【技术实现步骤摘要】
涂布头清洁器
本技术涉及的是一种涂布头清洁器,属于机电设备领域。
技术介绍
彩色绿光片涂布机在涂布中因涂布完成后需要对涂布机的NOZZLER(涂布头)实施清洁,现有的清洁装置无法有效清洁,造成产品大量不良,导致涂布机在涂布过程中涂布不均匀及光阻残严重。现有对涂布机的涂布头清洁原理如下:清洁装置通过使用洗剂及CDA(干燥空气)对涂布头实施药剂清洁后再使用橡胶垫块实施擦拭清洁,从而达到清洁涂布头前端光阻的需求。因现有的设计洗剂+CDA(干燥空气)的出口孔为线型,喷出后洗剂呈扇形,虽然清洁面积大,但无法有效、准确的对涂布头的尖端实施定点清洁,且洗剂的流量不好控制,如果流量过小的时候容易造成无洗剂喷出只有CDA(干燥空气)喷出;如果流量过大就会造成干燥空气将洗剂喷出飞溅,因其喷口孔径过大导致洗剂会溅到涂布头造成涂布头的再次污染而无法有效清洁;清洁的干燥单元置于药剂清洁的上端只能对涂布头尖端的上部分实施干燥,不能对整个涂布头尖端实施干燥;清洁后,涂布头尖端仍有光阻及洗剂残留,造成涂布机再次涂布基板时,因涂布头尖端有异物残留导致涂布的光阻不均。
技术实现思路
本技术提出的是一种涂布头清洁装置,其目的旨在解决涂布机的涂布头不能彻底清洁干净的问题。本技术的技术解决方案:一种涂布头清洁装置,包括清洁喷口(1)、干燥单元(2)、橡胶垫(3);其中,清洁喷口(1)位于涂布头清洁装置的前端,干燥单元(2)位于涂布头清洁装置的后端,橡胶垫块(3)位于涂布头清洁装置中间的两侧。本技术的优点:1)从线状清洁方式变更为点状清洁方式,这样更容易控制、更能精确、有效的对NOZZLER实施清洁;2)干 ...
【技术保护点】
一种涂布头清洁器,其特征是包括清洁喷口(1)、干燥单元(2)、橡胶垫(3);其中,清洁喷口(1)位于涂布头清洁装置的前端,干燥单元(2)位于涂布头清洁装置的后端,橡胶垫(3)位于涂布头清洁装置中间的两侧。
【技术特征摘要】
1.一种涂布头清洁器,其特征是包括清洁喷口(1)、干燥单元(2)、橡胶垫(3);其中,清洁喷口(1)位于涂布头清洁装置的前端,干燥单元(2)位于涂布头清洁装置的后端,橡胶垫(3)位于涂布...
【专利技术属性】
技术研发人员:李亚明,彭建中,徐飞,张起焱,吴昌龙,卢国庆,高广修,
申请(专利权)人:南京中电熊猫液晶材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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