涂布头清洁器制造技术

技术编号:15650201 阅读:68 留言:0更新日期:2017-06-17 03:09
本实用新型专利技术提出的是一种涂布头清洁器,其结构包括清洁喷口(1)、干燥单元(2)、橡胶垫(3);其中,清洁喷口(1)位于涂布头的前端,干燥单元(2)位于涂布头的后端,橡胶垫(3)位于涂布头的两侧。本实用新型专利技术的优点:1)从线状清洁方式变更为点状清洁方式,这样更容易控制、更能精确、有效的对NOZZLER实施清洁;2)干燥单元位置变更可以有效防止洗剂飞溅造成的涂布头污染,且在清洁完成后对涂布头的尖端能够实施整体干燥。

【技术实现步骤摘要】
涂布头清洁器
本技术涉及的是一种涂布头清洁器,属于机电设备领域。
技术介绍
彩色绿光片涂布机在涂布中因涂布完成后需要对涂布机的NOZZLER(涂布头)实施清洁,现有的清洁装置无法有效清洁,造成产品大量不良,导致涂布机在涂布过程中涂布不均匀及光阻残严重。现有对涂布机的涂布头清洁原理如下:清洁装置通过使用洗剂及CDA(干燥空气)对涂布头实施药剂清洁后再使用橡胶垫块实施擦拭清洁,从而达到清洁涂布头前端光阻的需求。因现有的设计洗剂+CDA(干燥空气)的出口孔为线型,喷出后洗剂呈扇形,虽然清洁面积大,但无法有效、准确的对涂布头的尖端实施定点清洁,且洗剂的流量不好控制,如果流量过小的时候容易造成无洗剂喷出只有CDA(干燥空气)喷出;如果流量过大就会造成干燥空气将洗剂喷出飞溅,因其喷口孔径过大导致洗剂会溅到涂布头造成涂布头的再次污染而无法有效清洁;清洁的干燥单元置于药剂清洁的上端只能对涂布头尖端的上部分实施干燥,不能对整个涂布头尖端实施干燥;清洁后,涂布头尖端仍有光阻及洗剂残留,造成涂布机再次涂布基板时,因涂布头尖端有异物残留导致涂布的光阻不均。
技术实现思路
本技术提出的是一种涂布头清洁装置,其目的旨在解决涂布机的涂布头不能彻底清洁干净的问题。本技术的技术解决方案:一种涂布头清洁装置,包括清洁喷口(1)、干燥单元(2)、橡胶垫(3);其中,清洁喷口(1)位于涂布头清洁装置的前端,干燥单元(2)位于涂布头清洁装置的后端,橡胶垫块(3)位于涂布头清洁装置中间的两侧。本技术的优点:1)从线状清洁方式变更为点状清洁方式,这样更容易控制、更能精确、有效的对NOZZLER实施清洁;2)干燥单元位置变更可以有效防止洗剂飞溅造成的涂布头污染,且在清洁完成后对涂布头的尖端能够实施整体干燥。附图说明附图1是涂布头清洁器的结构示意图。附图中1是清洁喷口、2是干燥单元、3是橡胶垫。具体实施方式对照附图,一种涂布头清洁装置,包括清洁喷口1、干燥单元2、橡胶垫3;其中,清洁喷口1位于涂布头清洁装置的前端,干燥单元2位于涂布头清洁装置的后端,橡胶垫3位于涂布头清洁装置中间的两侧。所述的清洁喷口1呈圆孔状。所述的干燥单元2的结构为两个线形喷嘴,对清洁后整个涂布头实施干燥,且将点状干燥变更为线状,增大了干燥面积,能够对涂布头的尖端实施整体干燥。清洁喷口使用洗剂及干燥空气对涂布头实施清洗后在使用橡胶垫对涂布头实施刮擦清洁,最后使用干燥空气对涂布头实施吹扫;干燥单元的形状必须呈线形而非圆形这样可以最大面积的对涂布头实施吹扫,其次干燥单元要保护的是干燥气体为可以调整压力的干燥空气或氮气。涂布清洁装置:涂布头将光阻(光刻胶)均匀的涂与玻璃基板上,在每次涂布完成一枚玻璃基板的涂布后涂布后的前端均后粘有光阻,所以就需要对涂布头实施清洁;如果不使用该装置实施清洁的话涂布头前端的光阻越堆积越多就会造成涂布不均匀造成不良产品;本装置就是对涂布头均匀涂布完成后对涂布头实施清洁从而保证每次涂布头涂布时都比较干净不会造成涂布不均的发生。当涂布头完成均匀涂布后,涂布头会自动移动到设定对的位置,此时清洁装置会移动到涂布头的下端设定的位置,从左向右移动对整个涂布头实施清洁,清洁完成后会高速回到设定的安全位置,涂布头移动到涂布位置实施涂布;涂完一枚玻璃后会再次来到清洁位置实施清洁。所述流体是清洗的化学洗剂与干燥空气的混合体。流体喷口的形状从线性变更为圆孔状后,流体从圆孔喷出后呈线型,流体的流量比较容易控制,且其清洁的位置也比较容易控制,可以准确的对涂布头的尖端实施定点清洁。干燥单元的位置从涂布头的前端变更为后端,可以对清洁后整个涂布头实施干燥,且将点状干燥变更为线状,增大了干燥面积,能够对涂布头的尖端实施整体干燥。本文档来自技高网...
涂布头清洁器

【技术保护点】
一种涂布头清洁器,其特征是包括清洁喷口(1)、干燥单元(2)、橡胶垫(3);其中,清洁喷口(1)位于涂布头清洁装置的前端,干燥单元(2)位于涂布头清洁装置的后端,橡胶垫(3)位于涂布头清洁装置中间的两侧。

【技术特征摘要】
1.一种涂布头清洁器,其特征是包括清洁喷口(1)、干燥单元(2)、橡胶垫(3);其中,清洁喷口(1)位于涂布头清洁装置的前端,干燥单元(2)位于涂布头清洁装置的后端,橡胶垫(3)位于涂布...

【专利技术属性】
技术研发人员:李亚明彭建中徐飞张起焱吴昌龙卢国庆高广修
申请(专利权)人:南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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