的氢原子对物质的影响；10)质子束对样品的微纳加工功能：质子的质量大，质子束在聚焦系统控制下，利用质子束持续轰击样品，对样品进行微纳加工；11)质子束光刻功能：现在集成电路的加工线宽越来越小，质子束实物粒子的波长短，可用于集成电路的光刻，实现纳米级、亚纳米级的集成电路的光刻加工；工作原理：根据德布罗意波粒二相性原理；当质子运行的速度，v＜＜C(光速)时，即相对论效应忽略不计时，对于一般显微镜质子、可不用考虑相对论效应；mv2/2＝eUλ＝h/p＝h/(m0v)(1)对于电子m电子＝9.1*10-31λ电子＝h/(2em电子U)1/2＝1.225/U1/2(nm)，U为加速电压(2)对于质子m质子＝1.67×10-27λ质子＝h/(2em质子U)1/2＝0.0286/U1/2(nm)，U为加速电压对于同样的波长质子显微镜的加速电压只需要电子显微镜1/43的加速电压就可以达到同样的效果；对于同样的加速电压，质子显微镜比电子显微镜的分辨率提高43倍；氢原子实即为质子，体积小，比氢原子的体积小得多，带有电荷，便于电场、磁场对质子进行控制，如质子束的聚集、电磁透镜对质子束的调制，实现对样品进行放大。平台包括：氢气存储罐或氢气发生器(101)、质子发生器(102)、质子束加速部件(103)、质子筛选部件(115)、聚焦扫描部件(104)、光阑(105)、二次背射探测器(106)、样品杆(107)、电磁放大透镜1(108)、电磁放大透镜2(109)、球差校正部件(110)、成像板或CCD或能谱探测器(111)、质子回收部件(112)、图像处理部件或计算机(113)、真空系统(114)；本优选实例仅画了电磁放大透镜1(108)、电磁放大透镜2(109)两级透镜；对质子进行放大可以是只有一级放大透镜，即只有电磁放大透镜1(108)；也可以有二级放大、三级放大、四级、五级放大、…、多级放大透镜构成；氢气存储罐或氢气发生器(101)提供氢气；氢气送给质子发生器(102)，质子发生器(102)将氢气通过辉光放电的高速电子撞击，形成质子；质子送到加速部件(103)对质子束进行加速；加速后的送给质子筛选部件(115)，质子筛选部件(115)通过电场、磁场筛选质子；加速、筛选后的质子流经过聚焦控制部件(104)，对质子流进行聚焦；加速、筛选、聚焦后的质子束通过光阑(105)；通过光阑(105)的质子束，透过样片杆上的样品；经过电磁放大透镜(108)，将样品形成一个放大的实像；电磁放大透镜(108)的放大实像，经过电磁放大透镜(109)再次放大，形成更大的实像；经过球差校正部件(110)，对图像进行球差校正，形成更清晰的质子流图像；质子流图像在成像板或CCD或能谱探测器(111)成像；质子流图像经过成像板转换为可见光图像，图像成像板可采用无机晶体感应板，如，掺钛的碘化钠晶体感应板、掺钛的碘化铯晶体感应板、掺银的硫化锌晶体感应板，氧化镓钡晶体感应板、锗酸铋晶体感应板、碘化铯晶体感应板、氟化钡晶体感应板、掺铈锂玻璃晶体感应板；但不限于以上无机晶体感应板；有机晶体感应板：如，蒽晶体感应板、有机液体感应板、塑料感应板，但不限于以上有机晶体感应板；转换为可见光图像，由光学系统显示，光学图像经过CMOS图像传感器或CCD传感器转换为视频流，图像处理部件或计算机(113)供计算机存储，显示，数据处理；或质子流图像直接在CCD上成像，将图像视频流送到图像处理部件或计算机(113)供计算机进行存储、显示、数据处理；或质子流轰击能谱探测器(111)，利用能谱探测器测试质子的能量；质子回收部件(112)将成像后的质子转换为氢气进行回收；真空系统(114)对质子显微镜内部抽真空，保证质子在运行过程中受到影响最小，保证质子图像的清晰，同时减少气体对平台部件氧化；二次背射探测器(106)探测从样品上反射过来的质子，从而构成质子扫描显微镜；或二次背射探测器(106)探测质子从样品上撞击出来电子的能量，用于过程质子扫描显微镜；或二次背射探测器(106)探测质子从样品上撞击出来电子的能量本文档来自技高网...

【技术保护点】
质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台，其特征是：平台包括：氢气存储罐或氢气发生器(101)、质子发生器(102)、质子束加速部件(103)、质子筛选部件(115)、聚焦扫描部件(104)、光阑(105)、二次背射探测器(106)、样品杆(107)、电磁放大透镜1(108)、电磁放大透镜2(109)、球差校正部件(110)、成像板或CCD或能谱探测器(111)、质子回收部件(112)、图像处理部件或计算机(113)、真空系统(114)；电磁放大透镜1(108)、电磁放大透镜2(109)两级透镜；对质子进行放大可以是只有一级放大透镜，即只有电磁放大透镜1(108)；也可以有二级放大、三级放大、四级、五级放大、…、多级放大透镜构成；氢气存储罐或氢气发生器(101)提供氢气；氢气送给质子发生器(102)，质子发生器(102)将氢气通过辉光放电的高速电子撞击，形成质子；质子送到加速部件(103)对质子束进行加速；加速后的送给质子筛选部件(115)，质子筛选部件(115)通过电场、磁场筛选质子；加速、筛选后的质子流经过聚焦控制部件(104)，对质子流进行聚焦；加速、筛选、聚焦后的质子束通过光阑(105)；通过光阑(105)的质子束，透过样片杆上的样品；经过电磁放大透镜(108)，将样品形成一个放大的实像；电磁放大透镜(108)的放大实像，经过电磁放大透镜(109)再次放大，形成更大的实像；经过球差校正部件(110)，对图像进行球差校正，形成更清晰的质子流图像；质子流图像在成像板或CCD或能谱探测器(111)成像；质子流图像经过成像板转换为可见光图像，图像成像板可采用无机晶体感应板，如，掺钛的碘化钠晶体感应板、掺钛的碘化铯晶体感应板、掺银的硫化锌晶体感应板，氧化镓钡晶体感应板、锗酸铋晶体感应板、碘化铯晶体感应板、氟化钡晶体感应板、掺铈锂玻璃晶体感应板；但不限于以上无机晶体感应板；有机晶体感应板：如，蒽晶体感应板、有机液体感应板、塑料感应板，但不限于以上有机晶体感应板；转换为可见光图像，由光学系统显示，光学图像经过CMOS图像传感器或CCD传感器转换为视频流，图像处理部件或计算机(113)供计算机存储，显示，数据处理；或质子流图像直接在CCD上成像，将图像视频流送到图像处理部件或计算机(113)供计算机进行存储、显示、数据处理；或质子流轰击能谱探测器(111)，利用能谱探测器测试质子的能量；质子回收部件(112)将成像后的质子转换为氢气进行回收；真空系统(114)对质子显微镜内部抽真空，保证质子在运行过程中受到影响最小，保证质子图像的清晰，同时减少气体对平台部件氧化；二次背射探测器(106)探测从样品上反射过来的质子，从而构成质子扫描显微镜；或二次背射探测器(106)探测质子从样品上撞击出来电子的能量，用于过程质子扫描显微镜；或二次背射探测器(106)探测质子从样品上撞击出来电子的能量，用于对样品物质的定量、定性分析；质子质量较大，利用质子束轰击样品，可将样品刻蚀，将样品按要求进行加工；质子束波长短，利用质子束刻蚀光刻胶，实现纳米和亚纳米的集成电路光刻；本平台利用质子束完成的微纳加工；纳米、亚纳米光刻；样品定性、定量成分分析；同位素定性、定量分析；样品微观显微分析；样品可控添加氢原子进行样品改造的完整系统；利用电子轰击氢气产生质子流，利用电场、磁场、电磁透镜控制质子束；质子实物粒子的质量比电子大，同样的运行速度下质子实物粒子的德意罗布波长更短，从而提高扫描质子显微镜、透射质子显微镜的分辨率，降低显微镜的加速电压，降低成本，减小显微镜的体积、同时降低显微镜的运营费用；利用氢气产生质子流，利用电场、磁场控制质子束；实现质子的加速，质子速度筛选；质子透射显微功能：质子透过样品利用电磁透镜的放大作用，实现样品透射显微分析；质子扫描显微功能：利用质子束扫描样品表面实现质子扫描显微图像显示；质子能谱分析功能：利用反射质子能谱分析，定量、定性对样品的成分进行测量和分析，利用质子流于轰击样品上的电子实现样品的成分分析；质子衍射谱功能：利用质子束透过样品晶体，在显示屏或CCD上显示衍射图样，对晶体的结构进行分析；质子对原子核冲击能谱分析功能：利用质子束对样品原子核轰击，使原子核发出穆斯堡尔谱线，测量穆斯堡尔谱线的波长，分析物质的成分与结构，分析同位素的定性、定量分析；反射、透射质子的能量，分析原子核的成分、含量，分析同位素元素的成分、含量；质子可控与样品分子结合可在样品分子外延或分子内部添加一个氢原子或多个氢原子：利用质子获得一个电子转变为氢原子，在样品分子外延或分子内部添加氢原子，生成新的物质；生成新物质，同时对本完成加氢前后各种谱线的变化、显微结构的变化，分析添加的氢原子对物质的影响；质子束对样品的微纳加工功能：质子的质量大，质子束在聚焦系统控制下，利...

【技术特征摘要】
1.质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台，其特征是：平台包括：氢气存储罐或氢气发生器(101)、质子发生器(102)、质子束加速部件(103)、质子筛选部件(115)、聚焦扫描部件(104)、光阑(105)、二次背射探测器(106)、样品杆(107)、电磁放大透镜1(108)、电磁放大透镜2(109)、球差校正部件(110)、成像板或CCD或能谱探测器(111)、质子回收部件(112)、图像处理部件或计算机(113)、真空系统(114)；电磁放大透镜1(108)、电磁放大透镜2(109)两级透镜；对质子进行放大可以是只有一级放大透镜，即只有电磁放大透镜1(108)；也可以有二级放大、三级放大、四级、五级放大、…、多级放大透镜构成；氢气存储罐或氢气发生器(101)提供氢气；氢气送给质子发生器(102)，质子发生器(102)将氢气通过辉光放电的高速电子撞击，形成质子；质子送到加速部件(103)对质子束进行加速；加速后的送给质子筛选部件(115)，质子筛选部件(115)通过电场、磁场筛选质子；加速、筛选后的质子流经过聚焦控制部件(104)，对质子流进行聚焦；加速、筛选、聚焦后的质子束通过光阑(105)；通过光阑(105)的质子束，透过样片杆上的样品；经过电磁放大透镜(108)，将样品形成一个放大的实像；电磁放大透镜(108)的放大实像，经过电磁放大透镜(109)再次放大，形成更大的实像；经过球差校正部件(110)，对图像进行球差校正，形成更清晰的质子流图像；质子流图像在成像板或CCD或能谱探测器(111)成像；质子流图像经过成像板转换为可见光图像，图像成像板可采用无机晶体感应板，如，掺钛的碘化钠晶体感应板、掺钛的碘化铯晶体感应板、掺银的硫化锌晶体感应板，氧化镓钡晶体感应板、锗酸铋晶体感应板、碘化铯晶体感应板、氟化钡晶体感应板、掺铈锂玻璃晶体感应板；但不限于以上无机晶体感应板；有机晶体感应板：如，蒽晶体感应板、有机液体感应板、塑料感应板，但不限于以上有机晶体感应板；转换为可见光图像，由光学系统显示，光学图像经过CMOS图像传感器或CCD传感器转换为视频流，图像处理部件或计算机(113)供计算机存储，显示，数据处理；或质子流图像直接在CCD上成像，将图像视频流送到图像处理部件或计算机(113)供计算机进行存储、显示、数据处理；或质子流轰击能谱探测器(111)，利用能谱探测器测试质子的能量；质子回收部件(112)将成像后的质子转换为氢气进行回收；真空系统(114)对质子显微镜内部抽真空，保证质子在运行过程中受到影响最小，保证质子图像的清晰，同时减少气体对平台部件氧化；二次背射探测器(106)探测从样品上反射过来的质子，从而构成质子扫描显微镜；或二次背射探测器(106)探测质子从样品上撞击出来电子的能量，用于过程质子扫描显微镜；或二次背射探测器(106)探测质子从样品上撞击出来电子的能量，用于对样品物质的定量、定性分析；质子质量较大，利用质子束轰击样品，可将样品刻蚀，将样品按要求进行加工；质子束波长短，利用质子束刻蚀光刻胶，实现纳米和亚纳米的集成电路光刻；本平台利用质子束完成的微纳加工；纳米、亚纳米光刻；样品定性、定量成分分析；同位素定性、定量分析；样品微观显微分析；样品可控添加氢原子进行样品改造的完整系统；利用电子轰击氢气产生质子流，利用电场、磁场、电磁透镜控制质子束；质子实物粒子的质量比电子大，同样的运行速度下质子实物粒子的德意罗布波长更短，从而提高扫描质子显微镜、透射质子显微镜的分辨率，降低显微镜的加速电压，降低成本，减小显微镜的体积、同时降低显微镜的运营费用；利用氢气产生质子流，利用电场、磁场控制质子束；实现质子的加速，质子速度筛选；质子透射显微功能：质子透过样品利用电磁透镜的放大作用，实现样品透射显微分析；质子扫描显微功能：利用质子束扫描样品表面实现质子扫描显微图像显示；质子能谱分析功能：利用反射质子能谱分析，定量、定性对样品的成分进行测量和分析，利用质子流于轰击样品上的电子实现样品的成分分析；质子衍射谱功能：利用质子束透过样品晶体，在显示屏或CCD上显示衍射图样，对晶体的结构进行分析；质子对原子核冲击能谱分析功能：利用质子束对样品原子核轰击，使原子核发出穆斯堡尔谱线，测量穆斯堡尔谱线的波长，分析物质的成分与结构，分析同位素的定性、定量分析；反射、透射质子的能量，分析原子核的成分、含量，分析同位素元素的成分、含量；质子可控与样品分子结合可在样品分子外延或分子内部添加一个氢原子或多个氢原子：利用质子获得一个电子转变为氢原子，在样品分子外延或分子内部添加氢原子，生成新的物质；生成新物质，同时对本完成加氢前后各种谱线的变化、显微结构的变化，分析添加的氢原子对物质的影响；质子束对样品的微纳加工功能：质子的质量大，质子束在聚焦系统控制下，利用质子束持续轰击样品，对样品进行微纳加工；质子束光刻功能：现在集成电路的加工线宽越来越小，质子束实物粒子的波长短，可用于集成电路的光刻，实现纳米级、亚纳米级的集成电路的光刻加工；但本领域普通技术人员可以权利要求的范围内作出各种变形或修改，也可以本设计中的一部分。2.根据权利要求1所述的质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台，其特征是：质子显微镜的放大、球差校正原理框图；电磁放大透镜1(201)、球差校正部件1(202)、电磁放大透镜2(203)、球差校正部件2(204)、电磁放大透镜n(205)、球差校正部件n(206)；电磁放大透镜1(201)由球差校正部件1(202)校正，减少放大系统形成的球差失真；电磁放大透镜2(203)由球差校正部件2(204)校正，减少放大系统形成的球差失真；电磁放大透镜n(205)由球差校正部件n(206)校正，减少放大系统形成的球差失真；利用氢气产生质子束，利用氢气在电子流的轰击下形成质子和电子，质子在电压作用下加速，生成质子流；质子发生器(102)由310为质子发生器外壳；辉光电子产生极板1(305)、辉光电子产生极板2(307)；氢气输入口(306)；质子流输出口(308)组成；氢气输入口(306)连接氢气存储罐或氢气发生器(101)；质子输出口(308)连接质子加速部件(103)；氢气存储罐或氢气发生器(101)连接氢气输入口(306)，为质子发生器(310)提供氢气；在辉光电子产生极板1(305)、辉光电子产生极板2(307)上加上高压、在辉光电子产生极板1(305)与辉光电子产生极板2(307)产生辉光放电，辉光放电的电子与306口输入的氢气碰撞，将氢气碰撞为质子和电子；质子在电场的作用下经过质子输出口(308)输出，进入质子加速部件(103)进行加速；或质子发生器(102)可使用放射源产生质子束；质子加速部件(103)由质子加速栅1(301)、质子加速栅2(302)、质子加速栅3(303)、质子加速栅n(304)组成；质子加速栅1(301)，质子加速栅2(302)，质子加速栅3(303)、质子加速栅n(304)；加速栅1(301)与加速栅2(302)之间有dV的电势差(电压)；加速栅2(302)与加速栅3(303)之间有dV的电势差(电压)；加速栅3(303)与加速栅n(304)之间有了(n-3)dV的电势差(电压)；将质子加速；质子发生器(310)与加速栅1(301)之间电压为dV；加速栅之间的加速电压均相同；或质子发生器外壳(310)与加速栅1(301)之间电压、加速栅之间的电压，也可完全不相同；或质子发生器外壳(310)与加速栅1(301)之间电压、加速栅之间的电压，也可部分相同，部分不同；加速后的质子流由质子输出口(309)口射出；进入质子速度筛选，对质子进行筛选；质子速度筛选：质子筛选部件由质子流输入接口(402)、外加磁场(401)、控制极板(404)、控制极板(405)、质子束输出接口(403)组成；质子筛选部件(115)连接质子流输入接口(402)；质子流输入接口(402)连接质子加速部件(103)的质子输出口(309)；输入的质子流在外加磁场(401)作用下会向上运动；控制极板(404)上加正电压、控制极板(405)上加负电压，在电场的作用下，质子会向下运动；控制外加磁场(401)，控制极板(404)和控制极板(405)电场强度，一定速度的质子仍将直线运动，其它速度的质子不能穿过质子输出接口(403)，将由质子和电子复合为氢气由真空系统(114)抽走；从而将相同速度的质子从质子流中筛选出来；筛选的出来的质子通过质子输出接口(403)送到聚焦扫描部件(104)；控制外加磁场(401)大小、控制控制极板(404)和控制极板(405)电场强度大小，控制筛选质子的速度；不能平行射出质子，吸收电子转变为氢气，由真空系统吸走；质子束汇聚：质子束1(501)、质子束2(502)、质子束n1(503)、聚焦扫描线圈(504)类似CRT的互相垂直的两组电子偏转扫描线圈、或加上电磁线圈组成的电磁透镜、质子束4(505)、质子束5(506)、质子束n2(507)、汇聚点(508)；质子聚焦扫描线圈(504)由水平偏转线圈，垂直偏转线圈两组线圈组成，类似CRT的电子偏转扫描线圈；将平行的质子束汇聚于一点；且能控制质子束的扫描；通过改变水平线圈、垂直线圈中的电流大小及方向实现对电子束焦距的改变，即利用水平线圈、垂直线圈中的电流大小及方向调节质子焦距的长短；或通过改变水平线圈、垂直线圈中的电流大小及方向，可实现质子束的聚焦，可调节焦距的长短，并能实现质子束聚焦点在平面上任意扫描；实现利用质子束根据要求持续轰击样品，将样品按照要求进行微加工，即实现质子束微加工功能；质子束1(501)经过聚焦扫描线圈(504)将发生偏转，偏转为质子束4(505)；质子束2(502)经过聚焦扫描线圈(504)将发生偏转，偏转为质子束5(506)；质子束n1(503)经过聚焦扫描线圈(504)将发生偏转，偏转为质子束n2(506)；质子束4(505)、质子束5(506)、质子束n2(507)汇聚于汇聚点(508)；通过改变水平线圈、垂直线圈中的电流大小及方向，可实现质子束的聚焦，可调节焦距的长短，并能实现质子束聚焦点在平面上任意扫描。3.根据权利要求1所述的质子显微镜、波谱仪、能谱仪、微纳加工平台，其特征是：质子透射显微功能：质子透过样品利用电磁透镜的放大作用，实现样品的透射显微分析；利用氢气存储罐或氢气发生器(101)的氢气，氢气输送给质子发生器(102)，质子发生器(...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾士平，顾海涛，
申请(专利权)人：顾士平，
类型：发明
国别省市：江苏,32