一种带有多气缸的真空炉密封机构制造技术

本实用新型专利技术为涉及一种带有多气缸的真空炉密封机构，包括：炉体、行走机构、气动机构，其中，所述行走机构包括两条相互平行的行走边条，在所述行走边条上设有滑道，所述行走边条的底部通过连接板连接固定；在所述连接板上设有升降气缸，在所述升降气缸的升降杆上设有动导轨，所述动导轨的两端分别嵌入所述行走边条的滑道内；气动机构包括炉门，所述炉门上固定有多个支撑杆，所述支撑杆穿过所述动导轨并使得所述炉门固定在所述动导轨上；所述炉门上还固定有第一气缸，所述第一气缸的气缸杆的顶端与所述动导轨相抵触。有益效果是：采用升降气缸保证了炉门的开启快速方便，操作简单，同时气缸机构可以保证炉门和炉口的紧密挤压，真空密封效果好。

Vacuum furnace sealing mechanism with multiple cylinders

The utility model relates to a vacuum furnace with multi cylinder sealing mechanism comprises a furnace body, a walking mechanism, a pneumatic mechanism, wherein, the walking mechanism comprises two parallel walking on the edge, walking strip is provided with a slide, the bottom line as a through the connecting plate. Fixed; the connecting plate is provided with a lifting cylinder, a movable guide rail on the lifting rod of the lifting cylinder, the slide rail ends are inserted into the walking strip; the pneumatic mechanism comprises a door, the door is fixed with a plurality of support bars, the supporting rod through the the movable guide rail and the door is fixed on the movable guide rail; the door is fixed on the top of the first cylinder, the cylinder rod of the first cylinder and the moving guide of conflict. The beneficial effect that the lifting cylinder to ensure the fire door opening is fast and convenient, simple operation, and the cylinder can ensure the close door mouth and extrusion, vacuum sealing effect is good.

【技术实现步骤摘要】
一种带有多气缸的真空炉密封机构
本技术涉及真空炉设备
，尤其是涉及一种带有多气缸的真空炉密封机构。
技术介绍
真空炉炉门开闭锁紧一般为手动锁紧较多。这种手动锁紧装置操作比较繁琐。开门时，由于炉内处于真空状态，炉门是完全闭合的，即炉门法兰面与炉筒体法兰面完全贴合，如果先打开手动充气阀使炉内达到大气压状态，炉门会产生外往的力，炉门法兰面与炉筒体法兰面会有间隙产生，则夹紧两法兰面的手轮就会卡死，手轮拧动就会比较吃力，甚至无法拧动。所以操作时，在打开手动充气阀前，需要把手轮拧松，使两法兰没有被手轮夹紧,使手轮与两法兰间存有O型密封圈复原的间隙，再打开手动充气阀，使炉内达到大气压状态，再拧开手轮转到一边而开门。炉门上有6个手轮，前后门加起来有12个手轮，操作上相当繁琐。因此，本技术提出了一种带有多气缸的真空炉密封机构，不同使用环境的特性要求，就需要真空炉即能够承受负压，即达到真空密封要求，又需要能够在正压下达到密封要求。
技术实现思路
本技术提供一种带有多气缸的真空炉密封机构，以解决现有技术中的操作繁琐，真空密封效果不佳等问题。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种带有多气缸的真空炉密封机构，包括炉体，包括炉口，在所述炉口上设有密封环；行走机构，固定在所述炉口上，包括两条相互平行的行走边条，在所述行走边条上设有滑道，所述行走边条的底部通过连接板连接固定；在所述连接板上设有升降气缸，在所述升降气缸的升降杆上设有动导轨，所述动导轨的两端分别嵌入所述行走边条的滑道内；气动机构，包括炉门，所述炉门上固定有多个支撑杆，所述支撑杆穿过所述动导轨并使得所述炉门固定在所述动导轨上；所述炉门上还固定有第一气缸，所述第一气缸的气缸杆的顶端与所述动导轨相抵触。作为优选的技术方案，所述动导轨上还设有两个或两个以上的第二气缸，所述第二气缸的气缸杆的顶端与所述炉门相抵触。作为优选的技术方案，所述炉门设有气缸套管，所述气缸套管通过紧固件及压块固定在所述炉门上，所述第二气缸的气缸杆设置在该气缸套管内。作为优选的技术方案，所述动导轨为“┻”形状。作为优选的技术方案，所述行走机构的行走边条通过固定锁块固定在所述炉口上，以保证所述行走机构的稳定性。作为优选的技术方案，所述炉口上还设有悬梁块，在所述悬梁块上设有光电开关，在所述动导轨的对应位置设有反光片，所述光电开关与反光片相配合以控制所述升降气缸升降运动，并保护所述升降气缸的异常升降，如果行走机构上方被其它物件遮住，或是影响行走机构向上运动，所述悬梁块上的光电开关接收不到反光片上反射回来的信号，则升降气缸不能向上运动，以保证所述炉门的安全。作为优选的技术方案，所述升降气缸为SC40-300标准气缸。作为优选的技术方案，所述炉口上设有至少一个环形密封槽，所述密封环固定在密封槽内。作为优选的技术方案，所述密封环为可压缩的空心密封圈。作为优选的技术方案，所述动导轨上设有滑套，所述支撑杆设置在所述滑套内。本技术具有的有益效果是：采用升降气缸保证了炉门的开启快速方便，操作简单，同时气缸机构可以保证炉门和炉口的紧密挤压，真空密封效果好。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施方案或现有技术中的技术方案，下面将对实施方案或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方案，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术：一种带有多气缸的真空炉密封机构的结构示意图；图2为本技术：一种带有多气缸的真空炉密封机构的炉口的剖面示意图。1-炉门、2-行走机构、3-气动机构、4-固定锁块、11-炉口、12-密封环、13-密封槽、14-支撑杆、141-滑套、15-第一气缸、16-第二气缸、161-气缸套管、162-压块、21-行走边条、22-滑道、23-连接板、24-升降气缸、25-动导轨。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。参照图1-2所示，一种带有多气缸的真空炉密封机构，包括：炉体、炉门1、行走机构2、气动机构3。其中，在炉体上设有炉口11，在炉口11上设有密封环12，炉门1闭合时，炉门1贴近炉口11，并对密封环12形成挤压，以达到密封的目的；为了更好的密封，炉口11上设有至少一个环形密封槽13，优选的，密封槽13为两个，密封环12固定在密封槽13内，密封环12为可压缩的空心密封圈，密封环12可以方便快捷的更换。本技术的行走机构2固定在炉口11上，包括两条相互平行的行走边条21，在行走边条21上设有滑道22，行走机构2的行走边条21的上端通过固定锁块4固定在炉口11上，以保证行走机构2的稳定性，行走边条21的底部通过连接板23连接固定；在连接板23上设有升降气缸24，在升降气缸24的升降杆上设有动导轨25，动导轨25的两端分别嵌入行走边条21的滑道22内。本技术的气动机构3包括炉门1，炉门1上固定有多个支撑杆14，支撑杆14穿过动导轨25并使得炉门1固定在动导轨25上；在升降气缸24的作用下，炉门1跟随动导轨25上下移动，以实现炉门1的启闭。升降气缸24为SC40-300标准气缸。本技术的动导轨25上设有滑套141，支撑杆14设置在滑套141内。本技术在炉门1上还固定有第一气缸15，第一气缸15的气缸杆的顶端与动导轨25相抵触，使用时，在第一气缸15的作用下，第一气缸15的气缸杆与动导轨25的表面相抵触，炉门1与炉口11直接形成挤压，可以保证炉门1与炉口11达到完全密封闭合的状态。为了保证炉门1与炉口11的更好密闭性，动导轨25上还设有两个或两个以上的第二气缸16，第二气缸16的气缸杆的顶端与炉门1相抵触，使用时，在第二气缸16的作用下，第二气缸16的气缸杆与炉门1的表面相抵触，炉门1与炉口11直接形成挤压，可以保证炉门1与炉口11达到完全密封闭合的状态。炉门1设有气缸套管161，气缸套管161通过紧固件及压块162固定在炉门1上，第二气缸16的气缸杆设置在该气缸套管161内。在工作过程中，以保证第二气缸16的气缸杆稳定，不弯曲或位移，从而防止对炉门1与炉口11造成影响。本技术的动导轨25为“┻”形状，且在动导轨25上设有三个第二气缸16，三个第二气缸16分别设置在动导轨25的支臂上。本技术的炉口11上还设有悬梁块26，在悬梁块26上设有光电开关(图中未示出)，在动导轨25的对应位置设有反光片27，光电开关与反光片27相配合以控制升降气缸24升降运动，并保护升降气缸24的异常升降，如果行走机构2上方被其它物件遮住，或是影响行走机构2向上运动，悬梁块26上的光电开关接收不到反光片27上反射回来的信号，则升降气缸24不能向上运动，以保证炉门1的安全。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有多气缸的真空炉密封机构，其特征在于，包括：炉体，包括炉口，在所述炉口上设有密封环；行走机构，固定在所述炉口上，包括两条相互平行的行走边条，在所述行走边条上设有滑道，所述行走边条的底部通过连接板连接固定；在所述连接板上设有升降气缸，在所述升降气缸的升降杆上设有动导轨，所述动导轨的两端分别嵌入所述行走边条的滑道内；气动机构，包括炉门，所述炉门上固定有多个支撑杆，所述支撑杆穿过所述动导轨并使得所述炉门固定在所述动导轨上；所述炉门上还固定有第一气缸，所述第一气缸的气缸杆的顶端与所述动导轨相抵触。

【技术特征摘要】
1.一种带有多气缸的真空炉密封机构，其特征在于，包括：炉体，包括炉口，在所述炉口上设有密封环；行走机构，固定在所述炉口上，包括两条相互平行的行走边条，在所述行走边条上设有滑道，所述行走边条的底部通过连接板连接固定；在所述连接板上设有升降气缸，在所述升降气缸的升降杆上设有动导轨，所述动导轨的两端分别嵌入所述行走边条的滑道内；气动机构，包括炉门，所述炉门上固定有多个支撑杆，所述支撑杆穿过所述动导轨并使得所述炉门固定在所述动导轨上；所述炉门上还固定有第一气缸，所述第一气缸的气缸杆的顶端与所述动导轨相抵触。2.根据权利要求1所述的一种带有多气缸的真空炉密封机构，其特征在于，所述动导轨上还设有两个或两个以上的第二气缸，所述第二气缸的气缸杆的顶端与所述炉门相抵触。3.根据权利要求1所述的一种带有多气缸的真空炉密封机构，其特征在于，所述炉门设有气缸套管，所述气缸套管通过紧固件及压块固定在所述炉门上，所述第二气缸的气缸杆设置在该气缸套管内。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林茂昌，
申请(专利权)人：上海金克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31