【技术实现步骤摘要】
大行程光栅刻划机及其刀具总成
本专利技术涉及光栅刻划领域,特别是涉及一种大行程光栅刻划机的刀具总成。此外,本专利技术还涉及一种包括上述刀具总成的大行程光栅刻划机。
技术介绍
大行程光栅刻划机是用于制作大面积刻划光栅的精密机械装置。由步进工作台承载镀有金属膜层的光栅基底实现步进方向运动,与步进方向正交运动的刻刀在金属膜层上挤压形成光栅槽形,即刻划运动。步进工作台的运动行程决定了光栅刻划机垂直光栅刻槽方向能够制作的最大光栅尺寸,刻刀的运动行程决定了光栅刻划机沿光栅刻槽方向能够制作的最大光栅尺寸,制成了大面积光栅。但是有时需要制作小面积的光栅,可以用大行程光栅刻划机制作小面积光栅。采用大面积光栅基底进行大面积光栅制作,光栅制作完成后,对大面积光栅进行机械分割后形成小面积光栅,这种方法对光栅刻划机的长期工作稳定性及大面积光栅基底的加工、分割提出了较高的要求。或是采用小面积光栅基底直接刻划小面积光栅,效率较低。因此,如何提供一种能够用于多块小面积光栅基底同步刻划的大行程光栅刻划机的刀具总成,提高工作稳定性和工作效率是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技 ...
【技术保护点】
一种大行程光栅刻划机的刀具总成,包括用于连接刻划移动装置并能够沿刻划方向移动的刀架底座(6),其特征在于,所述刀架底座(6)下方安装有多个垂直向下的刻刀,多个所述刻刀沿步进方向依次均匀排布。
【技术特征摘要】
1.一种大行程光栅刻划机的刀具总成,包括用于连接刻划移动装置并能够沿刻划方向移动的刀架底座(6),其特征在于,所述刀架底座(6)下方安装有多个垂直向下的刻刀,多个所述刻刀沿步进方向依次均匀排布。2.根据权利要求1所述的刀具总成,其特征在于,所述刀架底座(6)包括沿步进方向延伸的刀架导轨(7)、安装于所述刀架导轨(7)并能够沿所述刀架导轨(7)延伸方向移动的调节板(10)和用于驱动所述调节板(10)的调节驱动装置,多个所述刻刀安装于调节板(10)。3.根据权利要求2所述的刀具总成,其特征在于,多个所述刻刀上部分别连接有多个安装架,所述调节板(10)上设置有沿步进方向延伸的滑槽(11),多个所述安装架安装于所述滑槽(11),并能够沿所述滑槽(11)延伸方向移动,所述安装架顶部设置有用于固定所述安装架位置的连接元件(12)。4.根据权利要求3所述的刀具总成,其特征在于,所述调节板(10)上对称设置有两个所述滑槽(11),所述安装架上部的两端均设置有所述连接元件(12)。5.根据权利要求4所述的刀具总成,其特征在于,所述调节驱动装置包括压电陶瓷(8)和柔性铰链(9),所述压...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐玉国,宋莹,齐向东,糜小涛,张宁,巴音贺希格,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:吉林,22
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